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    1. <tt id="gaJw">⁠⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤‌⁠‌⁣⁠‍⁠⁣‍</tt>⁠⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤‌⁠‌⁢⁣‍⁠⁢⁠‍‍⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤⁤‌‍⁤⁠⁣
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        我国溅射靶材(cai)自主(zhu)可(ke)控(kong)发展(zhan)的经(jing)验及启(qi)示

        发布时间(jian):2024-03-17 20:43:06 浏览(lan)次(ci)数(shu) :

        溅射靶(ba)材(cai)是溅射(she)过程(cheng)中高速(su)度能(neng)的(de)离子(zi)束(shu)轰(hong)击(ji)的(de)目(mu)标(biao)材料(liao),是沉(chen)积电子(zi)薄膜(mo)的原材(cai)料。溅射靶(ba)材是平板(ban)显(xian)示(shi)、记(ji)录媒(mei)体(ti)、太阳能电池和(he)半导(dao)体这四大战略(lve)性(xing)新(xin)兴产业(ye)领域(yu)生产(chan)所(suo)需(xu)的关键(jian)核心(xin)材料(liao)之一(yi),具(ju)有(you)极(ji)高的附(fu)加(jia)值(zhi)。溅(jian)射(she)靶材属于市(shi)场规模有限、长(zhang)期被日美寡(gua)头(tou)垄(long)断(duan)并封(feng)锁(suo)的高(gao)技(ji)术(shu)领域(yu)。十余年来(lai),我(wo)国(guo)通过(guo)产(chan)业政(zheng)策引(yin)导(dao)、科(ke)技(ji)专项(xiang)扶持(chi)、资本(ben)助力(li)等全方位部(bu)署,得(de)以突破靶材关(guan)键核心(xin)技术(shu),实(shi)现少数企(qi)业成(cheng)功(gong)进入(ru)全球(qiu)知名半导(dao)体芯片(pian)及平(ping)板(ban)显示器制(zhi)造(zao)商(shang)的(de)供应链(lian)体(ti)系(xi)。本(ben)文(wen)通(tong)过对我(wo)国溅(jian)射(she)靶(ba)材行业进(jin)行调研,分析(xi)高技术(shu)产品自(zi)主研发和生(sheng)产(chan)中存(cun)在(zai)的共(gong)性(xing)问题(ti),以期(qi)对于(yu)解(jie)决(jue)诸(zhu)多(duo)“规模(mo)—技(ji)术”非(fei)对称性(xing)行业“卡(ka)脖(bo)子”问(wen)题(ti)提出对(dui)策建(jian)议(yi)及(ji)启示。

        一、我国溅射(she)靶(ba)材自(zi)主可(ke)控(kong)发展情(qing)况

        (一)日(ri)美欧(ou)少数(shu)跨国(guo)企业(ye)

        寡(gua)头(tou)垄(long)断(duan)全球溅(jian)射(she)靶材市场(chang),且长(zhang)期对(dui)我(wo)国实(shi)施(shi)技术(shu)封(feng)锁(suo)受益(yi)于太(tai)阳能、集成(cheng)电路产业快(kuai)速发展(zhan),2017—2021年全球(qiu)靶材(cai)市(shi)场规(gui)模维(wei)持年(nian)均(jun)14%的(de)增(zeng)长(zhang)率,2021年全球靶材(cai)市场规模(mo)约为213亿美(mei)元(yuan)。全球溅(jian)射靶(ba)材(cai)的研发(fa)及生(sheng)产主(zhu)要集(ji)中在美(mei)国普(pu)莱(lai)克斯(si)和(he)霍(huo)尼(ni)韦(wei)尔、日(ri)本(ben)JX金(jin)属商事(shi)株(zhu)式(shi)会(hui)社(she)和(he)东(dong)曹(cao)株式会社等(deng)少(shao)数巨头公(gong)司(si),这些巨头(tou)长期(qi)垄(long)断全球(qiu)约(yue)80%的靶材市场份额。美(mei)日(ri)欧(ou)通(tong)过技(ji)术封锁(suo)和资(zi)本(ben)控(kong)制(zhi),全(quan)面(mian)控制产(chan)业链(lian)和供(gong)应(ying)链,拥(yong)有整个产(chan)业绝对(dui)的(de)话(hua)语(yu)权(quan)和(he)定(ding)价权。

        (二(er))我(wo)国政(zheng)策(ce)、科技、资本(ben)全方(fang)位助力(li),加速(su)靶(ba)材本地(di)化进程(cheng),实(shi)现(xian)靶(ba)材(cai)国产(chan)化(hua)“从0到(dao)1”的(de)跨(kua)越(yue)

