1、引(yin)言(yan)
钛(tai)合(he)金(jin)因(yin)其(qi)优(you)良的耐蚀(shi)性、极高(gao)的(de)强度比(bi)，被(bei)誉为(wei)第三(san)金(jin)属。更难(nan)得的是，钛合(he)金(jin)在－253℃～500℃这样(yang)宽的温度(du)范(fan)围(wei)内(nei)都(dou)可以保持(chi)高(gao)强(qiang)度，但其(qi)缺点(dian)是(shi)表(biao)面(mian)硬度(du)低、耐磨性能(neng)差(cha)。纯钛(tai)的硬(ying)度(du)约为150HV～200HV，钛合(he)金(jin)的硬(ying)度通常不(bu)超过(guo)380HV，在(zai)很(hen)多(duo)情况下，这样(yang)的硬度(du)值(zhi)不能满(man)足(zu)实际(ji)生(sheng)产(chan)应用的需(xu)求(qiu)[1]。
在(zai)钛合金(jin)表(biao)面(mian)镀镍可(ke)赋予(yu)零(ling)件(jian)表(biao)面(mian)一(yi)定(ding)的(de)硬(ying)度和耐(nai)磨(mo)性(xing)，化学(xue)镀Ni-P合金(jin)工艺在化学镀(du)技(ji)术中是研(yan)究和(he)应(ying)用最为广(guang)泛(fan)的(de)方向。Ni-P非晶(jing)态合(he)金(jin)是(shi)非晶合(he)金中最为(wei)普(pu)遍的(de)一种(zhong)，其(qi)经(jing)过一(yi)定(ding)温(wen)度加热晶(jing)化后，晶(jing)粒(li)细(xi)微，并往往伴(ban)随(sui)着析出细(xi)小、弥(mi)散分布的金(jin)属间化(hua)合(he)物(wu)，在(zai)镀(du)层(ceng)中引(yin)起(qi)弥(mi)散(san)强化，使得(de)镀层(ceng)显微硬(ying)度大大提(ti)高(gao)，其(qi)耐蚀性甚(shen)至优(you)于硬铬(ge)镀(du)层，因此可(ke)用作耐(nai)磨表面(mian)镀(du)层(ceng)[2]。唐(tang)恩军等(deng)[3]通(tong)过低(di)压(ya)吹细(xi)砂加(jia)氢氟(fu)酸(suan)活(huo)化的(de)前处(chu)理方(fang)法(fa)，在(zai)钛(tai)合(he)金表面制备(bei)了结(jie)合力(li)良(liang)好(hao)的化(hua)学(xue)镀Ni-P层。Khoperia[4]研究(jiu)发现(xian)，化学(xue)镀(du)镍(nie)层经过(guo)适当(dang)的热处理可以改变Ni-P层(ceng)组(zu)织(zhi)结(jie)构(gou)，Ni3P第二相(xiang)颗粒(li)析出(chu)产生弥散强化，使镀(du)层硬(ying)度提高(gao)到(dao)900HV，镀(du)层(ceng)耐磨(mo)性(xing)能明显(xian)提高(gao)。
本(ben)文(wen)以(yi)工程化(hua)应用为(wei)目(mu)的(de)，通(tong)过单因素试验(yan)，优(you)选(xuan)出影响钛合(he)金(jin)化(hua)学(xue)镀(du)镍膜(mo)层(ceng)性能的工艺(yi)参(can)数，并形(xing)成钛(tai)合金(jin)化(hua)学镀镍工(gong)程(cheng)化工艺(yi)流(liu)程(cheng)，为不(bu)同(tong)使(shi)用(yong)要求下(xia)的(de)钛合(he)金筒体－活(huo)塞等相关(guan)摩擦副的设(she)计、处理工(gong)艺提供(gong)数据及(ji)试(shi)验(yan)支持(chi)，实(shi)现(xian)了(le)在(zai)作动(dong)系统(tong)部件产品(pin)中(zhong)的推广(guang)和工程(cheng)化应用(yong)。
2、试验
2.1试验方(fang)案
