宝鸡钛(tai)靶材厂家(jia)谈常用(yong)金属靶材(cai)的(de)种类及(ji)应(ying)用

在(zai)微电子半(ban)导体集成电路，薄(bao)膜混(hun)合(he)集成(cheng)电路(lu)， 片(pian)式元器(qi)件(jian)，特别是(shi)光(guang)盘、磁盘(pan)及液晶平面(mian)显(xian)示器(qi) LCD等(deng)技术领(ling)域 需使(shi)用各(ge)种性能(neng)各异(yi)，要求不同(tong)的(de)溅射(she)靶材，例如各种光碟(die)、液(ye)晶显(xian)示器(qi)LCD及(ji)LSI等的(de)产(chan)品(pin)数(shu)量已(yi)十分(fen)巨(ju)大(da)，仅(jin)以我国台湾(wan)为例， 其CD -R 在1999年(nian)就(jiu)生产约17.7亿片(pian)，2000年的(de)产(chan)量将(jiang)达(da)到(dao)47亿(yi)片，CD-RW片2000年将达到18 亿(yi)片，DV用(yong)碟片2000年也将超(chao)过(guo)1亿(yi)片(pian)，TFT­LCD的(de)产(chan)值20 00 年(nian)预(yu)计(ji)将达(da)到900亿台(tai)币(bi)。 在这些电(dian)子(zi)产品生产(chan)过(guo)程(cheng)中(zhong)，均(jun)须(xu)采(cai)用(yong)多(duo)种(zhong)溅射技(ji)术(shu)，溅射单层(ceng)或(huo)多层各种(zhong)不(bu)同(tong)材(cai)质的金属(shu)、半导体(ti)或(huo)非金(jin)属薄膜(mo)，以达(da)到(dao)产品(pin)的功(gong)能要求 本文对(dui)靶材的(de)制(zhi)备(bei)工艺(yi)特(te)性及其(qi)在(zai)资(zi)讯(xun)产业方(fang)面(mian)的应用作(zuo)一(yi)简要(yao)介(jie)绍(shao)，供广大(da)学习交流。

靶(ba)材的种类(lei)与应用(yong)

靶材的(de)种类(lei)按其组成可(ke)分为纯金(jin)属(shu)、合金和化(hua)合物(wu)靶(ba)材(cai)三大(da)类。表(biao)1 示出了(le)靶(ba)材材质(zhi)的种类(lei)，这些(xie)不(bu)同(tong)性质的靶材(cai)在(zai)各(ge)种产(chan)业(ye)上(shang)的应用(yong)情况，归结(jie)起(qi)来(lai)如表(biao)2所示。

表1 靶(ba)材种(zhong)类

表2 溅射(she)靶(ba)材(cai)在(zai)各(ge)种产(chan)业(ye)的(de)应(ying)用(yong)

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