        为(wei)了实现(xian)靶(ba)材关键核(he)心技(ji)术自主(zhu),抢(qiang)占(zhan)材(cai)料(liao)前沿制高(gao)点,国家(jia)和重(zhong)点区域(yu)持续出(chu)台(tai)一(yi)系列(lie)支(zhi)持溅射(she)靶材(cai)行业发(fa)展的政(zheng)策,为行(xing)业(ye)快(kuai)速发展营(ying)造良好(hao)成长(zhang)环(huan)境(jing)(见(jian)表1)。国家高技术研究(jiu)发展计(ji)划(hua)(“863计(ji)划”)、国家科(ke)技(ji)重大专(zhuan)项(xiang)“极大规(gui)模集(ji)成电(dian)路制造(zao)装备及(ji)成套工艺”专(zhuan)项(“02专项”)等(deng)科研与(yu)产业化(hua)项目进(jin)行(xing)专项支持(chi)。同(tong)时,推动多层(ceng)次(ci)资本(ben)市场助(zhu)力(li)行业(ye)内技术领(ling)先(xian)企业(ye)实现上市融资,有(you)效保障(zhang)企(qi)业(ye)研发(fa)费(fei)用长(zhang)效(xiao)投(tou)入所需(xu)资(zi)金(jin)。国内靶材(cai)市(shi)场(chang)规(gui)模(mo)从2016年的177亿元增(zeng)长(zhang)至(zhi)2020年(nian)的337亿元,年增(zeng)长率(lv)保持在17%。全(quan)球(qiu)市(shi)场(chang)份(fen)额(e)占比不(bu)断(duan)提(ti)高,从(cong)2014年的约(yue)10%提(ti)升至2019年的约19%(数(shu)据来源:SEMI根据(ju)统计(ji)数据测(ce)算)。国(guo)产(chan)化(hua)程(cheng)度(du)不断(duan)提(ti)升,太(tai)阳(yang)能电(dian)池(chi)领(ling)域(yu)的靶材技术(shu)门槛(kan)低(di)于(yu)半导体和平板(ban)显示(shi)领(ling)域,已基本实(shi)现国(guo)产(chan)自(zi)主可控,主要(yao)平(ping)板(ban)显示(shi)器(qi)靶(ba)材(cai)国产化(hua)供(gong)应比例(li)超(chao)过50%。

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        我国(guo)已(yi)培育(yu)少数(shu)专(zhuan)业从(cong)事(shi)高性(xing)能溅(jian)射靶(ba)材研发和(he)生产(chan)的(de)企业,不断弥(mi)补(bu)国内(nei)同(tong)类产品的技(ji)术空(kong)白(bai),缩小(xiao)与(yu)日美竞(jing)争对(dui)手的(de)差距。江丰电子(半导体集成电(dian)路(lu)领(ling)域(yu)靶材(cai)为(wei)主(zhu))、有(you)研新材(半(ban)导(dao)体集成(cheng)电路领(ling)域(yu)靶材(cai)为(wei)主)、阿石创(chuang)(平板显示(shi)领(ling)域(yu)靶(ba)材为主(zhu))、隆(long)华(hua)节能(平(ping)板显(xian)示领域(yu)靶(ba)材为(wei)主(zhu))等(deng)上市企业(ye)已(yi)成(cheng)功(gong)开发出一(yi)批能适应(ying)高(gao)端(duan)应(ying)用(yong)领(ling)域的(de)溅射靶(ba)材(cai)。国(guo)产产(chan)品已(yi)进入(ru)台(tai)积电、格(ge)罗方德(de)、意法(fa)半导体(ti)、中芯(xin)国际(ji)、东(dong)芝(zhi)、海力(li)士(shi)、京东(dong)方、SunPower等国(guo)内外知(zhi)名厂商(shang)供(gong)应(ying)商(shang)生态(tai)体系中(zhong)(见(jian)图1)。

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        图(tu)1 国内(nei)靶(ba)材供(gong)应(ying)厂商准入下(xia)游客户(hu)

        (三(san))围(wei)绕(rao)产(chan)业(ye)链(lian)部署(shu)创新链,产(chan)业链(lian)逐(zhu)步(bu)实(shi)现向中(zhong)高端(duan)发(fa)展

        靶(ba)材(cai)领(ling)军(jun)企业经(jing)过20年(nian)从(cong)无(wu)到(dao)有(you)的发(fa)展(zhan),持续(xu)提升(sheng)创新(xin)链科(ke)技供(gong)给(gei),推(tui)动(dong)产(chan)业蝶(die)变(bian)升(sheng)级,向(xiang)产业(ye)链上下(xia)游(you)延(yan)伸,逐(zhu)步(bu)提升(sheng)产业(ye)价(jia)值。江(jiang)丰电子联(lian)合(he)哈尔滨(bin)工(gong)业大(da)学等(deng)科(ke)研(yan)院(yuan)校全(quan)面布(bu)局上(shang)游(you)原材(cai)料领域,实(shi)现(xian)高纯(chun)铝(lv)、钛(tai)材(cai)料的自(zi)主(zhu)供应。有(you)研亿金构建从超高(gao)纯原材料(liao)到(dao)溅射(she)靶(ba)材(cai)、蒸发(fa)膜(mo)材垂(chui)直一体化研(yan)发和生产(chan)的(de)产(chan)业化平台(tai)。阿石(shi)创与郑(zheng)州(zhou)大学何季麟院(yuan)士(shi)团队合作开(kai)发“平板(ban)显示(shi)用高性(xing)能(neng)ITO靶材关键(jian)技(ji)术(shu)及(ji)工程(cheng)化(hua)”项目。阿(a)石创重点(dian)发(fa)展(zhan)智(zhi)能(neng)制(zhi)造(zao)能(neng)力(li),实现PVD镀膜材(cai)料全(quan)流程(cheng)智能(neng)化、数字(zi)化。同时(shi),针(zhen)对我(wo)国半导体(ti)设(she)备零(ling)部(bu)件及(ji)耗材国(guo)产(chan)化(hua)水(shui)平(ping)极(ji)低(di)的(de)现状,江丰电(dian)子联合国内设备(bei)厂(chang)家(jia)研(yan)制(zhi)靶(ba)材(cai)生(sheng)产(chan)、检测的关(guan)键(jian)设备(bei),实(shi)现对(dui)北方华创(chuang)、沈阳(yang)拓荆等(deng)国内(nei)头部半导体设(she)备公司供货。隆华(hua)科(ke)技瞄准全(quan)球产业(ye)创(chuang)新前(qian)沿(yan),开发(fa)出多项光伏电池靶材(cai)技(ji)术,其无铟(yin)靶(ba)材(cai)取(qu)得突破进展、钙钛(tai)矿(kuang)电(dian)池用靶材处于(yu)供(gong)货(huo)测(ce)试阶(jie)段。

