20世(shi)纪90年代以来(lai)靶(ba)材已(yi)蓬勃(bo)发(fa)展成为(wei)一(yi)个有经验化(hua)产业(ye)，中(zhong)国及亚(ya)太地(di)区靶(ba)材的(de)需求(qiu)占(zhan)有世界70%以上的(de)市场(chang)份(fen)额。大(da)量(liang)不(bu)同(tong)的(de)沉积(ji)技术用来(lai)沉积(ji)生长各(ge)种(zhong)薄(bao)膜，而靶(ba)材(cai)是制(zhi)作薄(bao)膜的(de)关(guan)键，品(pin)质(zhi)的(de)好坏(huai)对(dui)薄膜的(de)意义重大。目(mu)前高等(deng)品(pin)质(zhi)靶(ba)材主(zhu)要由:日本(ben)、德国和(he)美国生(sheng)产，我(wo)国(guo)靶(ba)材产业(ye)起(qi)步较晚(wan)，在产(chan)品(pin)质(zhi)量(liang)与精细(xi)标准上与国(guo)外(wai)有(you)不少的(de)差距(ju)，国内(nei)也(ye)有(you)许(xu)多(duo)大(da)学及研(yan)究机(ji)构对(dui)靶(ba)材(cai)积(ji)较(jiao)投入了大(da)量钻(zuan)研与开发，经过(guo)这几年(nian)的发(fa)展(zhan),珠(zhu)三角(jiao)也涌(yong)现(xian)了(le)一批(pi)高新(xin)科技(ji)靶(ba)材厂(chang)家，其(qi)中少(shao)数成(cheng)为了三星(xing)等(deng)全部(bu)知名(ming)企(qi)业的供(gong)应商，他(ta)们(men)在国内(nei)占据了大部分(fen)中(zhong)高等靶(ba)材市场(chang)份额。
1、靶材(cai)应(ying)用(yong)行业(ye)分类
1.1装饰(shi)、工模(mo)具(ju)镀(du)膜行(xing)业(ye)靶(ba)材(cai)铬(ge)靶(ba)（Cr），平面铬(ge)靶(ba)，喷涂(tu)铬管(guan)；
铬(ge)硅(gui)靶(ba)90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧(hu)，平面(mian)靶(ba)，旋(xuan)转(zhuan)管(guan)靶）；
钛(tai)铝靶(ba)50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（电(dian)弧，平面靶(ba)，旋(xuan)转管靶(ba)）；
钛(tai)铝(lv)硅(gui)靶(ba)1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面(mian)靶(ba)，旋(xuan)转(zhuan)管(guan)靶）；
钛靶，钛(tai)管(guan)靶(ba)，锆(gao)靶；
金(jin)靶、玫(mei)瑰(gui)金(jin)靶(ba)；
石墨靶，镍靶，铝靶(ba)，不(bu)锈(xiu)钢(gang)靶等(deng)。
1.2太阳能光(guang)伏(fu)光(guang)热行业靶(ba)材
氧(yang)化(hua)锌铝靶AZO；硅靶(ba)；钛(tai)靶、氧化钛(tai)靶(ba)；铝靶(ba)；铬靶、镍(nie)铬(ge)；锌铝、钨、钼靶等(deng)。
1.3建筑(zhu)汽(qi)车玻璃(li)大(da)面(mian)积镀(du)膜
硅铝靶(ba)、旋(xuan)转(zhuan)硅(gui)铝靶(ba)；氧化钛(tai)靶；锡靶；铬靶(ba)；硅(gui)靶(ba)；钛(tai)靶、不锈(xiu)钢靶。
1.4平(ping)面(mian)显(xian)示(shi)行(xing)业
ITO靶(ba)；二氧(yang)化硅(gui)靶；高(gao)纯(chun)硅(gui)靶4-7N；高(gao)纯(chun)铬(ge)靶(ba)3N5；TFT钼靶；钼铌靶；钨(wu)钛靶(ba)90/10wt%；高(gao)纯铝(lv)靶(ba)等(deng)。
1.5光学(xue)，光通(tong)信(xin)，光(guang)存储(chu)行业(ye)
银(yin)靶；钽(tan)靶；硫化锌靶(ba)；高纯铝靶(ba)；硅(gui)靶。
2、常用靶(ba)形
常用(yong)靶(ba)形有(you)电弧靶、平面(mian)靶、旋(xuan)转(zhuan)管(guan)靶(ba)。
2.1平(ping)面(mian)靶(ba)材利(li)用(yong)率提(ti)高方式(shi)
（1）改(gai)变磁(ci)铁(tie)运(yun)动(dong)方(fang)向
（2）改变(bian)磁力(li)线分(fen)布宽度和(he)高度
2.2靶(ba)材(cai)性能(neng)与要求(qiu)
靶(ba)材质量直(zhi)接影响着(zhe)薄(bao)膜的(de)物(wu)理、外观(guan)、力(li)学(xue)等性能(neng)，因而(er)对(dui)靶(ba)材质量(liang)的(de)评判(pan)较为(wei)严格(ge)，主(zhu)要应满足以(yi)下要求(qiu)：杂(za)质(zhi)及氧(yang)含(han)量低(di)、纯度高(gao)；致密(mi)度高；成分与结(jie)构(gou)均(jun)匀；晶(jing)粒(li)尺(chi)寸(cun)细小(xiao)。
2.3劣(lie)质(zhi)靶(ba)材缺点
a)为熔炼铬(ge)靶(ba)烧(shao)蚀后靶(ba)面(mian)情(qing)况(kuang)
b)靶(ba)面有凹痕为引(yin)弧(hu)针安装(zhuang)不当导(dao)致(zhi)的(de)
c)水(shui)晶(jing)镀(du)膜靶材(cai)密度(du)不(bu)够(gou)，烧(shao)蚀后区别(bie)
d)等(deng)离子喷(pen)涂(tu)氧化钛(tai)旋转(zhuan)管(guan)靶(ba)不良(liang)
相(xiang)关(guan)链(lian)接
