凯泽金(jin)属(shu)再(zai)谈钛(tai)靶(ba)材的(de)生产加工(gong)方(fang)法

钛(tai)靶材的(de)制造(zao)方法，包(bao)括选(xuan)取(qu)钛(tai)原(yuan)料(liao)，将(jiang)钛(tai)原(yuan)料(liao)熔(rong)融，并将(jiang)熔(rong)汤(tang)浇铸(zhu)，浇铸后的(de)熔(rong)汤(tang)冷却形(xing)成(cheng)铸锭(ding)坯(pi)料；之(zhi)后(hou)立(li)即进行热(re)处(chu)理(li)，然后将(jiang)保温热(re)处理(li)后(hou)的铸锭坯(pi)料(liao)形(xing)成(cheng)钛(tai)坯(pi)；进(jin)行第(di)二(er)热(re)处理，然(ran)后将(jiang)保温热(re)处(chu)理(li)后的钛(tai)坯形(xing)成(cheng)第(di)二钛(tai)坯：对第(di)二(er)钛(tai)坯(pi)冷(leng)却(que)到室温后(hou)，在室温(wen)的环境(jing)下对第二钛坯(pi)进行冷(leng)轧延(yan)，形(xing)成冷轧坯；将(jiang)冷(leng)轧坯做退(tui)火热(re)处理(li)，得到(dao)晶(jing)粒(li)细(xi)小(xiao)且(qie)均匀的(de)钛(tai)靶坯，之后通(tong)过机床加工即得钛靶材(cai)。本发明(ming)通(tong)过多(duo)次(ci)热处(chu)理，使得钛坯中(zhong)的(de)元素产(chan)生(sheng)固态扩散(san)，来(lai)减(jian)轻化学成分分(fen)布(bu)的(de)不(bu)均(jun)匀(yun)性，减(jian)少(shao)靶(ba)材坯(pi)料的分(fen)层现象，缩小(xiao)晶粒尺(chi)寸；同(tong)时(shi)可消除残余应(ying)力(li)，稳(wen)定(ding)尺(chi)寸，减低(di)硬度和脆(cui)性，增(zeng)加其(qi)可塑性，减少(shao)变形与(yu)裂纹倾向。

一(yi)种钛靶材的(de)制(zhi)造(zao)方(fang)法，钛(tai)靶材厂家(jia)包(bao)括以下步骤：

步(bu)骤1：选(xuan)取钛(tai)原料，采用大气(qi)熔炼或(huo)真空熔(rong)炼的(de)方法(fa)将钛(tai)原(yuan)料(liao)熔融(rong)，并(bing)将熔(rong)汤浇铸(zhu)，浇铸(zhu)后的熔汤冷(leng)却形(xing)成(cheng)铸锭坯料；

步骤(zhou)2：将(jiang)步骤(zhou)1浇(jiao)铸(zhu)所(suo)形(xing)成(cheng)的铸(zhu)锭坯料(liao)立(li)即进行(xing)热(re)处(chu)理(li)，热处(chu)理的(de)温度为(wei)450～650℃，保(bao)温(wen)时(shi)间(jian)0 .5～2 .5h，然(ran)后(hou)将(jiang)保(bao)温热(re)处(chu)理(li)后(hou)的(de)铸(zhu)锭(ding)坯(pi)料进(jin)行(xing)热(re)轧(ya)延(yan)或(huo)者空气(qi)锤(chui)锻(duan)打形(xing)成。

步(bu)骤3：对步(bu)骤(zhou)2中形成(cheng)的钛坯(pi)进行(xing)第(di)二(er)热处(chu)理，第二热处理的温度为350-550℃，保(bao)温时(shi)间(jian)为1～3h，然后将(jiang)保(bao)温热处理(li)后的(de)钛(tai)坯进行(xing)热(re)轧(ya)延或者(zhe)空气(qi)锤(chui)锻(duan)打，形成第二(er)钛坯；

步(bu)骤4：对步(bu)骤(zhou)3得(de)到的(de)第二钛(tai)坯冷(leng)却(que)到(dao)室温(wen)后(hou)，在室温的(de)环(huan)境下对第(di)二(er)钛(tai)坯进(jin)行(xing)冷轧(ya)延，形(xing)成冷(leng)轧坯(pi)；

步(bu)骤(zhou)5：将步骤4冷轧(ya)所(suo)形(xing)成的冷轧坯做退火(huo)热(re)处(chu)理，退火(huo)热处理(li)温(wen)度(du)为(wei)300～700℃，时间为(wei)1～5h，得到晶(jing)粒(li)细(xi)小且(qie)均(jun)匀的(de)钛靶坯(pi)，之(zhi)后通过(guo)机床加(jia)工(gong)即(ji)得钛(tai)靶(ba)材。

相(xiang)关链接(jie)