        (四(si))溅(jian)射靶材在(zai)高(gao)端(duan)集(ji)成(cheng)电路领域(yu)距(ju)离完全(quan)自主(zhu)仍有较(jiao)大(da)差距(ju)

        近年来(lai)半(ban)导(dao)体芯(xin)片(pian)的集(ji)成度(du)越来越(yue)高(gao),半导体领域靶(ba)材呈(cheng)现多(duo)品种(zhong)、高门(men)槛、定制(zhi)化(hua)研(yan)发(fa)的特点,从而对溅射靶材金(jin)属(shu)材(cai)料(liao)纯(chun)度(du)、内部(bu)微(wei)观(guan)结构(gou)等(deng)提出(chu)严(yan)苛的(de)标准(zhun)。当(dang)前,集成(cheng)电(dian)路钴(gu)靶(ba)材国内有研究(jiu)和生(sheng)产基础,铜(tong)钼(mu)、铜(tong)铝、钛(tai)铝、钨(wu)靶材国(guo)外(wai)相对垄(long)断(duan),28nm制(zhi)程(cheng)所(suo)需金(jin)属靶(ba)材实(shi)现(xian)部分国(guo)产(chan)化(hua)替(ti)代,仍(reng)有若干种未开(kai)发(fa)。江(jiang)丰电(dian)子(zi)2022年(nian)中(zhong)期报告(gao)披(pi)露(lu),5nm技(ji)术节(jie)点靶(ba)材(cai)样品正(zheng)在(zai)台(tai)积(ji)电(dian)、中(zhong)芯(xin)国际(ji)、海(hai)力士(shi)、联华电子等客户端验证中,距离批量(liang)供(gong)货仍有(you)很(hen)长距离。

        二、我(wo)国溅射靶材科(ke)技(ji)自(zi)主可(ke)控发展(zhan)中(zhong)存在的问题(ti)

        (一(yi))溅射靶材(cai)短(duan)期内(nei)无(wu)法突破(po)国(guo)外(wai)厂(chang)商(shang)设定(ding)的(de)技(ji)术(shu)壁(bi)垒,本质(zhi)原因(yin)在于相关(guan)领域(yu)基础研(yan)究(jiu)的(de)长(zhang)期(qi)缺失(shi)

        美(mei)日(ri)靶(ba)材企(qi)业具(ju)有完备的上下游技(ji)术(shu)垂直整(zheng)合能(neng)力(li),控(kong)制(zhi)着(zhe)全球高(gao)端电(dian)子(zi)制造(zao)用靶(ba)材(cai)的(de)主(zhu)要市(shi)场。我(wo)国虽然拥有各类(lei)基础(chu)矿产(chan)资(zi)源,但是受(shou)制(zhi)于金属(shu)提纯相关基础(chu)研(yan)究的(de)长期缺失,大(da)部(bu)分溅射靶(ba)材生(sheng)产(chan)用(yong)高(gao)纯(chun)金属仍然需(xu)要从(cong)国外(wai)进(jin)口(kou),严(yan)重(zhong)阻(zu)碍(ai)了(le)我(wo)国靶材高(gao)端(duan)应(ying)用。以(yi)铝靶材高纯金属为(wei)例(li),三层(ceng)电(dian)解精(jing)炼法早(zao)在1901年由(you)美(mei)国(guo)首(shou)先提(ti)出,1932年法(fa)国开(kai)发(fa)出(chu)99.99%精(jing)铝(lv)生(sheng)产工艺(yi),1941年(nian)日(ri)本(ben)住友化学实现批量(liang)化生产。受(shou)制于三(san)层(ceng)电(dian)解基础(chu)研(yan)究(jiu)薄(bao)弱,我国最(zui)大(da)的(de)超纯(chun)铝生产企业(ye)众(zhong)和(he)股(gu)份(fen)反馈(kui),纯(chun)度在(zai)5N以上(shang)超(chao)纯铝(lv)靶(ba)基(ji)材中部(bu)分(fen)反偏(pian)析(xi)元素(su)和难(nan)偏(pian)析(xi)元素得不到(dao)有(you)效控(kong)制,造成超(chao)纯铝靶基材(cai)质量与国际先进水平存在(zai)较(jiao)大(da)差距(ju)。