钛(tai)合金(jin)与(yu)氧(yang)有(you)极高(gao)的(de)亲(qin)和力(li)，是(shi)一(yi)种(zhong)极易氧化的金属，其(qi)暴露(lu)在大气(qi)或(huo)水(shui)溶(rong)液中(zhong)，会(hui)在(zai)表面形成(cheng)一层致密(mi)的氧化(hua)物薄(bao)膜。这(zhe)层氧(yang)化物薄膜由TiO、Ti2O3、Ti3O2、Ti3O5等组成(cheng)，十(shi)分牢(lao)固，厚度约(yue)（5～70）×10-10ｍ。经(jing)铸造、热(re)处理(li)的零(ling)件(jian)表(biao)面氧(yang)化(hua)膜更厚，氧(yang)化膜(mo)因机(ji)械(xie)损伤遭到(dao)破(po)坏时(shi)能很快(kuai)自动(dong)愈(yu)合，故(gu)很(hen)难去除。当采(cai)用(yong)氟化(hua)物(wu)浸蚀(shi)的方(fang)法将钛合(he)金(jin)表(biao)面的氧(yang)化(hua)膜(mo)去(qu)除(chu)后，因钛合(he)金(jin)极易(yi)氧化(hua)，其新(xin)鲜(xian)表面只(zhi)要一(yi)接(jie)触到(dao)空(kong)气(qi)、水或水(shui)溶(rong)液就会立(li)即(ji)形(xing)成(cheng)氧化膜(mo)。要获(huo)得结(jie)合(he)力良(liang)好(hao)的(de)镀层(ceng)，首(shou)先(xian)需要把钛(tai)合(he)金表面的(de)氧(yang)化膜除净，其次是在镀(du)层金(jin)属(shu)被(bei)沉(chen)积前保持(chi)钛合(he)金的(de)活(huo)性(xing)表(biao)面[5]。因此(ci)，钛(tai)合金(jin)化学镀(du)镍前处(chu)理方式(shi)直(zhi)接(jie)影(ying)响(xiang)镍(nie)层(ceng)与基(ji)体(ti)间的结(jie)合(he)力情(qing)况(kuang)。
本文(wen)采(cai)用(yong)不同前处(chu)理方(fang)案(an)进(jin)行单(dan)因(yin)素(su)试(shi)验，优选出(chu)获得(de)良(liang)好结(jie)合力(li)镀(du)层(ceng)的方案(an)（如(ru)表1所示）。
钛合(he)金(jin)电(dian)镀或(huo)化学(xue)镀的另外一(yi)个(ge)难(nan)题(ti)是渗氢(qing)量(liang)的(de)控(kong)制(zhi)。钛(tai)合(he)金(jin)是(shi)一种(zhong)极易渗氢(qing)的金属(shu)，在(zai)电(dian)镀(du)过程中(zhong)，除油、浸(jin)蚀、活(huo)化(hua)、施镀(du)均(jun)有氢以原子(zi)态吸(xi)附(fu)在钛(tai)合金表(biao)面。首先，氢通过钛(tai)合金(jin)晶格(ge)向(xiang)内(nei)扩散(san)，形(xing)成脆(cui)性(xing)晶间化合(he)物，使(shi)材料(liao)的延(yan)伸率和(he)冲击(ji)韧(ren)性(xing)大(da)大下降(jiang)。若(ruo)没(mei)有(you)采(cai)取(qu)有(you)效(xiao)的除(chu)氢措施或(huo)方(fang)法选(xuan)用不当，一(yi)旦含氢量超过(guo)150ppm，就(jiu)会导(dao)致(zhi)氢(qing)脆(cui)的发生。其次(ci)，吸(xi)附在(zai)钛(tai)合金(jin)表(biao)面(mian)的氢(qing)原子(zi)会(hui)以(yi)氢(qing)气的(de)形式(shi)析(xi)出(chu)并(bing)吸附在(zai)零(ling)件(jian)表面(mian)，阻(zu)碍了(le)金(jin)属离(li)子(zi)在(zai)该部(bu)位的正常(chang)放(fang)电。
如(ru)果氢(qing)气泡(pao)在整个(ge)电(dian)镀过(guo)程中滞留(liu)在(zai)一个部(bu)位不(bu)脱(tuo)落，那(na)么(me)就会在(zai)该处形成孔洞(dong)。另(ling)外，对钛合金零(ling)件(jian)施(shi)镀一(yi)段时间(jian)后(hou)，随着钛(tai)合金(jin)内含氢量(liang)不断(duan)增加，钛合金(jin)晶(jing)格内(nei)有一部(bu)分氢(qing)原子仍(reng)然会(hui)以氢气泡(pao)的形式析出，此时由于镀(du)层(ceng)的(de)结晶(jing)阻(zu)碍(ai)了氢(qing)气(qi)泡(pao)的析出，在氢气泡(pao)和内(nei)应力(li)的(de)双重作用(yong)下，该(gai)处就(jiu)会开(kai)裂、起皮、镀层脱(tuo)落[6]。
