溅射钛靶(ba)材(cai)与(yu)金(jin)属(shu)钛都(dou)是(shi)由(you)钛(tai)元素(su)组(zu)成(cheng)的(de)，所以(yi)材料(liao)基本(ben)相(xiang)同(tong)，但它(ta)俩的(de)区别主要在(zai)于(yu)金属(shu)钛(tai)可以作(zuo)为原材(cai)料(liao)生产钛(tai)靶材(cai)，而(er)钛靶(ba)材只(zhi)能(neng)是一种被制(zhi)造出来(lai)的产品(pin)。金(jin)属(shu)钛可通(tong)过(guo)几种(zhong)方(fang)法(fa)制成钛溅(jian)射(she)靶材。钛(tai)靶(ba)材(cai)在(zai)很(hen)多行(xing)业领域(yu)都能(neng)广(guang)泛的应(ying)用(yong)，以下(xia)由凯泽(ze)金(jin)属整理，结合(he)多年钛(tai)靶材(cai)的(de)深加工、销(xiao)售(shou)经(jing)验以及(ji)相(xiang)关(guan)资料(liao)，分享如下：
一、非集成(cheng)电(dian)路(lu)和集成(cheng)电(dian)路行(xing)业(ye)
非(fei)集成电(dian)路和(he)集(ji)成电(dian)路对溅(jian)射钛(tai)靶(ba)材(cai)的要(yao)求是(shi)不(bu)同的。一般而言，集成电(dian)路(lu)对涂层(ceng)材(cai)料(liao)有很(hen)高(gao)的要求，例(li)如更(geng)高(gao)的纯(chun)度(du)，更(geng)小(xiao)的晶粒尺寸以及更精(jing)确(que)的尺寸(cun)精度。但它揭(jie)示了(le)不同行业(ye)对钛(tai)靶(ba)材的(de)要求不同(tong)。集(ji)成(cheng)电(dian)路(lu)钛(tai)靶(ba)的纯(chun)度(du)要(yao)求主要(yao)是大于99.995％，高于非(fei)集成(cheng)电(dian)路中所(suo)用(yong)的纯(chun)度。
二(er)、平板(ban)显示器行业
平(ping)板显(xian)示器中(zhong)使用(yong)的(de)钛靶(ba)材包(bao)括液(ye)晶(jing)显(xian)示(shi)器，等离(li)子(zi)显(xian)示(shi)器，电致发光显(xian)示器(qi)和场(chang)发射显(xian)示器(qi)。溅射镀膜技(ji)术(shu)通(tong)常用(yong)于(yu)沉积(ji)平(ping)板(ban)显(xian)示器的(de)薄膜。Al，Cu，Ti和Mo是平板显(xian)示器的主要金(jin)属(shu)溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)。用于平板显示(shi)器的(de)钛靶材(cai)的(de)纯度通(tong)常(chang)需要(yao)大于(yu)99.9％。
三(san)、晶圆(yuan)制(zhi)作及(ji)芯(xin)片(pian)封(feng)装领(ling)域
钛靶材(cai)可用(yong)于晶圆(yuan)导(dao)电(dian)阻(zu)挡(dang)层及封装(zhuang)金属布(bu)线(xian)层(ceng)制(zhi)作。其(qi)中在(zai)晶(jing)圆制(zhi)造环节(jie)，靶材主(zhu)要用于执着(zhe)晶(jing)圆(yuan)导(dao)电层、阻挡层(ceng)以及(ji)金(jin)属栅(zha)极，而且(qie)在(zai)芯片封装(zhuang)环节，靶材用(yong)来(lai)生(sheng)成凸点(dian)下金(jin)属(shu)层、布线(xian)层(ceng)等(deng)金(jin)属(shu)材(cai)料。