产(chan)品(pin)名(ming)称：钛铝(lv)靶(ba)材
钛铝靶材是(shi)用(yong)于真(zhen)空镀(du)膜(mo)行业溅射(she)靶材(cai)中(zhong)的一种，是(shi)高纯(chun)铝经过(guo)系(xi)列(lie)加(jia)工(gong)后(hou)的(de)产(chan)品，具(ju)有特定(ding)的(de)尺(chi)寸和(he)形状(zhuang)高纯铝(lv)材(cai)料(liao)，安(an)装(zhuang)在真空镀(du)膜(mo)机(ji)上(shang)，溅射(she)成(cheng)膜(mo)。
1、用途
适(shi)用于(yu)直(zhi)流(liu)二(er)极(ji)溅(jian)射(she)、三极溅(jian)射、四(si)级(ji)溅射(she)、射频(pin)溅射(she)、对(dui)向靶溅射、离(li)子(zi)束(shu)溅射(she)、磁控溅射(she)等，可(ke)镀制(zhi)反(fan)光膜、导电(dian)膜(mo)、半导(dao)体(ti)薄膜(mo)、电容器(qi)薄(bao)膜(mo)、装(zhuang)饰(shi)膜(mo)、保护膜(mo)、集(ji)成(cheng)电路、显示(shi)器(qi)等，相对(dui)其(qi)它(ta)靶材，铝(lv)靶(ba)材的(de)价格(ge)较低，所以(yi)铝靶材(cai)是在能满足(zu)膜(mo)层(ceng)的功(gong)能前(qian)提下(xia)的首选(xuan)靶(ba)材料。
2、分类
铝靶材(cai)有(you)平(ping)面铝(lv)靶材和(he)旋转铝靶(ba)材之分(fen)平(ping)面铝靶(ba)材是片(pian)状的(de)，有圆(yuan)形、方(fang)形等(deng)。
旋转(zhuan)铝(lv)靶材是管(guan)状的，利(li)用(yong)效(xiao)率(lv)高(gao)，但(dan)不易加工，要通过(guo)高(gao)纯铝挤压、拉(la)伸、校直(zhi)热处理，机(ji)加工等(deng)多种加(jia)工(gong)工序才能制得(de)铝旋(xuan)转(zhuan)靶材成(cheng)品(pin)。
3、铝靶材生产工艺(yi)流程