TC6化学镀镍后(hou)，依(yi)据(ju)AMS 2404和(he)HB/Z 5071标准(zhun)选取不(bu)同(tong)的(de)温(wen)度（288℃、343℃、399℃、488℃）进(jin)行(xing)热(re)处理(li)，然后(hou)对不同(tong)热处(chu)理(li)状态(tai)下(xia)钛(tai)合(he)金(jin)的(de)含氢(qing)量(liang)进(jin)行(xing)测试，以(yi)保(bao)证(zheng)钛合金(jin)含(han)氢量在安全范围(wei)内。
2.2试件(jian)加工(gong)
试样(yang)为钛合金(jin)TC6，其(qi)主要(yao)化(hua)学(xue)成分见(jian)表2。
TC6钛合金(jin)化(hua)学(xue)镀镍试(shi)样示(shi)意图(tu)如(ru)图(tu)1所(suo)示(shi)，其规(gui)格为Φ35×5ｍｍ，加工后(hou)进行机(ji)械(xie)抛(pao)光，再采用(yong)乙(yi)醇(chun)和(he)丙(bing)酮进行(xing)超声波清(qing)洗，试样(yang)的表面粗糙度Ｒａ0.4μm。试(shi)件经(jing)真空退(tui)火消除(chu)钛(tai)合金零(ling)件(jian)中(zhong)的(de)残余(yu)应力，并(bing)可(ke)以(yi)进行(xing)除(chu)氢处理(li)。
2.3检(jian)测(ce)及(ji)表征方(fang)法(fa)
（1）采(cai)用ＺＥＩＳＳ－40ＭＡＴ型(xing)扫描(miao)电(dian)镜（SEM）观察(cha)分(fen)析镀镍层截面(mian)的(de)微(wei)观形(xing)态(tai)特征(zheng)。
（2）采用(yong)Ｗｉｌｓｏｎ－ＴＵＲＯＮ－2500硬(ying)度测试仪，按(an)ASTM-E-384对(dui)镀镍层进行(xing)硬(ying)度(du)检(jian)测(ce)，并记(ji)录镀层硬度实(shi)值(zhi)。
（3）采(cai)用Ｘ－ｍａｘ20能谱仪(yi)，按GB/T 3620.1－2016标准(zhun)对(dui)镀(du)镍层进行(xing)成分测试分(fen)析(xi)，测(ce)定(ding)强化(hua)层元素(su)。
（4）采用ＥＬＴＲＡ－ＯＮＨ－2000型(xing)氧(yang)氮氢(qing)分析仪，按(an)照GB/T 4698.15－2011对(dui)不同热处理状态下(xia)钛(tai)合(he)金(jin)的含(han)氢量(liang)进(jin)行(xing)测试。
3、结果与(yu)讨(tao)论
3.1前处理方法对(dui)镀(du)层(ceng)结(jie)合力(li)的(de)影(ying)响(xiang)
钛(tai)合金极(ji)易氧(yang)化，其(qi)新鲜(xian)表(biao)面接触(chu)空(kong)气(qi)或(huo)水溶(rong)液会(hui)立刻生成(cheng)氧(yang)化膜(mo)。要获(huo)得(de)结合(he)力(li)良好(hao)的(de)镀(du)镍层(ceng)，首先需将钛(tai)合金表(biao)面(mian)的(de)氧化膜(mo)除净，其次(ci)是(shi)在(zai)镀(du)镍(nie)层金属被(bei)沉(chen)积前保持(chi)钛(tai)合(he)
金(jin)的活性(xing)表(biao)面。因(yin)此，钛(tai)合(he)金(jin)化学镀(du)镍前(qian)处理(li)方(fang)式直接影(ying)响(xiang)镍(nie)层(ceng)与基体(ti)间的(de)结合力(li)情况。本(ben)文(wen)采用(yong)不同(tong)的前处理(li)方(fang)案(an)进(jin)行(xing)单(dan)因(yin)素(su)试验，镀(du)层(ceng)结合力情(qing)况(kuang)如(ru)表3所示。