        (二)供应链下(xia)游(you)终端客户(hu)认(ren)证过程苛(ke)刻(ke),认证技术(shu)壁垒高(gao),准入(ru)周(zhou)期(qi)长,不确(que)定因(yin)素多(duo)

        溅(jian)射(she)靶(ba)材产(chan)品质量、性(xing)能指标直(zhi)接决(jue)定(ding)终(zhong)端(duan)产(chan)品的品质(zhi)和(he)稳(wen)定性(xing),因此,溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)行业存(cun)在(zai)严(yan)格(ge)的(de)供(gong)应(ying)商认(ren)证(zheng)机(ji)制(zhi),只有通(tong)过(guo)严格的(de)行业(ye)性(xing)质(zhi)量管理体系(xi)认(ren)证(zheng),同(tong)时满(man)足下(xia)游客户的(de)质量(liang)标(biao)准(zhun)和(he)性能要求,才能成为(wei)合(he)格供应商(shang)。下(xia)游(you)客(ke)户对溅(jian)射靶(ba)材供应(ying)商(shang)的(de)认(ren)证(zheng)过(guo)程(cheng)主要包(bao)括(kuo)供应商(shang)初评(ping)、产(chan)品报(bao)价(jia)、样品检(jian)测(ce)、小批量(liang)试用(yong)、稳定性(xing)检测、批(pi)量生(sheng)产等(deng)多个(ge)阶段(duan),认证过(guo)程(cheng)极(ji)为苛刻,靶(ba)材(cai)整(zheng)个(ge)认证大(da)约需六(liu)个(ge)月(yue)到(dao)两(liang)年(nian)时(shi)间(jian)。我(wo)国供(gong)应商需要在技术(shu)水平、产(chan)品质(zhi)量、后(hou)续服务和供应价格(ge)等方(fang)面显(xian)著超(chao)过(guo)原(yuan)有(you)供应商(shang),才有(you)可能(neng)获(huo)取(qu)业务合(he)作机(ji)会。实(shi)际(ji)的(de)认证(zheng)准入(ru)过(guo)程(cheng)更为(wei)艰难(nan),由于靶材供(gong)应(ying)链上(shang)下游(you)缺乏(fa)整体有(you)效的战(zhan)略(lve)合(he)作(zuo),下游(you)出于对(dui)自身利益(yi)的(de)考(kao)虑(lv),以及对国产(chan)产品可(ke)靠(kao)性(xing)的(de)担(dan)忧,实(shi)际执(zhi)行的供(gong)应(ying)商(shang)和产品(pin)认证(zheng)机(ji)制(zhi)更为(wei)严(yan)苛(ke),上(shang)游(you)能获取(qu)的有(you)效反(fan)馈数(shu)据(ju)极为(wei)有(you)限,不利(li)于(yu)国产(chan)靶材工(gong)艺(yi)优(you)化(hua)、质(zhi)量(liang)提升、批量化生产。

        (三)“多品种(zhong)、小批(pi)量”的(de)生产特点,使得(de)靶材(cai)生产(chan)企(qi)业呈现(xian)“生产(chan)研(yan)发(fa)投入高(gao)、行业(ye)利(li)润(run)空(kong)间受挤(ji)压、融(rong)资难(nan)度大(da)”等经营特(te)征

        受(shou)终(zhong)端客(ke)户定制化(hua)产品(pin)需要影(ying)响(xiang),靶(ba)材生(sheng)产(chan)呈现“多(duo)品种、小(xiao)批量(liang)”的(de)特点,使(shi)得(de)研(yan)发(fa)和(he)生产成(cheng)本(ben)较(jiao)高(gao)。同时(shi),建(jian)造现代(dai)化(hua)生产厂(chang)房(fang)和实验室资(zi)金(jin)投(tou)入大,需(xu)要引进(jin)国(guo)外先(xian)进(jin)的研(yan)发(fa)生(sheng)产(chan)设备和(he)精(jing)密(mi)的(de)检(jian)验测量仪器,根据《江(jiang)丰电子招(zhao)股(gu)说明书(shu)》披(pi)露的(de)数(shu)据,年产(chan)5.2万个超大规(gui)模(mo)集成(cheng)电(dian)路(lu)用超高(gao)纯(chun)金属溅射靶(ba)材(cai)产(chan)业(ye)化项(xiang)目(mu)总(zong)投(tou)资(zi)额(e)为10亿元(yuan),其(qi)中(zhong)设(she)备(bei)投资(zi)占比达到(dao)30%以上。

        我国(guo)靶材行业持续资金投(tou)入(ru)能(neng)力(li)薄(bao)弱。行业(ye)综合(he)毛利(li)率(lv)基本在(zai)20%~25%之间,作(zuo)为高端半导(dao)体(ti)领域的应(ying)用产品(pin),半(ban)导体靶材产(chan)品(pin)毛(mao)利(li)率(lv)约为(wei)30%。而(er)国外(wai)靶材生产企(qi)业多(duo)为(wei)国(guo)际(ji)巨(ju)头企业(ye),靶(ba)材只是(shi)多元化(hua)发(fa)展(zhan)业务之(zhi)一(yi),产(chan)品综合(he)毛利(li)率在(zai)30%以上(shang),公司净(jing)利(li)润率均在10%以(yi)上,经(jing)营抗风险(xian)能力较(jiao)强。同时,受(shou)原材(cai)料(liao)价格波(bo)动影(ying)响(xiang),盈(ying)利(li)能(neng)力不(bu)确定(ding)性增加。行业发(fa)展初期(qi)研发(fa)与经营(ying)风险(xian)不确定(ding)性大(da),传(chuan)统金(jin)融(rong)支持力度不(bu)足,风险投资青睐程(cheng)度低,专利等无(wu)形(xing)资产创新(xin)融(rong)资(zi)难(nan)度(du)较(jiao)大,主要(yao)靠政府补(bu)贴(tie),非(fei)经(jing)常(chang)性损益占(zhan)当(dang)期(qi)利润总额(e)比(bi)例高(gao),可持续(xu)发展(zhan)面临(lin)较大困(kun)难。