靶材(cai)在晶圆(yuan)制造及封装(zhuang)过(guo)程(cheng)成本(ben)占(zhan)比均约(yue)在3%左右(you)，虽然(ran)靶(ba)材(cai)在晶圆(yuan)制(zhi)造(zao)和(he)芯片(pian)封(feng)装领域用(yong)量不大，但是由(you)于溅射(she)靶(ba)材的(de)品(pin)质直(zhi)接影(ying)响导(dao)电层、阻挡(dang)层(ceng)的均(jun)匀(yun)程(cheng)度及(ji)性(xing)能(neng)，进而影响(xiang)芯(xin)片(pian)传输速度(du)及稳定(ding)性，因(yin)此(ci)靶(ba)材(cai)是(shi)半(ban)导(dao)体生(sheng)产(chan)的(de)核心(xin)原材(cai)料之一。
在晶(jing)圆(yuan)制作环节，半(ban)导(dao)体用溅射靶材(cai)主要(yao)用(yong)于(yu)晶(jing)圆导电(dian)层及(ji)阻挡(dang)层和金(jin)属栅极(ji)的(de)制(zhi)作(zuo)，主要用到铝(lv)、钛(tai)、铜、钽等(deng)金属，芯(xin)片封装(zhuang)用(yong)金属(shu)靶材(cai)于晶圆制作类(lei)似，主要有铜、铝(lv)、钛等。其(qi)中(zhong)，晶(jing)圆(yuan)制作导(dao)电层使(shi)用(yong)金属靶(ba)材(cai)主要(yao)有(you)铝靶和(he)铜(tong)靶(ba)，阻(zu)挡(dang)层(ceng)使用(yong)金(jin)属(shu)靶材主(zhu)要有(you)钽靶(ba)和(he)钛靶(ba)，阻挡(dang)层(ceng)主要有两(liang)个(ge)作(zuo)用，一(yi)方面是阻(zu)隔(ge)与(yu)绝缘，防止导电层(ceng)金属扩散到晶圆(yuan)主体材(cai)料(liao)硅中，另一方面(mian)作为黏(nian)附，用(yong)于粘结金(jin)属和硅(gui)材料。一般(ban)来(lai)说(shuo)，110nm技(ji)术节(jie)点以(yi)上(shang)晶圆分别用铝(lv)、钛作(zuo)为导(dao)线及(ji)阻挡(dang)层的(de)薄(bao)膜(mo)材(cai)料(liao)，110nm以(yi)下晶(jing)圆分别使(shi)用铜(tong)，钽材料作(zuo)为(wei)导线(xian)及(ji)阻(zu)挡层(ceng)的薄膜材料，随(sui)着晶(jing)圆(yuan)制程(cheng)的缩小(xiao)，未来对铜(tong)靶(ba)、钽靶(ba)以及(ji)制(zhi)作(zuo)金属栅极用(yong)钛靶的用量占(zhan)比将不(bu)断(duan)提升(sheng)。
四(si)、生物行(xing)业
钛是无(wu)磁性金属，在很强(qiang)的磁场中也不会(hui)被(bei)磁(ci)化(hua)，且与人体有良(liang)好的(de)相容(rong)性(xing)，可以用来制(zhi)造(zao)人(ren)体植入器(qi)件(jian)。一般(ban)医用(yong)钛材(cai)并没有达(da)到高(gao)纯(chun)钛的(de)级别，但(dan)是考(kao)虑到(dao)钛中(zhong)不纯物(wu)的(de)溶出(chu)问题(ti)，植入件(jian)用钛(tai)的(de)纯(chun)度(du)应尽(jin)可(ke)能的(de)高(gao)。文(wen)献(xian)还提到(dao)，高(gao)纯钛丝(si)可用(yong)做生(sheng)物(wu)捆(kun)扎(zha)材(cai)料。此外，内(nei)埋导(dao)管的(de)钛制(zhi)注(zhu)入(ru)式(shi)针头(tou)也达(da)到(dao)了高(gao)纯钛(tai)级别。
五、装饰材(cai)料(liao)行业