镀(du)层(ceng)结(jie)合力检查使用锉(cuo)刀法并结(jie)合(he)观察镀(du)层(ceng)形貌的方法(fa)。首先，按GB/T 5270－2005标准将试样(yang)夹在(zai)台钳上，用(yong)粗(cu)扁(bian)锉(cuo)锉其锯(ju)断(duan)面，方(fang)向(xiang)从基体向(xiang)镀(du)层，锉(cuo)刀与(yu)镀(du)层(ceng)表(biao)面(mian)大(da)约成(cheng)45°角。化(hua)学镀镍层(ceng)不(bu)出现(xian)与基(ji)体分离现象(xiang)，判断(duan)为结合(he)力合(he)格。其(qi)次，采(cai)用(yong)ＺＥＩＳＳ－40ＭＡＴ观(guan)察(cha)镀(du)层(ceng)表(biao)面。
TC6钛(tai)合(he)金(jin)采用不同(tong)前(qian)处理方(fang)法(fa)进(jin)行化学镀(du)镍，得到(dao)的镀(du)层组(zu)织形(xing)貌(mao)如图2所(suo)示(shi)。图2Ａ为(wei)不(bu)吹砂(sha)直(zhi)接进(jin)行(xing)氢氟酸(suan)活(huo)化(hua)处理，得(de)到的(de)镀(du)层容(rong)易(yi)开裂脱(tuo)落；图(tu)2Ｂ为(wei)低(di)压吹细砂(sha)＋冲(chong)击(ji)镀(du)镍处理(li)，得(de)到(dao)的(de)镀层(ceng)有许多(duo)细(xi)小(xiao)裂(lie)纹(wen)，结(jie)合(he)力不合(he)格；图(tu)2Ｃ为(wei)低(di)压(ya)吹(chui)细砂＋氢氟酸腐(fu)蚀(shi)＋氢化(hua)处(chu)理，得(de)到的(de)镀(du)层(ceng)裂(lie)纹较少(shao)，经锉刀(dao)法检查，镀(du)层(ceng)结合力合(he)格(ge)，但(dan)氢(qing)化溶(rong)液使用(yong)寿命短(duan)，溶(rong)液不稳定(ding)；图(tu)2Ｄ为低压(ya)吹(chui)细(xi)砂(sha)＋氢氟(fu)酸(suan)腐蚀，得到的镀层均(jun)匀(yun)致(zhi)密，几(ji)乎(hu)没有(you)裂纹(wen)，经锉(cuo)刀法检查，镀(du)层结(jie)合力(li)合(he)格(ge)且流程较简单。
3.2温度(du)对镀层硬(ying)度(du)的(de)影响(xiang)
TC6钛(tai)合(he)金(jin)化学(xue)镀(du)镍(nie)后(hou)按表(biao)4进(jin)行(xing)热(re)处(chu)理(li)，分别在(zai)空气炉(lu)和(he)真空(kong)炉里进行。采用Ｗｉｌｓｏｎ－ＴＵＲＯＮ－2500硬(ying)度测试仪，按(an)ASTM-E-384进行镀(du)层(ceng)硬(ying)度检(jian)测(ce)，并(bing)记(ji)录(lu)镀(du)层(ceng)硬度实值(zhi)。
TC6化学(xue)镀(du)镍(nie)后(hou)依据(ju)ＡAMS 2404和HB/Z 5071标(biao)准(zhun)选取(qu)不(bu)同(tong)的温度(du)（288℃、343℃、399℃、488℃）进(jin)行热处(chu)理(li)，分别(bie)在空(kong)气炉(lu)和(he)真(zhen)空(kong)炉(lu)里进(jin)行。采用(yong)Ｗｉｌｓｏｎ－ＴＵＲＯＮ－2500硬(ying)度测(ce)试(shi)仪(yi)，按(an)ＡＳＴＭ－Ｅ－384进行镀(du)层(ceng)硬度(du)检测，并(bing)记(ji)录镀(du)层(ceng)硬(ying)度(du)实(shi)值(zhi)。在空(kong)气炉(lu)中(zhong)进行不(bu)同(tong)温(wen)度的热(re)处理后(hou)，钛合(he)金(jin)试样随(sui)着(zhe)温度(du)的(de)升(sheng)高，其表(biao)面(mian)发(fa)生(sheng)氧化(hua)，颜(yan)色由淡(dan)黄(huang)色(se)→蓝色(se)→紫(zi)色(se)[7]。在真空(kong)炉中进(jin)行(xing)同(tong)样(yang)温(wen)度的(de)热处(chu)理(li)后，钛(tai)合(he)金试样未发生(sheng)氧(yang)化，表面仍(reng)为光亮(liang)的(de)金属(shu)本(ben)色(se)，如(ru)图(tu)3所示。
