钛靶(ba)、铬(ge)靶(ba)、锆靶(ba)、镍靶(ba)等合金溅(jian)射靶(ba)材(cai)的要(yao)求(qiu)比其他(ta)材(cai)料要高(gao)，除(chu)了(le)如纯度、尺寸(cun)、各(ge)项(xiang)杂质含量(liang)、缺(que)陷控制等(deng)一般要求外，还有(you)表(biao)面(mian)粗糙(cao)度、成份与(yu)组织(zhi)均匀性、异物（氧化(hua)物(wu)）含量与尺(chi)寸等(deng)特(te)殊的(de)要求。所以(yi)在(zai)溅射合(he)金(jin)靶(ba)材的制(zhi)备过程中，其方法是非常重要的，那么(me)常(chang)见的(de)溅射合(he)金(jin)靶(ba)材的制(zhi)备(bei)方(fang)法(fa)有(you)哪些(xie)呢？凯泽金(jin)属就(jiu)总结了几(ji)种(zhong)方法分享(xiang)给(gei)大家(jia)，一(yi)起(qi)来(lai)看(kan)看(kan)吧(ba)。
一、特种(zhong)熔炼法(fa)
特(te)种熔(rong)炼(lian)法(fa)是将(jiang)一(yi)定(ding)成(cheng)分配比的(de)合金(jin)原(yuan)料熔炼，再(zai)将(jiang)合(he)金溶(rong)液浇(jiao)注于模(mo)具中(zhong)，形(xing)成铸(zhu)锭(ding)，再(zai)经(jing)过机械加(jia)工制成(cheng)靶材(cai)，铸造法(fa)在真空中(zhong)熔炼、铸造(zao)。常用的熔炼方(fang)法有真(zhen)空感应熔(rong)炼、真(zhen)空(kong)电(dian)弧熔炼(lian)和(he)真空电子轰击(ji)熔炼(lian)等(deng)，其(qi)优(you)点(dian)是(shi)靶(ba)材(cai)杂质含量，特别是气体(ti)杂质(zhi)含(han)量(liang)低，密(mi)度(du)高(gao)，可大型(xing)化；但缺(que)点是(shi)对熔点和(he)密(mi)度(du)相差(cha)较大(da)的两种或(huo)两种(zhong)以上金(jin)属(shu)，普(pu)通熔(rong)炼(lian)法难以获(huo)得成分均匀的(de)合(he)金(jin)靶材，如(ru)钛铝合金(jin)（钛(tai)铝靶(ba)）。
二、粉末(mo)冶金(jin)法(fa)
粉(fen)末(mo)冶金(jin)法(fa)是将(jiang)一定成(cheng)分(fen)配比的合(he)金(jin)原(yuan)料(liao)熔(rong)炼，浇注成(cheng)铸锭后(hou)再(zai)粉(fen)碎，将(jiang)粉碎形(xing)成的(de)粉(fen)末(mo)经(jing)等静(jing)压成形(xing)，再高温(wen)烧(shao)结，形(xing)成靶材。此(ci)方法(fa)的(de)优点(dian)是(shi)靶材(cai)成分(fen)均匀(yun)；但(dan)缺(que)点是密(mi)度(du)低(di)，杂(za)质(zhi)含量(liang)高(gao)等(deng)，常用(yong)的粉末(mo)冶(ye)金工(gong)艺(yi)包(bao)括冷(leng)压、真空热(re)压(ya)和(he)热等(deng)静(jing)压(ya)等(deng)。
三(san)、强(qiang)电(dian)流加热法(fa)
强(qiang)电流加(jia)热(re)法采用可获(huo)得(de)大电流的(de)装置，利用(yong)大(da)电流使(shi)两(liang)种原料(liao)的(de)粉(fen)末(mo)发热，再(zai)施(shi)加压(ya)力，使(shi)得(de)两种(zhong)金(jin)属自身(shen)反(fan)应形成合(he)金(jin)靶材(cai)，此(ci)方(fang)法可用与制(zhi)作(zuo)钛铝(lv)合金靶(ba)材。钛粉(fen)和铝粉(fen)发(fa)热，施(shi)以(yi)压力，使(shi)铝和(he)钛自身(shen)反(fan)应形(xing)成钛铝(lv)合(he)金靶(ba)材。
