一、产品(pin)名称(cheng):铬(ge)靶材、铬靶(ba)块
凯(kai)泽金属铬(ge)靶材(cai)规格(ge):
圆(yuan)靶(ba)(直径φ1"-φ14",厚(hou)度0.5-15mm)
板(ban)靶(长<500mm,宽(kuan)<500mm,高<25mm)
管(guan)靶(ba)(外(wai)直径(jing)φ3.0mm-φ300mm,内直(zhi)径φ2.0mm-280mm)
材(cai)料(liao)纯度:>99.995%
金属(shu)杂质含(han)量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平(ping)整(zheng)度(du)(TIR):<20μm
局部(bu)平整度(STIR):<10μm
翘(qiao)曲(qu)度(du)(Warp):<50μm

二、产(chan)品(pin)名(ming)称:钛(tai)靶材,钛(tai)圆(yuan)柱(zhu)靶、钛(tai)靶管(guan)
牌(pai)号(hao):TA1,GR1
执(zhi)行(xing)标(biao)准:GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用(yong)途:钛(tai)靶材用于(yu)半导(dao)体分离器件、平面(mian)显示器(qi)、储(chu)存(cun)器(qi)电(dian)极(ji)薄膜(mo)、溅(jian)射镀膜、工(gong)件(jian)表(biao)面(mian)涂(tu)层,玻(bo)璃(li)镀(du)膜工业(ye)等(deng)领(ling)域(yu)。

三(san)、产(chan)品(pin)名(ming)称(cheng):镍靶(ba)材
牌号(hao):N6, N4
用(yong)途:镍靶(ba)材(cai)用(yong)于半(ban)导(dao)体分(fen)离器(qi)件、平(ping)面显(xian)示(shi)器、储(chu)存器(qi)电极薄膜、溅(jian)射镀膜、工件表面涂(tu)层(ceng),玻璃镀(du)膜(mo)工业(ye)等(deng)。

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