产(chan)品(pin)名称：钛铝(lv)靶(ba)材(cai)
钛铝靶(ba)材(cai)是(shi)用(yong)于真空镀膜行(xing)业(ye)溅(jian)射靶材中(zhong)的(de)一(yi)种，是(shi)高(gao)纯铝经(jing)过(guo)系(xi)列加工后的(de)产品，具(ju)有特(te)定(ding)的尺(chi)寸(cun)和形(xing)状高(gao)纯铝材(cai)料(liao)，安(an)装在真(zhen)空镀(du)膜(mo)机(ji)上(shang)，溅(jian)射(she)成膜。
1、用途(tu)
适用于(yu)直流二极溅射、三(san)极溅射(she)、四(si)级溅射、射(she)频(pin)溅(jian)射、对(dui)向(xiang)靶溅射(she)、离子(zi)束溅(jian)射、磁控溅射(she)等，可镀(du)制(zhi)反(fan)光(guang)膜(mo)、导电膜、半导(dao)体(ti)薄膜(mo)、电容器(qi)薄膜、装(zhuang)饰膜(mo)、保(bao)护(hu)膜、集(ji)成(cheng)电(dian)路(lu)、显示器等，相(xiang)对(dui)其(qi)它靶(ba)材，铝(lv)靶(ba)材(cai)的(de)价(jia)格较低(di)，所以铝(lv)靶材是(shi)在能满(man)足膜层(ceng)的(de)功能前(qian)提(ti)下的首选(xuan)靶材(cai)料。
2、分类
铝(lv)靶材(cai)有平面(mian)铝(lv)靶材和旋转(zhuan)铝(lv)靶材之(zhi)分(fen)平面(mian)铝(lv)靶(ba)材(cai)是片状的(de)，有圆(yuan)形(xing)、方形等(deng)。
旋(xuan)转铝(lv)靶(ba)材是管(guan)状的，利用(yong)效(xiao)率高，但不易加(jia)工(gong)，要(yao)通过高纯铝挤压(ya)、拉伸、校直(zhi)热处理(li)，机(ji)加工等(deng)多种加工工序(xu)才能制得铝(lv)旋转靶材成(cheng)品。
3、铝(lv)靶(ba)材生产工艺流(liu)程
