产(chan)品名称(cheng):高纯(chun)铝靶材(cai)
高(gao)纯铝(lv)靶(ba)材(cai)是用于(yu)真空镀膜行业(ye)溅(jian)射(she)靶材中(zhong)的一(yi)种(zhong),是高纯(chun)铝经(jing)过系列加(jia)工(gong)后(hou)的(de)产品,具有特(te)定的(de)尺(chi)寸(cun)和形状(zhuang)高纯(chun)铝(lv)材料(liao),安装在真(zhen)空(kong)镀(du)膜(mo)机(ji)上(shang),溅(jian)射(she)成膜(mo)。
1、用(yong)途
适用(yong)于(yu)直流二极溅射、三(san)极(ji)溅(jian)射(she)、四级(ji)溅(jian)射、射频(pin)溅射、对(dui)向(xiang)靶溅(jian)射(she)、离(li)子(zi)束(shu)溅(jian)射(she)、磁控溅射等,可(ke)镀(du)制(zhi)反光(guang)膜(mo)、导(dao)电(dian)膜(mo)、半(ban)导(dao)体薄(bao)膜(mo)、电(dian)容(rong)器薄(bao)膜、装饰膜(mo)、保护膜、集(ji)成电(dian)路、显(xian)示(shi)器等(deng),相对其它靶(ba)材,铝(lv)靶材(cai)的(de)价(jia)格(ge)较(jiao)低,所(suo)以铝(lv)靶(ba)材(cai)是在能满(man)足(zu)膜(mo)层的(de)功能前提(ti)下的首(shou)选靶材料。
2、分类(lei)
铝靶材(cai)有(you)平面铝(lv)靶材(cai)和旋转(zhuan)铝靶(ba)材(cai)之(zhi)分(fen)平(ping)面(mian)铝靶(ba)材是(shi)片(pian)状(zhuang)的,有(you)圆(yuan)形、方(fang)形等。
旋(xuan)转铝(lv)靶材(cai)是管状的,利用效(xiao)率(lv)高,但不(bu)易(yi)加(jia)工(gong),要通过高纯铝挤(ji)压、拉伸、校直热处(chu)理(li),机(ji)加工等多(duo)种加工(gong)工(gong)序才(cai)能(neng)制得铝(lv)旋(xuan)转靶材成品(pin)。
3、铝靶(ba)材生(sheng)产(chan)工(gong)艺流(liu)程