四(si)、热(re)等静(jing)压(ya)烧结(jie)法
热(re)等静压烧(shao)结(jie)法(fa)热等静(jing)压(ya)烧(shao)结(jie)是(shi)指通(tong)过高(gao)温和各向均(jun)衡的高压气(qi)体的(de)共同作(zuo)用，使(shi)坯体或预烧体达(da)到(dao)烧(shao)结(jie)致密化(hua)的工艺方法。将(jiang)两(liang)种金属粉(fen)末进(jin)行混料(liao)，然后(hou)经过装粉和(he)冷(leng)等静(jing)压(ya)预(yu)压(ya)制、脱气工(gong)艺后再进(jin)行(xing)热等静(jing)压(ya)压(ya)制(zhi)成型，然(ran)后(hou)进(jin)行(xing)烧(shao)结和(he)加工得到合(he)金(jin)靶材。此(ci)方(fang)法适用(yong)于(yu)制(zhi)造(zao)形状复(fu)杂(za)的(de)制品(pin)，可提高制(zhi)品的致密(mi)度(du)和性(xing)能。
五、热(re)压(ya)烧结(jie)法(fa)
热(re)压(ya)烧结法(fa)制备技术用(yong)于(yu)制备(bei)钛(tai)铝合金(jin)溅射(she)靶材(cai)较为有潜(qian)力(li)。该技(ji)术工(gong)艺(yi)效率(lv)高，适(shi)合(he)产(chan)业(ye)化生产。而(er)用该技(ji)术(shu)制备(bei)钛(tai)铝合(he)金(jin)靶(ba)材(cai)需(xu)反(fan)复试验，选择(ze)合(he)适(shi)的脱模剂(ji)，提高(gao)成(cheng)品(pin)率及(ji)模具(ju)的(de)利用率(lv)，同(tong)时(shi)，需优(you)化烧(shao)结热工(gong)艺条件(jian)，如烧(shao)结(jie)温(wen)度(du)、升温(wen)速(su)率、热(re)压压(ya)力等(deng)，提(ti)高(gao)生产效率，从(cong)而降(jiang)低成(cheng)本(ben)。该(gai)工艺(yi)是使钛(tai)铝(lv)粉体(ti)在热和(he)力的共同(tong)作用下烧结(jie)成(cheng)型(xing)，利(li)用(yong)Ti- AI混(hun)合物(wu)中铝(lv)的(de)熔(rong)点(dian)低，将钛(tai)粉(fen)粘结在(zai)一(yi)起(qi)，形成(cheng)溅射合(he)金(jin)靶(ba)材(cai)。
以(yi)上(shang)五(wu)种(zhong)就(jiu)是(shi)常见的溅射合(he)金靶材的制(zhi)备方法(fa)，一般(ban)合金(jin)靶材都可(ke)以(yi)用熔炼(lian)法和粉(fen)末冶(ye)金法(fa)制备，而有(you)些合金靶(ba)材(cai)，如钛(tai)铝(lv)合(he)金(jin)，不太适(shi)用前(qian)两种方(fang)法，可(ke)用强电流加热法(fa)、热等静压烧(shao)结法、热压烧结法制(zhi)备(bei)，其(qi)中(zhong)热压烧结法(fa)用于(yu)制备钛(tai)铝合金溅(jian)射靶(ba)材(cai)较为(wei)理想(xiang)。凯泽(ze)金(jin)属(shu)专注(zhu)生(sheng)产各种溅射靶(ba)材，铬(ge)靶、镍(nie)靶、锆靶、铝(lv)靶材等(deng)的(de)深(shen)加工(gong)，产品(pin)纯(chun)度高(gao)，还可进(jin)行有关(guan)使(shi)用方(fang)面(mian)的技(ji)术指(zhi)导，如果(guo)您(nin)有(you)需(xu)要(yao)，欢(huan)迎(ying)联(lian)系(xi)凯泽(ze)金属详询。
相关(guan)链接(jie)