钛合金化(hua)学镀(du)镍试(shi)样的镀(du)层(ceng)厚度约为40μm～45μm，为(wei)明(ming)确镀(du)层(ceng)厚(hou)度与(yu)对(dui)应硬度(du)的关系，沿(yan)基(ji)体(ti)向(xiang)外每(mei)10μm范围(wei)测试(shi)硬度，得(de)到(dao)不同(tong)温(wen)度(du)下的镀层硬(ying)度(du)，结果见表5。可(ke)以(yi)看出，随着真(zhen)空炉(lu)温度的升(sheng)高(gao)，镀(du)层(ceng)硬(ying)度(du)表(biao)现(xian)为先(xian)升(sheng)后(hou)降(jiang)，288℃热(re)处理后(hou)试(shi)样的(de)硬度约757HV，343℃时(shi)硬(ying)度(du)为(wei)847HV，399℃时硬(ying)度达(da)到(dao)906HV，488℃硬(ying)度为(wei)662HV。这(zhe)是(shi)因为随着温度(du)升高，镀层中(zhong)Ni-P合(he)金(jin)组(zu)织粗化导(dao)致硬(ying)度有(you)所下(xia)降[8]。综(zong)上(shang)所(suo)述，钛(tai)合金(jin)化学(xue)镀(du)镍(nie)层采用(yong)真空(kong)炉(lu)热处理，温(wen)度(du)为(wei)399℃时(shi)硬度(du)最高。
3.3化学镀(du)镍镀层成分(fen)及(ji)物相检测
钛(tai)合(he)金(jin)化(hua)学镀(du)镍(nie)镀(du)层(ceng)采用(yong)Ｘ－ｍａｘ20能谱仪，按(an)GB/T 3620.1－2016标(biao)准进行(xing)成分测(ce)试分析，结果(guo)如图(tu)4所(suo)示。采(cai)用(yong)ＰＨＩＬＩＰＳ－ＤＷ2700型Ｘ射线衍射仪(yi)（ＸＲＤ）进行(xing)物(wu)相测(ce)试分(fen)析(xi)，如(ru)图(tu)5所(suo)示(shi)。
由图5可知，镀(du)镍(nie)层Ｎｉ质(zhi)量(liang)百分(fen)比(bi)约(yue)为93.3％，Ｐ质量(liang)百(bai)分(fen)比约为(wei)6.7％。因此，化(hua)学(xue)镀(du)镍处理的(de)镀(du)层为Ni-P合金(jin)，这类(lei)非晶(jing)态(tai)合(he)金(jin)经一定(ding)温(wen)度(du)加热(re)晶(jing)化后，晶粒(li)细微，并往往(wang)伴随(sui)着析(xi)出(chu)细小、弥散分(fen)布的金(jin)属(shu)间(jian)化合(he)物（Ni3P），在镀层(ceng)中引起(qi)弥散强(qiang)化，使镀(du)层(ceng)显(xian)微硬(ying)度(du)提高[9]，可(ke)以达到900HV。
3.4不(bu)同(tong)热处(chu)理状(zhuang)态的含(han)氢量检(jian)测
氢是(shi)氢脆的直接因(yin)素(su)，钛合金(jin)中氢的固溶度(du)为20ppm～200ppm。当超过溶解(jie)度(du)时(shi)，就(jiu)会形成ＴｉＨｘ，随(sui)着(zhe)氢含量(liang)进一步(bu)提高(gao)，氢(qing)化物的(de)数(shu)量(liang)增(zeng)加，体(ti)积(ji)增(zeng)大。如(ru)果(guo)氢化物主要集(ji)中在钛(tai)合金表(biao)面，则(ze)表面氢(qing)化(hua)物(wu)会发(fa)生脆性剥(bo)离(li)，从(cong)而(er)引起(qi)腐(fu)蚀(shi)加(jia)速。如果(guo)在应(ying)力作(zuo)用(yong)下扩(kuo)散到(dao)应(ying)力集中(zhong)的(de)位置形成氢(qing)化物，由(you)于(yu)内部(bu)微裂(lie)纹(wen)的(de)应(ying)力作(zuo)用(yong)扩散贯通(tong)，从而形(xing)成氢致开(kai)裂(lie)。
