对于(yu)需要(yao)制备不(bu)同尺(chi)寸(cun)的(de)靶(ba)材(cai)所采用(yong)的制备方法也不一(yi)样(yang)，比(bi)如(ru)制(zhi)备(bei)小尺寸(cun)的靶(ba)材(cai)，常(chang)用(yong)的(de)是(shi)粉(fen)末(mo)热等静压法以及(ji)粉(fen)末(mo)压(ya)制(zhi)烧结(jie)法。那么对于(yu)大(da)尺寸(cun)的靶材制备(bei)各(ge)种(zhong)表(biao)面(mian)强(qiang)化(hua)和表面防(fang)护涂(tu)层，比(bi)较(jiao)好的(de)一种(zhong)制备(bei)技术(shu)就是(shi)热喷(pen)涂技术，此(ci)技(ji)术可(ke)提高(gao)靶(ba)材的(de)利用(yong)率。但这(zhe)种技(ji)术如(ru)今(jin)也存有(you)一些缺(que)点(dian)，凯泽金(jin)属结合(he)相(xiang)关资(zi)料，将(jiang)其(qi)整(zheng)理如下(xia)：
一、热喷(pen)涂技术(shu)制(zhi)备(bei)靶(ba)材的(de)原(yuan)理(li)
热喷涂(tu)技(ji)术(shu)制(zhi)备靶材(cai)的原理(li)是(shi)用气体(ti)、液(ye)体燃料(liao)或用(yong)电(dian)弧(hu)、等离子弧作(zuo)热源(yuan)，将(jiang)金属、合金(jin)、陶(tao)瓷(ci)、金(jin)属(shu)陶(tao)瓷(ci)、氧(yang)化物、碳(tan)化(hua)物(wu)、硼(peng)化物、氮(dan)化(hua)物(wu)、硅(gui)化(hua)物(wu)、塑(su)料(liao)等(deng)粉末或(huo)丝材、棒材(cai)加热(re)到(dao)熔化(hua)或半熔(rong)化(hua)状态，借(jie)助于火焰(yan)推力或另(ling)用(yong)压缩空气喷洒于预(yu)处(chu)理过(guo)的工(gong)件(jian)表(biao)面上，形(xing)成(cheng)喷(pen)涂层的一种表(biao)面处(chu)理方(fang)法(fa)。
二、热喷涂(tu)技(ji)术(shu)制(zhi)备靶材优(you)缺(que)点(dian)
1、热(re)喷(pen)涂(tu)技术(shu)制备靶材优(you)点
（1）喷(pen)涂(tu)材(cai)料范(fan)围(wei)非常广泛，几(ji)乎(hu)包括所有的固(gu)体(ti)材料(liao)，除了火(huo)焰(yan)中能挥发(fa)的(de)物(wu)质(zhi)外(wai)；
（2）等离(li)子(zi)喷涂的(de)焰(yan)流(liu)温度(du)高(gao)，热(re)量(liang)集中，几(ji)乎能(neng)融(rong)化所有高(gao)熔点的(de)粉末材(cai)料，可(ke)以(yi)根据(ju)工件表(biao)面(mian)性能要求(qiu)制(zhi)备出(chu)各(ge)种性能(neng)的(de)涂层(ceng)；
（3）所(suo)选择的合适工艺，几乎(hu)能在任何固(gu)体(ti)材(cai)料(liao)表面上(shang)进行(xing)喷涂(tu)。
（4）喷(pen)涂(tu)层(ceng)平(ping)整(zheng)光滑，厚度(du)准确可控(kong)，直接(jie)进(jin)行(xing)精(jing)加(jia)工(gong)即(ji)可获得(de)产(chan)品(pin)，是(shi)一(yi)种近净(jing)成(cheng)形(xing)制备方法(fa)，节省(sheng)材(cai)料(liao)，特别(bie)适合贵重金(jin)属(shu)涂(tu)层(ceng)及靶材(cai)的(de)制备(bei)；
（5）一般(ban)不(bu)受(shou)施(shi)工(gong)现场(chang)限(xian)制，也(ye)不受工件(jian)尺寸的限制；
（6）涂(tu)层(ceng)的(de)厚(hou)度(du)可以控制，从(cong)几十微米(mi)到(dao)几个毫(hao)米(mi)；工(gong)件受热程度可(ke)以控(kong)制；
（7）等(deng)离(li)子(zi)喷(pen)涂通(tong)过采(cai)用真(zhen)空(kong)密(mi)闭，通入(ru)还原(yuan)性(xing)气(qi)体(ti)、惰(duo)性气体保护等方(fang)法，可(ke)获得(de)氧(yang)含(han)量低(di)、杂(za)质少(shao)的(de)涂层(ceng)；
（8）采(cai)用(yong)高(gao)能(neng)等(deng)离子喷涂(tu)设备，粉(fen)末(mo)沉(chen)积(ji)率高(gao)，沉积(ji)速(su)度(du)快(kuai)，可(ke)获(huo)得(de)较(jiao)厚(hou)的涂层，这是(shi)制备溅射(she)靶材的重要(yao)保证(zheng)。
（9）等(deng)离子(zi)焰(yan)流(liu)喷(pen)射(she)速度(du)高(gao)，能(neng)使(shi)粉末获得(de)较(jiao)大的动能和(he)较高的(de)温度，涂层与基体结(jie)合强(qiang)度(du)高；
