产(chan)品(pin)名称:高纯铝(lv)靶(ba)材(cai)
高(gao)纯铝靶材(cai)是用于(yu)真空(kong)镀(du)膜(mo)行业(ye)溅射(she)靶(ba)材中的一(yi)种,是高(gao)纯铝经(jing)过系(xi)列加(jia)工(gong)后的(de)产品,具(ju)有特定(ding)的尺寸和形(xing)状(zhuang)高(gao)纯(chun)铝(lv)材料(liao),安(an)装在(zai)真空镀膜(mo)机上,溅(jian)射(she)成(cheng)膜。
1、用(yong)途
适用于(yu)直流二(er)极溅(jian)射、三极溅射、四(si)级溅(jian)射、射频(pin)溅(jian)射、对向靶(ba)溅(jian)射(she)、离(li)子(zi)束(shu)溅(jian)射、磁(ci)控(kong)溅射等,可镀制(zhi)反(fan)光膜(mo)、导电(dian)膜(mo)、半(ban)导(dao)体(ti)薄(bao)膜(mo)、电容器薄(bao)膜、装(zhuang)饰膜、保护(hu)膜、集成(cheng)电路、显示(shi)器等,相(xiang)对其(qi)它(ta)靶材(cai),铝靶材(cai)的价(jia)格较低(di),所以铝靶材(cai)是在能满(man)足(zu)膜层的功(gong)能(neng)前(qian)提下的首(shou)选靶(ba)材料。
2、分类
铝(lv)靶材有平面铝(lv)靶材和(he)旋转铝靶材之分平(ping)面(mian)铝(lv)靶(ba)材是(shi)片状的,有(you)圆(yuan)形(xing)、方形等。
旋转(zhuan)铝(lv)靶材(cai)是管(guan)状(zhuang)的,利用效率(lv)高,但(dan)不易加(jia)工(gong),要通过(guo)高纯(chun)铝挤压、拉伸、校(xiao)直热处(chu)理,机(ji)加(jia)工(gong)等多(duo)种加工(gong)工序(xu)才能(neng)制(zhi)得铝(lv)旋转(zhuan)靶(ba)材(cai)成品。
3、铝(lv)靶(ba)材生(sheng)产工艺流程