高纯钛(tai)靶(ba)材(cai)具(ju)有(you)优异(yi)的(de)耐大(da)气腐蚀(shi)性(xing)能(neng)，在大(da)气(qi)中长期使(shi)用(yong)也不变(bian)色，保证钛(tai)原(yuan)有(you)的本色。因(yin)此(ci)高(gao)纯度(du)钛还(hai)可以(yi)用(yong)做建(jian)筑(zhu)装饰(shi)材料。此(ci)外近年(nian)来(lai)部(bu)分装(zhuang)饰品以(yi)及部(bu)分(fen)佩(pei)戴物，如手(shou)链、手(shou)表及(ji)眼镜(jing)架(jia)等(deng)用钛(tai)制(zhi)作(zuo)利用了钛耐(nai)腐(fu)蚀、不变(bian)色、能长(zhang)久保(bao)持(chi)良(liang)好的(de)光(guang)泽以(yi)及与人体(ti)皮肤(fu)接(jie)触(chu)不(bu)致(zhi)敏等(deng)特(te)性(xing)。某些(xie)装(zhuang)饰品用(yong)钛(tai)的(de)纯(chun)度已(yi)经(jing)达到(dao)5N级(ji)别(bie)。
六(liu)、吸(xi)气材(cai)料(liao)行业
钛作为(wei)一(yi)种化(hua)学性质(zhi)非(fei)常(chang)活(huo)泼(po)的金属，在高(gao)温(wen)下可(ke)与许(xu)多元(yuan)素(su)和(he)化(hua)合物(wu)发(fa)生反应(ying)。高纯(chun)钛靶(ba)材对活性(xing)气体（如O2、N2、CO、CO2、650°C以(yi)上的水蒸气）的吸附(fu)性(xing)很(hen)强(qiang)，蒸(zheng)发在(zai)泵壁(bi)上的Ti膜(mo)可形成(cheng)一一(yi)个高吸(xi)附(fu)能力(li)的表(biao)面(mian)，这一性(xing)质使(shi)得Ti在(zai)超高真(zhen)空(kong)抽(chou)气系(xi)统中(zhong)作(zuo)为(wei)吸气(qi)剂(ji)而得到广(guang)泛(fan)的(de)应(ying)用。如用(yong)在(zai)升华(hua)泵(beng)、溅(jian)射离(li)子(zi)泵(beng)等(deng)，可使(shi)溅射离子(zi)泵的极限工(gong)作(zuo)压(ya)强低至(zhi)10-9Pa。
钛(tai)靶材(cai)的应(ying)用(yong)行(xing)业领域有(you)非(fei)集成(cheng)电(dian)路和(he)集(ji)成电(dian)路(lu)，平板显(xian)示(shi)器(qi)行业，晶(jing)圆制作及芯片封(feng)装领(ling)域(yu)，生物行业、装饰行(xing)业及吸(xi)气材料行业，每个(ge)行(xing)业对钛(tai)靶材(cai)的(de)要求(qiu)都不同，所以我(wo)们应(ying)用(yong)在(zai)不同行(xing)业的(de)话，选(xuan)购钛靶(ba)材(cai)时需(xu)要(yao)知(zhi)道(dao)产(chan)品(pin)的(de)规(gui)格(ge)，这(zhe)样(yang)靶(ba)材(cai)的(de)生(sheng)产厂(chang)家(jia)也(ye)会根据(ju)规(gui)格来提(ti)供制作(zuo)钛靶(ba)材(cai)。凯泽(ze)金(jin)属专(zhuan)注(zhu)生产各(ge)种(zhong)溅射靶(ba)材，铬(ge)靶(ba)、镍(nie)靶、锆(gao)靶、铝(lv)靶(ba)材等(deng)的(de)深加(jia)工(gong)，产(chan)品纯(chun)度高，还可(ke)进(jin)行有(you)关(guan)使用方(fang)面(mian)的(de)技术(shu)指(zhi)导(dao)，如果(guo)您(nin)有(you)需要，欢迎(ying)联系(xi)凯(kai)泽金(jin)属(shu)详(xiang)询。
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