大家(jia)都知道(dao)钛镍(nie)锆(gao)铬溅(jian)射(she)靶材的规格很(hen)多(duo),而且(qie)应用(yong)行(xing)业也(ye)很(hen)广泛,不(bu)同行(xing)业常(chang)用的靶(ba)材(cai)种(zhong)类(lei)也有(you)所(suo)不(bu)同(tong),今(jin)天(tian)我(wo)们就随凯泽(ze)金(jin)属(shu)一道(dao)来了(le)解溅射(she)靶材的行(xing)业分(fen)类的(de)相(xiang)关知识吧(ba)!

一、溅(jian)射靶(ba)材(cai)的简介(jie)
1、溅射
溅射属(shu)于(yu)物(wu)理(li)气(qi)相沉(chen)积(ji)技术(shu)的(de)一(yi)种(zhong),它(ta)是利(li)用离子源(yuan)产生的离(li)子,在真(zhen)空中(zhong)经(jing)过(guo)加(jia)速聚集,而形成(cheng)高速(su)度(du)能(neng)的离子(zi)束流,轰击固(gu)体(ti)表(biao)面,离(li)子和固体表(biao)面原(yuan)子发(fa)生动能(neng)交(jiao)换,使固(gu)体(ti)表(biao)面(mian)的原(yuan)子离开(kai)固体(ti)并沉积在(zai)基(ji)底表面的过程。
2、溅(jian)射靶(ba)材
溅射靶(ba)材是在溅射过程中(zhong),高速度能的离子(zi)束(shu)流(liu)轰击(ji)的(de)目(mu)标材料,它(ta)是沉(chen)积(ji)薄膜的(de)原(yuan)材(cai)料(liao)。
二(er)、溅射(she)靶(ba)材行(xing)业分(fen)类
1、半导(dao)体(ti)用靶(ba)材(cai)
(1)常(chang)用(yong)靶材:该行(xing)业(ye)常用(yong)的靶(ba)材(cai)包含钽(tan)/铜/钛/铝(lv)/金(jin)/镍(nie)/高熔点(dian)金(jin)属/铬等(deng)。
(2)用(yong)途(tu):主(zhu)要用(yong)于(yu)集(ji)成电路(lu)的关键原(yuan)材料。
(3)性(xing)能要求(qiu):对(dui)于纯度、尺寸、集成度(du)等(deng)的技(ji)术(shu)要(yao)求最高(gao)。
2、平(ping)面显示(shi)器用靶(ba)材(cai)
(1)常(chang)用靶(ba)材:该行(xing)业常用的靶(ba)材(cai)有(you)铝(lv)/铜/钼/镍/铌/硅(gui)/铬/ITO等(deng)。
(2)用途(tu):这里的(de)靶材(cai)多(duo)用于电视(shi)、笔记(ji)本(ben)的各型(xing)大面积(ji)膜层。
(3)性能要(yao)求:对于纯(chun)度、大面(mian)积、均(jun)匀性等技(ji)术要求(qiu)较高。
3、太(tai)阳能(neng)电池用靶材
(1)常用(yong)靶(ba)材:太阳(yang)能电(dian)池常(chang)用铝/铜/钼/铬/ITO/AZO/ZnS/Ta等(deng)靶材(cai)。
(2)用途(tu):主要(yao)用于(yu)“窗口层(ceng)”、阻(zu)挡层(ceng)、电(dian)极与(yu)导(dao)电(dian)膜等场合(he)。
(3)性能(neng)要求(qiu):技术要求高,应用范(fan)围比(bi)较(jiao)广。
4、信(xin)息(xi)存(cun)储(chu)用靶材(cai)
(1)常(chang)用靶(ba)材:信(xin)息存储(chu)常(chang)用钴(gu)/镍/铁(tie)合(he)金(jin)/铬/碲/硒/稀土-迁移金(jin)属等。
(2)用(yong)途(tu):这里的靶(ba)材(cai)主要(yao)用于(yu)光驱与(yu)光(guang)盘(pan)的磁(ci)头(tou)、中间层、底层。
(3)性能(neng)要求:对(dui)于(yu)高(gao)储存密(mi)度(du)、高(gao)传输速(su)度(du)的要(yao)求(qiu)较高。
5、工具(ju)改(gai)性用(yong)靶(ba)材
(1)常(chang)用(yong)靶(ba)材(cai):工(gong)具改(gai)性常用钛(tai)/锆(gao)/格/铬(ge)铝(lv)合(he)金(jin)等(deng)靶(ba)材(cai)。
(2)用途:通常做表面强(qiang)化(hua)用。
(3)性(xing)能(neng)要(yao)求:性能(neng)要求(qiu)较高,使(shi)用寿命长。
6、电(dian)子器件(jian)用(yong)靶(ba)材(cai)
(1)常(chang)用(yong)靶材(cai):电子器件(jian)常(chang)用(yong)铝合金/硅(gui)化物靶材。
(2)用(yong)途:一(yi)般(ban)用于薄膜(mo)电(dian)阻(zu)与(yu)电容(rong)。
(3)性能(neng)要求(qiu):尺寸(cun)小(xiao)、稳定(ding)性(xing)、电(dian)阻(zu)温度(du)系(xi)数(shu)小(xiao)。
7、其(qi)他(ta)
(1)常用(yong)靶材(cai):其他(ta)常用靶(ba)材包含氧化(hua)物/石(shi)英(ying)/硅/钛/钽等(deng)。
(2)用(yong)途:主要(yao)用(yong)于(yu)装饰(shi)镀(du)膜与(yu)玻(bo)璃(li)镀膜(mo)。
(3)性能要(yao)求(qiu):这种靶材(cai)对于(yu)技术要求(qiu)一(yi)般(ban)。
以上(shang)是(shi)溅射靶(ba)材介(jie)绍及(ji)行(xing)业(ye)分类的(de)全部内容,经(jing)以上(shang)介绍(shao)可(ke)知(zhi)靶(ba)材(cai)的(de)种类多样,不同(tong)材(cai)质(zhi)的(de)靶(ba)材(cai)所(suo)适合(he)的(de)行业都(dou)有所不(bu)同(tong),而(er)且对于(yu)性(xing)能要(yao)求(qiu)方(fang)面(mian)也是不(bu)同的。宝鸡(ji)市(shi)凯泽(ze)金属材料有(you)限(xian)公(gong)司(si)生(sheng)产(chan)的靶(ba)材规格(ge)多(duo)样、质量(liang)有(you)保(bao)证(zheng)、适(shi)用范(fan)围广(guang),如(ru)果(guo)有(you)需要(yao),欢(huan)迎(ying)大(da)家(jia)随时(shi)致(zhi)电(dian)或留言进(jin)行(xing)咨(zi)询(xun)。
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