产(chan)品(pin)名(ming)称(cheng)：钛铝靶材(cai)
钛(tai)铝靶(ba)材是用于真空镀(du)膜行(xing)业溅(jian)射靶材中(zhong)的(de)一种，是高(gao)纯铝(lv)经过系列加(jia)工(gong)后的(de)产品(pin)，具(ju)有(you)特定(ding)的尺寸(cun)和形状(zhuang)高纯(chun)铝材料，安(an)装在(zai)真空镀(du)膜(mo)机(ji)上(shang)，溅(jian)射(she)成膜(mo)。
1、用(yong)途
适用(yong)于直流二极溅(jian)射、三极溅(jian)射(she)、四(si)级溅(jian)射(she)、射(she)频溅射、对(dui)向靶溅(jian)射、离(li)子束(shu)溅(jian)射、磁控溅射(she)等(deng)，可镀(du)制(zhi)反(fan)光膜、导(dao)电膜(mo)、半导体薄(bao)膜(mo)、电(dian)容器(qi)薄(bao)膜(mo)、装(zhuang)饰膜、保(bao)护(hu)膜、集(ji)成(cheng)电(dian)路(lu)、显示器(qi)等(deng)，相对(dui)其(qi)它靶材，铝靶(ba)材(cai)的价(jia)格(ge)较低，所以铝靶材(cai)是(shi)在能(neng)满足膜(mo)层的功(gong)能(neng)前(qian)提下(xia)的(de)首选(xuan)靶(ba)材料(liao)。
2、分类(lei)
铝(lv)靶材有平(ping)面铝(lv)靶材和旋转(zhuan)铝靶(ba)材(cai)之分平(ping)面铝靶(ba)材(cai)是片状(zhuang)的，有(you)圆(yuan)形、方形(xing)等。
旋转铝(lv)靶材(cai)是(shi)管状(zhuang)的，利用效(xiao)率高，但不(bu)易加工(gong)，要通(tong)过高(gao)纯铝(lv)挤压、拉(la)伸、校直(zhi)热处(chu)理(li)，机加(jia)工等多(duo)种加工(gong)工(gong)序(xu)才能制得铝(lv)旋转(zhuan)靶材(cai)成品(pin)。
3、铝(lv)靶(ba)材生(sheng)产工(gong)艺流(liu)程