        (四(si))现(xian)有(you)风(feng)险(xian)补偿(chang)机(ji)制对于(yu)推广(guang)应用自(zi)主可(ke)控产品(pin)带(dai)来(lai)的潜在系统(tong)风险(xian)覆(fu)盖不(bu)足、效(xiao)果不佳(jia)

        在(zai)靶材(cai)的(de)供(gong)应(ying)链体(ti)系中,溅射(she)靶材(cai)约占(zhan)芯(xin)片制造材料(liao)市(shi)场(chang)的(de)2.6%,占(zhan)封装(zhuang)测(ce)试材料市(shi)场的(de)2.7%(数据(ju)来源(yuan):SEMI统(tong)计),靶材(cai)供应商需要(yao)承担国(guo)产(chan)替代潜(qian)在(zai)风险(xian)带来的(de)重大损失(shi)。当(dang)前(qian)的风(feng)险补偿机(ji)制主要是覆盖应用方的(de)经济损(sun)失,对(dui)于因使用(yong)国(guo)产(chan)技(ji)术自主(zhu)开发(fa)的产(chan)品(pin)可能(neng)引发的(de)系(xi)统(tong)性(xing)安(an)全风(feng)险(xian)无(wu)法(fa)覆盖,从而导致政策效(xiao)果不佳,严(yan)重制约(yue)我国自(zi)主(zhu)研(yan)发(fa)产(chan)品(pin)在应(ying)用端(duan)的(de)推(tui)广(guang)使用。

        (五)滞后的(de)人(ren)才(cai)培养(yang)导(dao)致(zhi)行业(ye)人才匮(kui)乏,国际(ji)化(hua)人(ren)才引进受大(da)国(guo)竞(jing)争影响面(mian)临(lin)较大不(bu)确定性

        美国(guo)、日(ri)本(ben)的跨国集团(tuan)长期(qi)把(ba)持(chi)着(zhe)核(he)心(xin)技术和关键(jian)设(she)备,国(guo)内(nei)溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)起步(bu)较晚(wan),滞(zhi)后(hou)的人才(cai)培养(yang)导(dao)致(zhi)行业人(ren)才(cai)匮乏(fa)。溅射(she)靶(ba)材(cai)研(yan)发(fa)和(he)制造需要大(da)批具有深(shen)厚(hou)专(zhuan)业背(bei)景(jing)、丰(feng)富(fu)实践经验的(de)高(gao)层次技(ji)术(shu)人(ren)才(cai)。从(cong)与(yu)江(jiang)丰电(dian)子(zi)的交(jiao)流(liu)中(zhong)获(huo)悉,其(qi)核心团(tuan)队中(zhong)有多位具有(you)金属材(cai)料、集成电(dian)路(lu)及平板(ban)显(xian)示(shi)制造(zao)专业背景和丰富(fu)产业经验(yan)的(de)归国(guo)博士(shi)、日(ri)籍专家,对于实现靶(ba)材(cai)自主(zhu)研(yan)发(fa)起(qi)到(dao)关(guan)键作用(yong)。

        要开发(fa)出(chu)满(man)足(zu)下游客(ke)户需求(qiu)的产(chan)品,研发(fa)人员(yuan)不仅要(yao)求(qiu)具备(bei)复(fu)合型专(zhuan)业知(zhi)识(shi)结构和较强学(xue)习(xi)能力(li),对行业(ye)技术(shu)发(fa)展(zhan)趋(qu)势有准确把握,还需(xu)要(yao)在(zai)实(shi)际工艺环(huan)境(jing)中(zhong)长期(qi)积(ji)累应用经验,深(shen)刻(ke)理(li)解生(sheng)产工(gong)艺(yi)的(de)关(guan)键(jian)技术。同(tong)时,公司(si)产(chan)品在(zai)销售(shou)给客(ke)户(hu)后(hou),需要(yao)经(jing)验丰(feng)富的(de)工程(cheng)师(shi)提(ti)供专业(ye)技术支(zhi)持(chi)服务,对(dui)产(chan)品逐(zhu)步(bu)完善(shan)。

        三、溅射(she)靶材(cai)自主(zhu)可(ke)控(kong)发展对于(yu)解决(jue)“卡脖子”问(wen)题的(de)启示(shi)

