宝鸡钛(tai)靶锆靶(ba)生(sheng)产(chan)厂(chang)家(jia)谈(tan)陶(tao)瓷靶(ba)材(cai)的(de)种类及其应用(yong)

陶瓷靶材(cai)的(de)种(zhong)类(lei)及(ji)其(qi)应用(yong)

随着电(dian)子(zi)产(chan)业的(de)发展(zhan)，高(gao)技术(shu)材料(liao)逐(zhu)渐向薄(bao)膜(mo)转移，镀(du)膜期间随(sui)之(zhi)发展(zhan)迅速，靶材(cai)是(shi)一(yi)种具(ju)有高附加值(zhi)的(de)特种电子(zi)材(cai)料，是溅(jian)射(she)薄膜(mo)材料(liao)的源(yuan)较(jiao)。陶瓷(ci)靶材(cai)作(zuo)为非(fei)金(jin)属薄(bao)膜产(chan)业(ye)发(fa)展(zhan)的基(ji)础(chu)材(cai)料(liao)，已(yi)得到从未(wei)有(you)过(guo)的发(fa)展(zhan)，靶材(cai)市场(chang)规模(mo)日益膨胀(zhang)。

国(guo)内(nei)的(de)陶瓷(ci)平(ping)面(mian)靶(ba)材(cai)主要采用(yong)烧结及绑定工艺(yi)，可生(sheng)产非(fei)常大(da)长(zhang)度600mm，非(fei)常(chang)大(da)宽度(du)400mmm，非常大(da)厚(hou)度(du)30mm，圆角(jiao)、斜边(bian)、台(tai)阶(jie)等(deng)异形根据(ju)客(ke)户要求加(jia)工。

陶瓷(ci)靶(ba)材的种类：

（1）按(an)应(ying)用(yong)来分(fen)，可(ke)分为(wei)半(ban)导(dao)体关联陶瓷靶(ba)材、显(xian)示(shi)陶(tao)瓷靶(ba)材、磁记(ji)录(lu)陶(tao)瓷靶材(cai)、光记(ji)录(lu)陶(tao)瓷靶(ba)材(cai)、超导陶(tao)瓷(ci)靶(ba)材(cai)、巨磁电阻(zu)陶(tao)瓷靶(ba)材等。

（2）按(an)化学组(zu)成，可分为(wei)氧(yang)化(hua)物陶(tao)瓷(ci)靶材、硅化(hua)物陶(tao)瓷(ci)靶材(cai)、氮化(hua)物(wu)陶(tao)瓷靶材(cai)、氟化物陶(tao)瓷(ci)靶材(cai)和硫(liu)化(hua)物陶(tao)瓷靶(ba)材(cai)等(deng)。其中平面显(xian)示(shi)ITO陶(tao)瓷靶(ba)材国内(nei)已(yi)广(guang)泛生(sheng)产(chan)应用(yong)。高(gao)介电绝缘(yuan)膜用陶瓷靶材(cai)和(he)巨(ju)磁(ci)电阻陶瓷(ci)靶(ba)材具有(you)广(guang)阔(kuo)的应(ying)用(yong)前景(jing)。

陶(tao)瓷(ci)靶材在现有的复杂(za)电子产(chan)品制造中(zhong)，只不过(guo)占(zhan)工(gong)程的较少部(bu)分(fen)，但起到(dao)了信息(xi)产(chan)业(ye)基(ji)础(chu)先(xian)导(dao)材料的作(zuo)用(yong)。

国(guo)内的陶瓷平面靶材主(zhu)要(yao)采用(yong)烧结(jie)及绑定(ding)工艺，可生产非(fei)常(chang)大(da)长度(du)600mm，非常(chang)大(da)宽(kuan)度400mmm，非常(chang)大厚(hou)度(du)30mm，圆角(jiao)、斜边、台阶(jie)等异形根(gen)据客户要求加工(gong)。我国电(dian)子信(xin)息(xi)产(chan)业发展很快，陶(tao)瓷溅(jian)射靶(ba)材的需求(qiu)逐年(nian)增(zeng)多(duo)，未(wei)来(lai)对(dui)陶瓷(ci)溅射靶(ba)材(cai)的(de)研究和开(kai)发，是我国(guo)靶(ba)材(cai)供(gong)应(ying)商(shang)的一(yi)个(ge)重(zhong)要的(de)课题。

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