产品名称：钛(tai)铝(lv)靶(ba)材(cai)
钛(tai)铝靶(ba)材是(shi)用于真(zhen)空(kong)镀膜(mo)行业溅射靶材(cai)中(zhong)的(de)一(yi)种，是高纯铝经过(guo)系(xi)列(lie)加工(gong)后的(de)产品，具有特(te)定的(de)尺(chi)寸(cun)和(he)形状高纯(chun)铝(lv)材(cai)料(liao)，安(an)装在真空镀膜机上(shang)，溅射(she)成(cheng)膜(mo)。
1、用(yong)途
适(shi)用(yong)于(yu)直流(liu)二极溅(jian)射(she)、三极溅(jian)射(she)、四(si)级(ji)溅(jian)射、射频溅(jian)射、对向靶(ba)溅(jian)射、离子(zi)束溅射、磁(ci)控溅(jian)射(she)等，可(ke)镀(du)制(zhi)反(fan)光膜(mo)、导(dao)电膜、半导(dao)体薄(bao)膜、电容(rong)器薄(bao)膜(mo)、装(zhuang)饰(shi)膜(mo)、保(bao)护(hu)膜(mo)、集成(cheng)电路、显(xian)示器(qi)等(deng)，相(xiang)对其它(ta)靶材，铝靶材(cai)的(de)价格较(jiao)低，所(suo)以(yi)铝靶材(cai)是(shi)在能(neng)满足膜(mo)层的功能前提下(xia)的首(shou)选靶(ba)材料(liao)。
2、分(fen)类
铝靶(ba)材(cai)有(you)平面(mian)铝(lv)靶材和旋转铝靶(ba)材(cai)之(zhi)分(fen)平(ping)面(mian)铝(lv)靶材(cai)是(shi)片状(zhuang)的，有(you)圆形、方形(xing)等(deng)。
旋(xuan)转(zhuan)铝靶材是管(guan)状的，利用效(xiao)率(lv)高，但不易(yi)加(jia)工(gong)，要(yao)通过(guo)高纯(chun)铝挤压(ya)、拉(la)伸、校直热处理(li)，机加(jia)工等(deng)多种(zhong)加(jia)工(gong)工(gong)序(xu)才(cai)能(neng)制(zhi)得(de)铝(lv)旋转(zhuan)靶材(cai)成(cheng)品。
3、铝靶材生(sheng)产(chan)工(gong)艺(yi)流程(cheng)
