产(chan)品名称：钛(tai)铝靶材(cai)
钛(tai)铝(lv)靶材是用于真(zhen)空镀膜行(xing)业(ye)溅射靶(ba)材中(zhong)的(de)一种，是高(gao)纯铝(lv)经(jing)过系列加(jia)工(gong)后的(de)产(chan)品(pin)，具(ju)有特(te)定(ding)的尺寸和形状(zhuang)高纯铝(lv)材料，安(an)装在(zai)真(zhen)空(kong)镀膜机上(shang)，溅(jian)射成膜(mo)。
1、用(yong)途
适用于直(zhi)流二(er)极溅(jian)射、三极(ji)溅射、四级(ji)溅射、射频溅(jian)射(she)、对向(xiang)靶(ba)溅射、离(li)子(zi)束溅(jian)射、磁控(kong)溅射(she)等(deng)，可(ke)镀制反光膜(mo)、导(dao)电(dian)膜(mo)、半(ban)导体(ti)薄膜、电(dian)容器(qi)薄膜(mo)、装饰膜、保(bao)护膜(mo)、集成电(dian)路(lu)、显示器等(deng)，相对其(qi)它(ta)靶材，铝(lv)靶(ba)材(cai)的价(jia)格(ge)较(jiao)低(di)，所(suo)以(yi)铝(lv)靶(ba)材是(shi)在能(neng)满足(zu)膜层(ceng)的功(gong)能(neng)前提(ti)下(xia)的(de)首选(xuan)靶材(cai)料。
2、分类
铝(lv)靶(ba)材(cai)有(you)平(ping)面铝(lv)靶(ba)材和(he)旋转(zhuan)铝靶(ba)材之(zhi)分平面(mian)铝靶材是片状的(de)，有(you)圆形、方形(xing)等(deng)。
旋转铝(lv)靶材(cai)是管状的(de)，利(li)用效(xiao)率高，但不易(yi)加(jia)工(gong)，要通(tong)过高纯(chun)铝挤(ji)压(ya)、拉(la)伸(shen)、校(xiao)直热处理，机加工等多种加工工(gong)序才(cai)能(neng)制得(de)铝旋(xuan)转(zhuan)靶材成品(pin)。
3、铝靶材(cai)生(sheng)产(chan)工(gong)艺(yi)流程(cheng)
