众(zhong)所周知，纯度是(shi)靶材(cai)的(de)主要(yao)性能(neng)指标(biao)之(zhi)一，在(zai)实际应用(yong)中，对(dui)靶材(cai)的纯度(du)要求也(ye)不(bu)尽(jin)相同。高纯钛靶材的应用(yong)相(xiang)比一(yi)般(ban)的工(gong)业纯钛，高(gao)纯钛(tai)价格(ge)昂(ang)贵(gui)，应(ying)用(yong)范(fan)围(wei)较窄。主要(yao)用(yong)来(lai)满足一些特殊行(xing)业(ye)的(de)使用。那(na)么(me)高纯(chun)钛(tai)靶(ba)材(cai)的(de)主要(yao)应(ying)该有(you)哪些呢(ne)？靶材生产厂(chang)家(jia)-凯泽(ze)金属(shu)，结(jie)合相(xiang)关(guan)资料(liao)，分享如下(xia)：
1、生物(wu)材(cai)料
钛(tai)是(shi)无(wu)磁(ci)性(xing)金属(shu)，在很(hen)强的磁场中(zhong)也(ye)不会被磁(ci)化(hua)，且(qie)与人(ren)体有(you)良(liang)好(hao)的相(xiang)容(rong)性，无毒副作用(yong)，可以(yi)用(yong)来制(zhi)造(zao)人体植(zhi)入(ru)器件(jian)。一般(ban)医用(yong)钛(tai)材(cai)并(bing)没(mei)有达(da)到高纯钛(tai)的级(ji)别(bie)，但(dan)是考(kao)虑到钛中(zhong)不(bu)纯(chun)物(wu)的(de)溶(rong)出问(wen)题(ti)，植(zhi)入(ru)件(jian)用钛(tai)的纯(chun)度应(ying)尽可(ke)能(neng)的高(gao)。文(wen)献还提到，高纯(chun)钛(tai)丝可(ke)用做生(sheng)物(wu)捆(kun)扎材料(liao)。此外，内埋(mai)导(dao)管(guan)的钛制(zhi)注(zhu)入式针头也(ye)达(da)到了高纯钛(tai)级(ji)别(bie)。
2、装(zhuang)饰材料(liao)
高(gao)纯(chun)钛靶材具有优(you)异的(de)耐(nai)大气(qi)腐蚀性(xing)能，在(zai)大(da)气(qi)中(zhong)长期使用也不(bu)变色(se)，保(bao)证(zheng)钛(tai)原有(you)的(de)本(ben)色(se)。因(yin)此高纯度(du)钛(tai)还可以(yi)用(yong)做(zuo)建(jian)筑装饰(shi)材料(liao)。此(ci)外(wai)，近年来(lai)部(bu)分高档装饰(shi)品(pin)以及部(bu)分佩(pei)戴(dai)物，如(ru)手(shou)链、手表及(ji)眼镜架等用(yong)钛(tai)制作(zuo)利(li)用了(le)钛耐(nai)腐蚀、不变色(se)、能(neng)长久(jiu)保持良(liang)好的光(guang)泽(ze)以(yi)及(ji)与(yu)人(ren)体皮肤接(jie)触不(bu)致(zhi)敏等(deng)特性。某些(xie)装饰品(pin)用钛(tai)的纯(chun)度(du)已经达(da)到5N级别(bie)。
3、吸(xi)气材料(liao)
钛(tai)作为一种化学性(xing)质(zhi)非(fei)常活(huo)泼(po)的(de)金(jin)属，在高(gao)温(wen)下(xia)可与许多元素(su)和化合物(wu)发生反应。高纯钛对活(huo)性气体(ti)(如O2，N2，CO，CO2，650℃以上(shang)的(de)水蒸气(qi))的吸(xi)附(fu)性(xing)很(hen)强(qiang)，蒸发在泵(beng)壁(bi)上的Ti膜可形成(cheng)一个高(gao)吸附能(neng)力(li)的表面(mian)，这一(yi)性(xing)质(zhi)使(shi)得Ti在超高(gao)真(zhen)空抽(chou)气系统(tong)中作(zuo)为吸(xi)气剂而(er)得(de)到(dao)广(guang)泛的(de)应(ying)用。如用(yong)在升(sheng)华泵(beng)、溅(jian)射(she)离(li)子泵(beng)等，可(ke)使溅射离子(zi)泵(beng)的极(ji)限工(gong)作压(ya)强低至(zhi)10-9Pa。
4、电(dian)子(zi)信息材料
近年来(lai)，随(sui)着(zhe)半(ban)导体(ti)技术、信息(xi)技术等(deng)高(gao)科(ke)技领域(yu)的(de)快(kuai)速发展，高(gao)纯(chun)钛(tai)在溅(jian)射靶(ba)材(见(jian)图1)、集(ji)成电路、DRAMs和平(ping)板(ban)显(xian)示器等(deng)方面的用量(liang)越(yue)来越大，对(dui)钛(tai)材(cai)的(de)纯度(du)要(yao)求越(yue)来(lai)越高。在(zai)半导(dao)体超大规(gui)模(mo)集成电路行业(ye)，控制电极(ji)采用(yong)钛(tai)硅(gui)化合(he)物(wu)、钛氮化合物(wu)、钨钛(tai)化(hua)合物(wu)等作为扩(kuo)散(san)阻挡(dang)层(ceng)和配线(xian)材料。制造(zao)这(zhe)些材料采(cai)用(yong)溅射(she)法(fa)，而(er)溅(jian)射(she)法用的钛(tai)靶(ba)材(cai)对(dui)纯度(du)要求很高(gao)，特别是(shi)对碱金(jin)属(shu)元素(su)和放射性元(yuan)素要求(qiu)含(han)量(liang)极(ji)低。
近(jin)年(nian)来(lai)，其(qi)与(yu)之相配(pei)的溅射设(she)备也开(kai)始使(shi)用与溅(jian)射钛(tai)靶材同等(deng)纯度的(de)高纯钛(tai)。目前，对(dui)于(yu)4兆位(wei)的超大规(gui)模集成(cheng)电(dian)路，要求(qiu)钛(tai)的(de)纯度达到(dao)4N5(99.995%)～5N(99.999%)级，而(er)16兆位的(de)第三代超(chao)大(da)规(gui)模集(ji)成电路则要求(qiu)钛的纯度(du)达到(dao)6N(99.9999%)级。
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