大家(jia)都(dou)知道靶(ba)材(cai)分(fen)为(wei)很多(duo)种(zhong)，比如合金(jin)，氧(yang)化(hua)物，铜(tong)、铝(lv)、不锈钢(gang)、镍、钛(tai)等(deng)金(jin)属，而根(gen)据金属(shu)的(de)不同，需要(yao)用(yong)到各种不同(tong)的(de)靶(ba)材制备方(fang)法，凯(kai)泽(ze)金(jin)属(shu)结(jie)合相(xiang)关(guan)资(zi)料(liao)，整(zheng)理(li)如下：
溅(jian)射靶材(cai)的(de)不(bu)同工(gong)艺方法及(ji)特点
1、粉(fen)末烧(shao)结法
一(yi)般热压、真空(kong)热(re)压(ya)、热(re)等静压等工艺(yi)会用到粉末(mo)烧结法(fa)。
（1）特(te)点(dian)：这(zhe)种制(zhi)备(bei)工艺具(ju)有容(rong)易获(huo)得均(jun)匀细晶(jing)结(jie)构、节(jie)约(yue)原(yuan)材料、生产效率(lv)高(gao)等特(te)点。其(qi)关键在(zai)于(yu)需(xu)要(yao)选(xuan)择(ze)高纯、超细粉末(mo)作为原料，选(xuan)择可(ke)以实(shi)现快速致密化(hua)的成形烧结(jie)技(ji)术，从而保证靶(ba)材的低(di)孔隙(xi)率(lv)，并(bing)控(kong)制晶(jing)粒(li)度(du)。在制(zhi)备的(de)过程中需严(yan)格控(kong)制杂质元(yuan)素(su)的引(yin)入(ru)。
（2）适合金(jin)属：适合(he)W、Mo、Ru等(deng)难溶(rong)性(xing)金(jin)属(shu)和(he)合金(jin)。
2、熔(rong)炼(lian)铸(zhu)造法
一般真空感应(ying)熔(rong)炼、真(zhen)空电弧熔(rong)炼(lian)、真空(kong)电子(zi)轰(hong)击(ji)熔(rong)炼(lian)等(deng)工艺(yi)会用到(dao)熔炼铸(zhu)造(zao)法(fa)。
（1）特(te)点：熔炼铸(zhu)造(zao)法和(he)粉(fen)末(mo)法(fa)相(xiang)比，熔炼合(he)金靶(ba)材的(de)杂质含量，特别(bie)是(shi)气体(ti)杂质(zhi)含量(liang)低，而(er)且(qie)能高密(mi)度化(hua)、大(da)型化(hua)，但是(shi)对于(yu)熔(rong)点和(he)密(mi)度相差(cha)都(dou)很(hen)大的金属(shu)，熔(rong)炼法(fa)会(hui)难(nan)以(yi)获得成分(fen)均(jun)匀的(de)合(he)金(jin)靶材。
（2）适用(yong)金属：适(shi)合(he)AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等(deng)具(ju)有(you)良(liang)好(hao)塑性的金属(shu)。
3、挤压工艺(yi)
一(yi)般热挤(ji)压、冷(leng)挤压(ya)、温(wen)挤压等都会用(yong)到(dao)挤压工(gong)艺(yi)。
（1）特(te)点：主要用(yong)于(yu)制(zhi)备(bei)塑(su)性(xing)好的(de)金属及(ji)合(he)金旋(xuan)转靶材。
（2）适(shi)用(yong)金属：适合(he)AI、Cu、Zn等(deng)塑(su)性好的(de)金属(shu)。
4、等(deng)离(li)子喷(pen)涂法(fa)
一(yi)般真空、水(shui)稳、气(qi)稳(wen)等离(li)子(zi)喷涂等(deng)工艺都(dou)会用到等(deng)离子(zi)喷涂法。
（1）特点：可(ke)用(yong)于(yu)制(zhi)备脆(cui)性(xing)金(jin)属(shu)及合(he)金(jin)、陶瓷靶(ba)材等(deng)旋(xuan)转靶(ba)材(cai)。
（2）适用(yong)金(jin)属(shu)：适(shi)合Cr、Si、氧化物等的(de)旋(xuan)转靶材。
经过以(yi)上(shang)介(jie)绍可知(zhi)溅(jian)射靶材(cai)制(zhi)备(bei)工(gong)艺方(fang)法(fa)主(zhu)要有(you)粉末烧结(jie)法(fa)、熔(rong)炼(lian)铸造法(fa)、挤(ji)压工艺(yi)、等(deng)离子喷(pen)涂法(fa)等，不(bu)同(tong)工艺适(shi)用(yong)场(chang)合不同、特点(dian)不同、适用金(jin)属也不同(tong)，所以(yi)不(bu)同的(de)金属(shu)所用到(dao)的制备(bei)工(gong)艺(yi)都是(shi)不同(tong)的(de)，我们(men)可以做个相关(guan)的了解(jie)，如果大(da)家还(hai)有(you)疑(yi)问可(ke)以随时(shi)致(zhi)电宝(bao)鸡(ji)市凯泽金属材(cai)料(liao)有(you)限(xian)公司，我(wo)们(men)的(de)工(gong)作(zuo)人员(yuan)经验(yan)丰富(fu)、售(shou)后服(fu)务完善(shan)、所(suo)生(sheng)产靶材(cai)规格多(duo)样(yang)、制(zhi)备(bei)工(gong)艺精(jing)良(liang)，如(ru)有需(xu)要，欢(huan)迎大家随(sui)时致电或留言(yan)进行咨询(xun)。
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