在(zai)钛合金化学(xue)镀(du)镍工艺(yi)过程(cheng)中，除油、氢氟(fu)酸活化(hua)、施镀及退(tui)镀(du)环(huan)节(jie)均(jun)存在吸(xi)氢(qing)行(xing)为。因(yin)此，为(wei)防止发生氢脆(cui)，考查不(bu)同热(re)处(chu)理(li)对(dui)钛(tai)合(he)金(jin)含(han)氢(qing)量(liang)的(de)影(ying)响(xiang)至(zhi)关(guan)重要。采用(yong)ＥＬＴＲＡ－ＯＮＨ－2000型(xing)氧氮(dan)氢分(fen)析(xi)仪(yi)，按(an)GB/T 4698.15－2011对(dui)不同(tong)热(re)处理状态下(xia)钛(tai)合金的含氢(qing)量进(jin)行(xing)测试，结(jie)果见表(biao)6。
从表(biao)6可以看出，虽然采用(yong)了氢氟(fu)酸等酸性溶(rong)液(ye)进(jin)行活化处理(li)，且(qie)化(hua)学镀镍工(gong)序中(zhong)都会(hui)有(you)吸(xi)氢(qing)过(guo)程(cheng)，但(dan)是钛合金(jin)在本工(gong)艺(yi)的增氢(qing)量并不(bu)多(duo)，约在30～50ppm之间。钛(tai)合(he)金化(hua)学镀镍采(cai)用空气(qi)炉(lu)热(re)处理(li)，会(hui)引发吸(xi)氢(qing)，399℃时(shi)含氢(qing)量为264.76ｐｐｍ，超(chao)出了可以(yi)形成(cheng)氢(qing)化物的(de)溶(rong)解(jie)度(du)范(fan)围。因(yin)此，钛(tai)合金化(hua)学镀(du)镍需采(cai)用(yong)真空炉进(jin)行热(re)处(chu)理。采用真空炉(lu)399℃热处理时(shi)，含氢量由109.00ppm降(jiang)低(di)至(zhi)104.28ppm，说明(ming)真(zhen)空炉热(re)处(chu)理(li)可(ke)释(shi)放(fang)钛合金(jin)在化学镀(du)镍工(gong)艺(yi)过(guo)程(cheng)中(zhong)吸(xi)收的氢，因(yin)此含(han)氢(qing)量(liang)有所降低，并且(qie)在(zai)安(an)全(quan)范围(wei)之(zhi)内。
3.5钛合(he)金化学(xue)镀镍工艺流程(cheng)确(que)定
综上所述，确定(ding)钛(tai)合(he)金(jin)化学镀镍(nie)工艺(yi)流程(cheng)，如图(tu)6所示(shi)。
4、结论(lun)
为提升钛合金(jin)表面硬(ying)度，增强(qiang)其(qi)耐磨性能以(yi)满(man)足产品(pin)技(ji)术(shu)指(zhi)标要求，开(kai)展(zhan)TC6钛合金化学镀(du)镍(nie)及(ji)耐磨(mo)性(xing)能(neng)研究(jiu)，得(de)到(dao)以(yi)下结(jie)论(lun)：
（1）钛合金TC6化(hua)学(xue)镀(du)镍(nie)处(chu)理后(hou)，镀(du)层(ceng)厚度(du)约(yue)为50μm，硬(ying)度(du)梯(ti)度显示(shi)，镀(du)层(ceng)硬(ying)度(du)在各(ge)个温(wen)度(du)区间内(nei)分布(bu)均匀(yun)且随(sui)着(zhe)温度(du)升高(gao)而提(ti)升(sheng)，真(zhen)空炉(lu)399℃热(re)处(chu)理(li)，硬度可达900HV。
（2）前(qian)处理(li)采(cai)用(yong)低压吹细(xi)砂(sha)＋氢(qing)氟(fu)酸腐(fu)蚀活化(hua)，得(de)到的镀层(ceng)均匀(yun)致密(mi)，几乎没有(you)裂纹，经锉(cuo)刀(dao)法检(jian)查(cha)，镀层结(jie)合力合格(ge)且(qie)流程较简(jian)单(dan)。