        在(zai)中美博(bo)弈的(de)大背(bei)景下(xia),诸(zhu)如靶材这类(lei)行业(ye)的(de)自主可控(kong)成为(wei)实(shi)现我国科(ke)技自(zi)立(li)自(zi)强的重(zhong)要组成(cheng)部分。我(wo)们(men)要高度(du)重(zhong)视(shi)“安(an)全—规(gui)模—技(ji)术(shu)”非(fei)对(dui)称性(xing),积极(ji)创新(xin)发(fa)展组(zu)织(zhi)模(mo)式(shi),发(fa)挥(hui)市(shi)场规模(mo)优势,释放国产化(hua)需(xu)求,拉(la)动供给(gei)端(duan)创(chuang)新发(fa)展(zhan),形成(cheng)大(da)中小(xiao)民(min)营(ying)企(qi)业(ye)融(rong)通(tong)发展的创新生态,以(yi)自(zi)主创(chuang)新链保(bao)障安全(quan)稳定的产(chan)业(ye)链(lian),充(chong)分(fen)发挥资金(jin)链和(he)人才(cai)链(lian)对(dui)于(yu)产(chan)业(ye)链的(de)支(zhi)撑作(zuo)用,构(gou)建(jian)社(she)会主义市(shi)场(chang)经(jing)济(ji)条件(jian)下(xia)的关(guan)键(jian)核心技术攻(gong)关新(xin)型(xing)举国体制。

        2.jpg

        (一)以新(xin)视野(ye)、新(xin)观念(nian)、新思(si)维构建(jian)大(da)中小(xiao)企(qi)业融通发展的创新生(sheng)态(tai)

        创(chuang)新技术(shu)研(yan)发(fa)组织(zhi)模(mo)式,充(chong)分发(fa)挥(hui)龙(long)头骨干(gan)企(qi)业的(de)带头作用(yong),构(gou)建(jian)以技术积(ji)累与创(chuang)新(xin)为(wei)主(zhu)的(de)中小企(qi)业(ye)为内(nei)核的更(geng)加开放的(de)创(chuang)新生(sheng)态系(xi)统(tong)。推动(dong)大(da)中小企(qi)业基(ji)于产(chan)业链、资(zi)金链(lian)、创(chuang)新链融通发(fa)展,实现(xian)互(hu)补(bu)协同(tong)的(de)产业融合(he)发展(zhan)体系(xi),有(you)效提升(sheng)重(zhong)点领(ling)域(yu)的(de)价(jia)值(zhi)链位(wei)置。学(xue)习借鉴(jian)靶材自(zi)主可控实(shi)现(xian)过(guo)程中好(hao)的做(zuo)法(fa),鼓励行业领军企(qi)业牵头(tou)成(cheng)立(li)联合(he)体,围(wei)绕(rao)重点(dian)领域研发(fa)及产(chan)业(ye)化,解(jie)决(jue)关(guan)键(jian)核(he)心技术,实现(xian)技(ji)术(shu)到市(shi)场的(de)突(tu)破(po)。鼓励靶材(cai)上(shang)中(zhong)下(xia)游的企业成(cheng)立(li)企(qi)业战略(lve)联盟(meng),设(she)立(li)各环(huan)节(jie)试(shi)点企业(ye),协调推进国(guo)产(chan)化替代。同时(shi)鼓励(li)主导(dao)企(qi)业(ye)加(jia)强同(tong)上(shang)下(xia)游合(he)资(zi),以(yi)资产(chan)为(wei)纽(niu)带或(huo)签(qian)订长期协(xie)议,风(feng)险(xian)共担(dan),共同走向市(shi)场(chang)。

        (二)发挥市(shi)场(chang)规(gui)模优势,打(da)通(tong)堵(du)点(dian),释放需(xu)求(qiu),拉动(dong)供给端(duan)创新发展(zhan)

        靶(ba)材行(xing)业长(zhang)达(da)20年的(de)自(zi)主(zhu)发展(zhan)实(shi)践证(zheng)明,我(wo)国(guo)要快(kuai)速(su)培(pei)育一批(pi)专业领(ling)域(yu)的冠军企业,必(bi)须(xu)通(tong)过(guo)需(xu)求(qiu)端的(de)市场释(shi)放,拉(la)动供给(gei)端(duan)的(de)创(chuang)新(xin)发展。面对(dui)外(wai)部(bu)环境变(bian)化带来(lai)的(de)新(xin)挑战,应立(li)足(zu)我国产业(ye)规模优势(shi)、配(pei)套(tao)优势和(he)部(bu)分领域(yu)先发优势,打(da)通(tong)生产(chan)、分配、流(liu)通(tong)、消(xiao)费(fei)各环节堵点(dian),推(tui)动重点核心产(chan)业链(lian)相关(guan)上(shang)下(xia)游(you)供应(ying)链(lian)多元(yuan)化(hua)配套(tao)合作。产(chan)业链中(zhong)主导企(qi)业和供(gong)应链链主企业(ye)要增(zeng)强忧患(huan)意识(shi)、树立底线(xian)思维,以备份思(si)维和行动释放(fang)一部分需求,采购(gou)和(he)使(shi)用(yong)部分国(guo)产零(ling)部(bu)件(jian)和(he)原(yuan)材(cai)料,给予(yu)国(guo)内企(qi)业(ye)在重要产品和关(guan)键(jian)核心(xin)技术领域的应(ying)用机会(hui),有(you)效(xiao)防范化解极端(duan)情况下供(gong)应(ying)短(duan)缺(que)带(dai)来风险(xian)挑战。