（10）可(ke)使(shi)材料具有(you)耐磨、耐(nai)蚀(shi)、耐(nai)氧化(hua)、耐高温(wen)、隔(ge)热(re)、导电(dian)、绝缘、密(mi)封、减磨、防辐(fu)射等(deng)不(bu)同(tong)功能,使(shi)低(di)级材料(liao)可(ke)代替(ti)材料(liao)使(shi)用(yong);
（11）不(bu)仅(jin)能进(jin)行(xing)材(cai)料(liao)表(biao)面(mian)防(fang)护和强(qiang)化工(gong)作,而(er)且还能(neng)修补(bu)废(fei)旧(jiu)件,且修复(fu)速(su)度(du)快,修复(fu)件(jian)性(xing)能高(gao)；
（12）涂(tu)层(ceng)沉积(ji)效率(lv)较高(gao)，特(te)别适(shi)合(he)沉(chen)积薄(bao)膜涂层。涂(tu)层厚度可以控(kong)制，从(cong)几(ji)十(shi)微(wei)米(mi)到(dao)几毫米(mi)甚(shen)至可厚(hou)达20mm；
（13）除喷(pen)焊(han)外，热喷涂(tu)施工(gong)对(dui)基体的(de)热影(ying)响很(hen)小(xiao)，基(ji)体受(shou)热温度(du)不超(chao)过200℃，基(ji)体不会发生(sheng)变(bian)形(xing)和性能(neng)变(bian)化(hua)；
2、热喷涂(tu)技术(shu)制备靶材缺(que)点(dian)
（1）热(re)喷(pen)涂层(ceng)结合强度不(bu)太(tai)高，会(hui)存在孔(kong)隙(xi)问(wen)题(ti)及(ji)工件(jian)变(bian)形(xing)问(wen)题(ti)。
（2）热喷(pen)涂在(zai)制备(bei)靶(ba)材(cai)方面也是(shi)有一(yi)点(dian)需(xu)要(yao)改(gai)善的(de)，那就是(shi)涂(tu)层(ceng)组(zu)织的多孔(kong)性(xing)。容(rong)易(yi)吸(xi)附杂质、湿气，使得(de)溅(jian)射过程(cheng)中(zhong)高真空的迅速(su)获得(de)及真(zhen)空度的(de)稳定受到(dao)影(ying)响，并(bing)且(qie)导致在(zai)溅射过(guo)程中(zhong)，靶材溅(jian)射(she)表(biao)面(mian)瞬(shun)间高(gao)温(wen)使松(song)散颗(ke)粒团(tuan)状(zhuang)掉(diao)落(luo)，污染(ran)基(ji)片(pian)表面(mian)，影响镀(du)膜质量和镀(du)膜(mo)产(chan)品的(de)合格率。
（3）除喷(pen)焊外，热(re)喷涂涂层与基体的结(jie)合(he)主(zhu)要是(shi)物理(li)机(ji)械(xie)结(jie)合，结合(he)强(qiang)度不(bu)大(da)高，涂(tu)层(ceng)耐(nai)冲击和重载(zai)性能较(jiao)差；
（4）喷(pen)涂涂层(ceng)含(han)有不同(tong)程(cheng)度(du)的孔(kong)隙，对(dui)于耐(nai)腐(fu)蚀(shi)、抗(kang)氧(yang)化、绝缘(yuan)等(deng)应(ying)用(yong)，一(yi)般(ban)不如(ru)整体材(cai)料(liao)。但可通(tong)过(guo)复(fu)合涂层系统(tong)设(she)计(ji)等(deng)方法予(yu)以(yi)改进(jin)提高(gao)；
（5）喷涂小(xiao)件(jian)时(shi)，涂(tu)层(ceng)材料(liao)的(de)收(shou)得率(lv)低(di)；
（6）热(re)喷(pen)涂(tu)手(shou)工操作时的(de)劳动(dong)条(tiao)件较(jiao)差，有噪音、粉尘、热(re)和弧光(guang)辐(fu)射问题(ti)，必(bi)须(xu)注意劳(lao)动保护措施。
以上(shang)就是(shi)关于(yu)热(re)喷(pen)涂技(ji)术制备(bei)靶(ba)材(cai)优缺(que)点(dian)的介绍(shao)，可以(yi)看(kan)出采用热喷涂技术制(zhi)备靶(ba)材，优点(dian)还是有(you)很(hen)多(duo)，比(bi)如喷(pen)涂材料范围非(fei)常(chang)广泛(fan)，喷涂(tu)层平(ping)整光滑，厚度(du)准(zhun)确可控等，但(dan)其(qi)中也不乏存在一(yi)切(qie)缺点(dian)，如热喷涂(tu)层结合(he)强(qiang)度不(bu)太(tai)高(gao)等(deng)。凯泽金属专(zhuan)注生(sheng)产各种溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)，铬靶、镍(nie)靶(ba)、锆(gao)靶(ba)、铝靶(ba)材(cai)等(deng)的深加工，产(chan)品(pin)纯度(du)高(gao)，还可(ke)进(jin)行有(you)关使用(yong)方(fang)面(mian)的技(ji)术指导，如(ru)果(guo)您(nin)有(you)需(xu)要(yao)，欢(huan)迎联系(xi)凯(kai)泽(ze)金属详询。
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