靶材(cai)是制(zhi)备(bei)薄(bao)膜的主(zhu)要(yao)材(cai)料(liao)之(zhi)一，被广泛应用(yong)于电(dian)子(zi)及信息(xi)产业(ye)，如(ru)液晶显示(shi)屏、集成(cheng)电(dian)路、平(ping)板(ban)显(xian)示等(deng)等(deng)，对(dui)材(cai)料的(de)纯度和稳(wen)定性(xing)要(yao)求(qiu)较高。更换不同(tong)的靶材，即(ji)可(ke)得到不(bu)同的膜系(xi)。凯泽金(jin)属给(gei)大家将(jiang)靶(ba)材(cai)安装(zhuang)的注意(yi)事项，分享如下：
1、注(zhu)意建立(li)导(dao)热(re)链(lian)接(jie)
靶(ba)材在安装(zhuang)过程(cheng)中，特别(bie)要(yao)注意(yi)的一(yi)点(dian)是要确保在靶(ba)材和溅(jian)射(she)枪冷却(que)壁(bi)之(zhi)间(jian)建(jian)立(li)很(hen)好的导(dao)热(re)连接(jie)。如果冷(leng)却壁的(de)翘曲(qu)程(cheng)度(du)严重或背(bei)板(ban)翘(qiao)曲(qu)严重会(hui)造(zao)成(cheng)靶材安装时发生(sheng)开(kai)裂(lie)或(huo)弯曲，背(bei)靶到靶材的导(dao)热性能就会(hui)受(shou)到很大(da)的(de)影(ying)响(xiang)，导致在(zai)溅(jian)射过程(cheng)中(zhong)热(re)量无(wu)法(fa)散(san)发(fa)，以(yi)至于(yu)会(hui)造(zao)成靶(ba)材(cai)开(kai)裂或脱(tuo)靶(ba)。为(wei)确(que)保(bao)足(zu)够的(de)导热性，可以在阴极(ji)冷却(que)壁与(yu)靶材之(zhi)间加(jia)垫(dian)一层(ceng)石(shi)墨纸(zhi)。请注(zhu)意(yi)要仔(zai)细检(jian)查和(he)明(ming)确所使(shi)用溅(jian)射枪(qiang)冷(leng)却(que)壁的平整度，同时(shi)确(que)保(bao)密(mi)封(feng)圈(quan)始(shi)终(zhong)在位置(zhi)上。
2、注意(yi)清(qing)理(li)污(wu)垢
安(an)装(zhuang)靶(ba)材时(shi)，要注意清(qing)理产(chan)生的污(wu)垢(gou)。所使用(yong)冷(leng)却(que)水(shui)的洁净(jing)程(cheng)度(du)与(yu)设备设备(bei)运(yun)行过(guo)程中可(ke)能(neng)会产生(sheng)污垢(gou)，这些污(wu)垢(gou)会(hui)会沉(chen)积(ji)在(zai)阴(yin)极(ji)冷却(que)水槽(cao)内，所以在(zai)安(an)装靶(ba)材(cai)时需(xu)要(yao)对阴极冷却水(shui)槽进行检(jian)查(cha)和清理(li)，确(que)保冷(leng)却(que)水(shui)循环的(de)顺(shun)畅和(he)进出(chu)水(shui)口不会被(bei)堵塞。有些阴(yin)极(ji)设计与(yu)阳极(ji)的(de)空(kong)隙(xi)较(jiao)小，所(suo)以(yi)在安(an)装(zhuang)靶材(cai)时需(xu)要确(que)保(bao)阴(yin)极与(yu)阳极之(zhi)间(jian)没有接(jie)触也(ye)不能(neng)存在(zai)导体(ti)，否则(ze)会产生(sheng)短(duan)路(lu)。
3、注意短(duan)路及(ji)密封性检(jian)查
在(zai)靶(ba)材安装(zhuang)完成后，注意(yi)需(xu)要(yao)对整个(ge)阴(yin)极(ji)进(jin)行短路(lu)检(jian)查及(ji)密封(feng)性(xing)检(jian)查(cha)。此想检查可以(yi)通(tong)过使(shi)用(yong)电(dian)阻(zu)仪(yi)摇表的方(fang)式对(dui)阴极(ji)是否(fou)存在短路(lu)进行判断。在(zai)确定阴极不存在短(duan)路后(hou)，可(ke)以(yi)进行(xing)检(jian)漏(lou)检(jian)查(cha)，将水通(tong)入(ru)阴(yin)极(ji)确定是(shi)否存(cun)在(zai)漏水(shui)现(xian)象(xiang)。
结(jie)合上述内(nei)容可以知(zhi)道(dao)，靶材(cai)安装的注(zhu)意事(shi)项(xiang)主要有三点(dian)，在安(an)装(zhuang)过(guo)程(cheng)中(zhong)要(yao)注(zhu)意(yi)确(que)保(bao)在(zai)靶(ba)材(cai)和溅射(she)枪冷(leng)却壁(bi)之(zhi)间建立导(dao)热连接，注意(yi)清理冷却(que)水(shui)及运(yun)行产(chan)生的污(wu)垢(gou)，靶(ba)材安装(zhuang)完(wan)成后(hou)要注(zhu)意(yi)短(duan)路及密(mi)封(feng)性(xing)的(de)检查。安装完成(cheng)后在收(shou)紧(jin)靶(ba)材(cai)夹具时，请(qing)先(xian)用(yong)手转紧(jin)一颗(ke)镙栓，再(zai)用(yong)手(shou)转(zhuan)紧对角(jiao)线(xian)上(shang)的(de)另外(wai)一颗(ke)镙栓，如此重(zhong)复直到安(an)装上(shang)所(suo)有镙(luo)栓(shuan)后(hou)，再(zai)用(yong)工(gong)具收(shou)紧。宝(bao)鸡市(shi)凯(kai)泽(ze)金属材料(liao)有(you)限(xian)公(gong)司(si)是(shi)一家(jia)研发(fa)生(sheng)产(chan)钛(tai)靶(ba)、铬靶、锆靶(ba)、镍(nie)靶(ba)、钛(tai)铝(lv)靶、钛(tai)丝、钛(tai)加(jia)工件、钛(tai)锻(duan)件等金(jin)属(shu)材(cai)料(liao)为主的(de)高(gao)新技(ji)术(shu)企(qi)业，十(shi)余(yu)年专(zhuan)注(zhu)于(yu)溅射(she)靶(ba)材、镀膜(mo)靶(ba)材(cai)、平(ping)面多弧(hu)靶材(cai)研(yan)发、生(sheng)产，靶材组(zu)织结构(gou)均匀、溅(jian)射成(cheng)膜(mo)性能(neng)优(you)异，如(ru)果您(nin)对靶材有疑问或需(xu)要，欢迎联(lian)系(xi)凯泽(ze)金属(shu)。
相关链(lian)接(jie)