        (三(san))加(jia)大(da)对科技(ji)保险的(de)创新(xin)力(li)度,建(jian)立自(zi)主创(chuang)新容(rong)错(cuo)免责(ze)机制(zhi)

        2021年(nian)10月(yue),我(wo)国18家(jia)财产险(xian)公司(si)、再保(bao)险公(gong)司(si)共(gong)同组建集(ji)成(cheng)电(dian)路(lu)共保(bao)体(ti),2022年上半年(nian)共保体(ti)为(wei)长江(jiang)储(chu)存(cun)、中(zhong)芯(xin)国(guo)际等12家(jia)集成电路(lu)企业(ye)提供保(bao)险(xian)保障5903亿(yi)元。面(mian)对靶材行业(ye)发(fa)展中风(feng)险补(bu)偿(chang)机制(zhi)不完(wan)善(shan)等(deng)问(wen)题(ti),可(ke)以推广(guang)集(ji)成电路(lu)共保(bao)体(ti)模(mo)式经验(yan),进一步(bu)探索关键(jian)技(ji)术“卡(ka)脖子(zi)”问题(ti)的(de)新(xin)型风险(xian)保(bao)障(zhang)需(xu)求,助(zhu)力构(gou)建(jian)战(zhan)略性(xing)新兴(xing)产业自(zi)主(zhu)、安全、可控的(de)产(chan)业(ye)链。在关系(xi)国家产(chan)业(ye)安全(quan)的重要(yao)领(ling)域(yu),国(guo)家试(shi)行(xing)出台专(zhuan)项(xiang)的免责(ze)机(ji)制和(he)容(rong)错机(ji)制,针(zhen)对在(zai)应用推广(guang)过(guo)程(cheng)中因(yin)非(fei)人为(wei)责任造(zao)成的(de)直(zhi)接损失和(he)间(jian)接(jie)损(sun)失(shi),设置保(bao)险基金保(bao)障机制。同时,减(jian)轻终(zhong)端(duan)用户(hu)推广使(shi)用国产化产品(pin)的经(jing)济责任和政治(zhi)责任(ren),营(ying)造开(kai)放(fang)包(bao)容(rong)的创新(xin)氛(fen)围(wei)。

        (四(si))加强(qiang)科研院所、高校与(yu)企(qi)业(ye)产(chan)学研(yan)紧密(mi)合(he)作(zuo),解(jie)决(jue)国(guo)内(nei)企(qi)业在(zai)研(yan)发(fa)过(guo)程(cheng)中(zhong)缺(que)乏基础研(yan)究支撑(cheng)的问(wen)题(ti)

        受(shou)制于技(ji)术封锁,我(wo)国(guo)引(yin)进国外技术(shu)的难(nan)度(du)日益(yi)加(jia)大(da),企(qi)业(ye)亟须(xu)开展应(ying)用基础研究(jiu),解(jie)决发(fa)展中(zhong)面(mian)临的技术瓶颈(jing),并为(wei)开(kai)发(fa)新一代(dai)产品提供(gong)技术储备(bei)。然而,国内(nei)有(you)能(neng)力(li)从(cong)事(shi)基础(chu)研(yan)究的人(ren)才主要集(ji)中(zhong)在高(gao)校(xiao)和(he)公(gong)立(li)科研院所。应着(zhe)力(li)打(da)通科研(yan)院(yuan)所基(ji)础(chu)研究在(zai)解决企(qi)业应用问题(ti)过程(cheng)中存(cun)在的(de)堵(du)点(dian)、难(nan)点,引(yin)导(dao)各个(ge)创新(xin)主(zhu)体之(zhi)间(jian)信息、知识以及智力等要素(su)的(de)横向(xiang)流动(dong)与合理配(pei)置,提(ti)升创(chuang)新(xin)体(ti)系的(de)整(zheng)体效能(neng)。学(xue)习(xi)借鉴靶材领军企业产(chan)学研合(he)作(zuo)中的实(shi)践(jian)经(jing)验(yan),有(you)效推(tui)进产(chan)学研(yan)一体(ti)化(hua),加强(qiang)专项(xiang)领(ling)域(yu)创新联(lian)合(he)体(ti)建(jian)设,开(kai)展关(guan)键(jian)核(he)心技(ji)术联合攻(gong)关。鼓励高(gao)校科研(yan)工作(zuo)者(zhe)阶段性(xing)进(jin)驻(zhu)企(qi)业、挂职(zhi)企(qi)业(ye),深(shen)入(ru)参与企业技(ji)术研发(fa),帮扶(fu)企(qi)业(ye)提升(sheng)基础(chu)研究能力。建设新(xin)型研发机构(gou),链接企业需求(qiu)和技(ji)术(shu)攻(gong)关,为“卡(ka)脖子”技术(shu)提(ti)供持(chi)续源(yuan)动(dong)力(li)。

