产品(pin)名(ming)称:钛铝(lv)靶材(cai)
钛(tai)铝(lv)靶材(cai)是用于(yu)真(zhen)空(kong)镀(du)膜行(xing)业(ye)溅射(she)靶(ba)材中的(de)一(yi)种,是高(gao)纯(chun)铝经过(guo)系列加工(gong)后(hou)的(de)产(chan)品,具有(you)特(te)定的(de)尺(chi)寸(cun)和形状高(gao)纯(chun)铝材料,安(an)装在真空镀(du)膜(mo)机上(shang),溅射(she)成膜。
1、用(yong)途
适用(yong)于直流(liu)二(er)极溅(jian)射(she)、三极溅射、四级(ji)溅(jian)射、射(she)频(pin)溅射、对(dui)向(xiang)靶溅(jian)射、离子(zi)束溅射、磁(ci)控(kong)溅射(she)等,可(ke)镀(du)制(zhi)反光膜(mo)、导(dao)电(dian)膜(mo)、半(ban)导(dao)体薄膜、电容(rong)器薄膜(mo)、装饰膜、保护膜(mo)、集成(cheng)电(dian)路、显示器(qi)等,相对(dui)其(qi)它(ta)靶材(cai),铝靶(ba)材的(de)价(jia)格(ge)较(jiao)低,所(suo)以(yi)铝(lv)靶材是(shi)在能满足(zu)膜层(ceng)的(de)功(gong)能前(qian)提(ti)下(xia)的(de)首(shou)选(xuan)靶(ba)材料(liao)。
2、分类
铝靶材(cai)有平(ping)面(mian)铝(lv)靶材和旋转(zhuan)铝靶(ba)材(cai)之分平面铝(lv)靶材(cai)是(shi)片状(zhuang)的(de),有(you)圆形(xing)、方形(xing)等。
旋(xuan)转(zhuan)铝靶材(cai)是(shi)管(guan)状的,利用效(xiao)率(lv)高,但不(bu)易(yi)加工,要通(tong)过(guo)高(gao)纯铝挤压(ya)、拉(la)伸、校直(zhi)热(re)处(chu)理,机(ji)加(jia)工等多种加(jia)工工序才能制得(de)铝(lv)旋转靶(ba)材成品(pin)。
3、铝(lv)靶(ba)材(cai)生产(chan)工(gong)艺(yi)流(liu)程(cheng)










