众所(suo)周知(zhi)，纯度是靶材的主要(yao)性能指(zhi)标之(zhi)一，在(zai)实(shi)际使用(yong)中，对(dui)靶材(cai)的(de)纯(chun)度(du)要(yao)求也(ye)不尽(jin)相(xiang)同。相(xiang)比一(yi)般(ban)的工业纯钛，高纯(chun)钛价格昂贵(gui)，应(ying)用范围较(jiao)窄。主要用(yong)来满足(zu)一些(xie)特(te)殊(shu)行(xing)业的使(shi)用。有关(guan)高(gao)纯(chun)钛靶(ba)材的主(zhu)要应(ying)用(yong)领(ling)域，凯泽(ze)金属整(zheng)理(li)如(ru)下(xia)：
1、生物(wu)材料(liao)
钛(tai)是无磁性金属(shu)，在(zai)很强(qiang)的磁场(chang)中也(ye)不(bu)会(hui)被(bei)磁化，且与(yu)人体(ti)有良好(hao)的相容性(xing)，无毒(du)副作(zuo)用，可(ke)以用来(lai)制(zhi)造人体(ti)植(zhi)入(ru)器件。一(yi)般医(yi)用(yong)钛(tai)材并(bing)没有(you)达(da)到高(gao)纯钛的(de)级(ji)别(bie)，但是(shi)考(kao)虑到钛(tai)中不纯(chun)物(wu)的溶(rong)出问(wen)题，植入件(jian)用钛(tai)的纯(chun)度(du)应(ying)尽可能的高。有文(wen)献(xian)中(zhong)提(ti)到(dao)，高纯(chun)钛(tai)丝(si)可用(yong)做生物(wu)捆扎(zha)材料(liao)。此(ci)外(wai)，内埋导管的(de)钛(tai)制注(zhu)入(ru)式针(zhen)头也达(da)到了高纯(chun)钛(tai)级别。
2、装(zhuang)饰(shi)材料(liao)
高(gao)纯(chun)钛具有(you)优(you)异的(de)耐(nai)大气(qi)腐(fu)蚀性(xing)能(neng)，在大气中(zhong)长(zhang)期使用也(ye)不变色，保证钛(tai)原(yuan)有(you)的(de)本(ben)色(se)。因此高纯(chun)度(du)钛还可以用(yong)做(zuo)建筑装(zhuang)饰(shi)材料。此外(wai)，近(jin)年(nian)来部分高档装(zhuang)饰(shi)品以及部分佩戴物，如(ru)手链(lian)、手(shou)表(biao)及(ji)眼镜(jing)架等用(yong)钛(tai)制(zhi)作(zuo)利用了钛耐腐蚀、不(bu)变(bian)色、能长久保持(chi)良好(hao)的光(guang)泽以(yi)及与(yu)人(ren)体皮肤(fu)触(chu)摸不(bu)致敏等(deng)特性(xing)。某(mou)些装(zhuang)饰(shi)品用(yong)钛的纯(chun)度现已(yi)达(da)到(dao)5N级别。
3、吸(xi)气材料(liao)
钛(tai)作(zuo)为(wei)一(yi)种(zhong)化学性(xing)质非(fei)常(chang)活泼的(de)金属(shu)，在(zai)高(gao)温(wen)下可(ke)与(yu)许(xu)多(duo)元(yuan)素和化(hua)合物发(fa)生反应。高纯钛对活性气体(如O2，N2，CO，CO2，650℃以上的水(shui)蒸(zheng)气(qi))的吸(xi)附性很(hen)强，蒸发在泵壁(bi)上(shang)的钛(tai)膜可(ke)形成(cheng)一个高(gao)吸(xi)附能(neng)力(li)的(de)表面(mian)，这一(yi)性(xing)质(zhi)使(shi)得Ti在超高真空(kong)抽(chou)气(qi)系统(tong)中作为吸(xi)气剂而得到(dao)广(guang)泛的(de)应用。如用(yong)在升华泵(beng)、溅(jian)射(she)离子泵等(deng)，可使(shi)溅射(she)离子泵的(de)极(ji)限(xian)工作压强(qiang)低(di)至一(yi)定程度。
4、电(dian)子(zi)信息(xi)材料
近年来(lai)，随(sui)着半导体(ti)技术、信(xin)息技术等高(gao)科技(ji)领域(yu)的快速(su)发(fa)展，高纯钛(tai)在溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)、集(ji)成(cheng)电路、DRAMs和平(ping)板(ban)显(xian)示器等方面的用量越来(lai)越大，对钛材(cai)的(de)纯(chun)度(du)要(yao)求越来(lai)越(yue)高。在半导(dao)体(ti)超大规模(mo)集成电路行(xing)业(ye)，控(kong)制(zhi)电(dian)极采(cai)用钛硅(gui)化合物、钛氮(dan)化(hua)合物、钨钛(tai)化合(he)物等(deng)作(zuo)为扩(kuo)散(san)阻挡层(ceng)和配线(xian)材(cai)料。制(zhi)作这些(xie)材(cai)料采(cai)用(yong)溅(jian)射法，而溅(jian)射法(fa)用(yong)的钛(tai)靶(ba)材对(dui)纯(chun)度要求(qiu)很(hen)高(gao)，特(te)别是(shi)对碱金属元素(su)和(he)放射性(xing)元(yuan)素要(yao)求含(han)量极低(di)。
除此(ci)之(zhi)外，高(gao)纯钛(tai)靶材在特殊(shu)合金、功(gong)能材(cai)料(liao)领域(yu)也有应(ying)用(yong)。
相(xiang)关(guan)链(lian)接