        (五)构建全国统一(yi)的知识产权交易(yi)平(ping)台,加(jia)快推(tui)进知(zhi)识(shi)产权质押融资

        2021年(nian)11月15日(ri)国家(jia)知识(shi)产权(quan)局(ju)颁布《专(zhuan)利(li)权质押登记(ji)办(ban)法》,2022年全年(nian)专(zhuan)利商标质押(ya)融(rong)资(zi)金(jin)额首次(ci)突(tu)破4000亿(yi)元。四(si)家领(ling)军靶(ba)材企业(江(jiang)丰电(dian)子、有(you)研(yan)新材(cai)、阿(a)石创、隆(long)华(hua)节能)拥(yong)有(you)的(de)专利数(shu)量(liang)达到1700多(duo)项,实际知(zhi)识(shi)产权质押(ya)融资仅30项(xiang),也(ye)只(zhi)是传统信(xin)贷及法(fa)人(ren)担保(bao)融资(zi)附(fu)属(shu)条(tiao)件。建议(yi)在当(dang)前各(ge)省知识产权交(jiao)易中心实(shi)践(jian)基(ji)础上,建(jian)立(li)全国(guo)范(fan)围内统(tong)一(yi)、规范(fan)的(de)知(zhi)识产权交易(yi)平(ping)台(tai),打(da)通(tong)各(ge)省知(zhi)识(shi)产(chan)权交易(yi)信息“孤(gu)岛”。总结(jie)发(fa)达(da)区(qu)域(yu)经验,因地(di)制宜(yi)推动(dong)地(di)方(fang)政(zheng)府主(zhu)导(dao)、知识(shi)产权(quan)运营机(ji)构(gou)主(zhu)导、保险机(ji)构(gou)主(zhu)导、商业(ye)银行(xing)主导(dao)四类(lei)知识(shi)产(chan)权质押典(dian)型(xing)模(mo)式(shi)。加(jia)大政(zheng)策支持(chi)力(li)度(du),加强银(yin)行(xing)与知(zhi)识产(chan)权(quan)服(fu)务机(ji)构合作(zuo),多(duo)维(wei)促(cu)进知识(shi)产(chan)权(quan)业(ye)务快(kuai)速(su)发(fa)展。促进企(qi)业自主(zhu)创新(xin),加(jia)速(su)科技(ji)成果转(zhuan)化(hua),促进(jin)产业链、创新链(lian)、资(zi)金(jin)链(lian)的(de)融合发(fa)展(zhan)。

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        (六(liu))重视(shi)技术(shu)人才的内(nei)培外(wai)引(yin),实(shi)现(xian)人才链与(yu)产(chan)业链深(shen)度(du)融合(he)发(fa)展

        以(yi)支撑(cheng)科(ke)技(ji)自(zi)立(li)自强(qiang)为(wei)目(mu)标(biao),在(zai)基(ji)础研(yan)究(jiu)和(he)“卡(ka)脖(bo)子(zi)”问题(ti)领域(yu),注(zhu)重(zhong)人(ren)才的引进(jin)与培养相(xiang)结合。以(yi)靶(ba)材四家(jia)领(ling)军企(qi)业为例,研发人(ren)员占到(dao)总人数的40%以(yi)上(shang),第一(yi)块国(guo)产(chan)靶材是(shi)国(guo)际关键(jian)技术(shu)专家带着技(ji)术(shu)和(he)创(chuang)业团队回到国(guo)内研发(fa)出来(lai)的(de)。面(mian)对(dui)当前错综复(fu)杂的国(guo)际(ji)形(xing)势(shi),既(ji)要大(da)胆引进国(guo)外(wai)高层(ceng)次(ci)技术人(ren)才(cai),也要(yao)加强自(zi)主培养(yang)人(ren)才,形(xing)成既(ji)有中国(guo)特色又(you)有国(guo)际(ji)比(bi)较优势的(de)产(chan)业技(ji)术人才发(fa)展(zhan)机(ji)制。充分(fen)发(fa)挥(hui)科(ke)技(ji)领军(jun)企(qi)业与(yu)科研院(yuan)所技术(shu)力量(liang),通过(guo)校(xiao)企双方(fang)深度(du)融(rong)合(he),出(chu)台(tai)有针对性的技(ji)术(shu)人才激励(li)与(yu)培养政(zheng)策,加快产业链(lian)上(shang)下游各(ge)技术(shu)领域人(ren)才集聚,培(pei)养兼(jian)具(ju)专(zhuan)业(ye)背景(jing)和(he)产(chan)业(ye)经验的(de)强(qiang)大人(ren)才队(dui)伍(wu)。做好我(wo)国战略性(xing)新兴(xing)产业(ye)急(ji)需紧(jin)缺(que)技术人才盘点(dian),对(dui)标发达(da)国(guo)家高层(ceng)次技(ji)术(shu)人(ren)才(cai)引进政策(ce),健(jian)全完(wan)善(shan)海(hai)外(wai)高层(ceng)次(ci)技术人才(cai)引(yin)进政(zheng)策(ce)体系(xi),对引进(jin)人(ren)才在承(cheng)担重(zhong)大科(ke)技项(xiang)目等方面(mian)提(ti)供支持。加(jia)大国(guo)内(nei)科(ke)技(ji)领军企(qi)业(ye)引进国(guo)际高(gao)端(duan)技术(shu)人(ren)才(cai)补(bu)助,完(wan)善高(gao)端技(ji)术(shu)人(ren)才出入(ru)境、医疗、住房、税(shui)收(shou)、子女(nv)教育(yu)、配(pei)偶就(jiu)业(ye)等一(yi)揽子(zi)服(fu)务体(ti)系(xi)。

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