（3）选(xuan)取(qu)镀层不同区(qu)域进行(xing)能(neng)谱(pu)成分分(fen)析(xi)，发现(xian)镀层中(zhong)Ｎｉ质量(liang)百分比约(yue)为(wei)93.3％，Ｐ质量百(bai)分(fen)比约(yue)为(wei)6.7％，化学(xue)镀(du)镍处理的镀层为Ni3P合(he)金(jin)。
（4）钛(tai)合(he)金化学(xue)镀(du)镍需采(cai)用(yong)真空(kong)炉(lu)进(jin)行热处理(li)，399℃热处(chu)理含氢(qing)量104.28ppm，含(han)氢(qing)量符(fu)合(he)相(xiang)关(guan)标准要(yao)求(qiu)。
本文完成了(le)钛(tai)合金化学(xue)镀(du)镍工艺(yi)研(yan)究，试样(yang)性(xing)能(neng)指(zhi)标完(wan)全满(man)足(zu)现(xian)有(you)TC6钛(tai)合金筒(tong)体产(chan)品图(tu)纸(zhi)技(ji)术(shu)要求(qiu)，为钛(tai)合金筒体内(nei)壁(bi)硬化(hua)增(zeng)加(jia)了有效(xiao)的(de)解决方案(an)。
参(can)考文献(xian)
[1]訾(zi)群(qun)．钛(tai)合(he)金(jin)研(yan)究(jiu)新(xin)进展(zhan)及应用(yong)现(xian)状[Ｊ]．钛(tai)工业进展，2008，25（2）：23⁃27．
[2]范(fan)洪(hong)富(fu)，闫(yan)红(hong)娟，张(zhang)翼，等(deng)．热(re)处(chu)理对(dui)钛基化学(xue)镀(du)Ｎｉ⁃Ｐ镀层性能(neng)的影响[Ｊ]．材料(liao)热(re)处(chu)理学报，2008，29（4）：153⁃156．
[3]唐(tang)恩(en)军，赵(zhao)云强(qiang)，刘(liu)智(zhi)，等．钛(tai)合金化学镀Ｎｉ⁃Ｐ合金工艺(yi)研究[Ｊ]．航(hang)空维(wei)修与(yu)工(gong)程，2016（10）：84⁃87．
[4]ＫＨＯＰＥＲＩＡＴＮ．ＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅａｃｔｉｖａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｌｅｓｓＮｉ⁃Ｐｃｏａｔｉｎｇｄｕｃｔｉｌｉｔｙａｎｄａｄｈｅｓｉｏｎ[Ｊ]．ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，2003，69（2）：391⁃398．
[5]周(zhou)泽翔(xiang)，程海斌(bin)，薛(xue)理(li)辉(hui)，等(deng)．改善(shan)化学镀(du)镍(nie)层(ceng)结合(he)力的方法(fa)及其检(jian)测手段[Ｊ]．材料导(dao)报，2006，20（2）：79⁃81．
[6]杜楠，陈(chen)庆龙(long)，刘(liu)刚，等(deng)．一(yi)种(zhong)提(ti)高钛(tai)合金化学(xue)镀(du)镍(nie)层(ceng)结(jie)合(he)力的(de)方(fang)法[Ｊ]．材料保(bao)护(hu)，2011，44（11）：61⁃63．
[7]贾志强，曾(ceng)卫(wei)东(dong)，张(zhang)尧武(wu)，等(deng)．氧化处理对ＴＣ21钛合金(jin)氧(yang)化色(se)及(ji)力(li)学(xue)性(xing)能(neng)的影(ying)响(xiang)[Ｊ]．稀有金(jin)属材料与工(gong)程，2013，42（1）：49⁃53．
[8]宁(ning)铮，赵晴，陈(chen)庆(qing)龙，等．钛合金化(hua)学镀镍层结(jie)合力影(ying)响(xiang)因素探讨[Ｊ]．材(cai)料保(bao)护(hu)，2010，43（2）：33⁃35．
[9]朱雪(xue)峰(feng)，余日成，黄艳华(hua)，等(deng)．热处(chu)理(li)对ＴＡ19钛(tai)合金组(zu)织和力(li)学(xue)性(xing)能的(de)影响(xiang)[Ｊ]．金属(shu)热处理，2015，40（2）：103⁃106．
相(xiang)关链(lian)接
