磁(ci)控溅射钛靶(ba)材(cai)主要应(ying)用于电子(zi)及(ji)信息(xi)产业(ye)，如(ru)集成(cheng)电路、平面显(xian)示屏和家装汽车行(xing)业装饰(shi)镀(du)膜领域(yu)，如(ru)玻璃(li)装(zhuang)饰镀(du)膜(mo)和(he)轮毂装饰镀膜(mo)等(deng)。
为(wei)了(le)更能(neng)接(jie)近磁控溅(jian)射(she)靶(ba)材的使用(yong)者(zhe)，以(yi)便提(ti)供(gong)更(geng)完(wan)善(shan)的售后服(fu)务，全球(qiu)主(zhu)要(yao)靶(ba)材(cai)制(zhi)造(zao)商通常(chang)会在(zai)客(ke)户(hu)所(suo)在地(di)设立(li)分公(gong)司(si)。目前，亚洲的一(yi)些(xie)国家和地区，如(ru)台湾、韩(han)国(guo)和新(xin)加坡就(jiu)建立了(le)越(yue)来越(yue)多(duo)制(zhi)造(zao)薄(bao)膜(mo)元件等(deng)产品(pin)的工(gong)厂，如IC、液晶显(xian)示(shi)器(qi)制造(zao)厂(chang)，对(dui)靶材厂(chang)商而(er)言(yan)，这(zhe)是相当(dang)重(zhong)要(yao)的(de)新(xin)兴市场。因(yin)此，全球靶(ba)材(cai)制(zhi)造(zao)基(ji)地(di)正(zheng)在(zai)快(kuai)速(su)向(xiang)亚洲地区(qu)聚(ju)集(ji)。随着(zhe)国(guo)内(nei)半导体(ti)集(ji)成电(dian)路(lu)、平面显示(shi)及(ji)装(zhuang)饰(shi)镀膜等(deng)高技(ji)术产(chan)业(ye)的迅(xun)猛发(fa)展(zhan)，中(zhong)国(guo)的靶材市场日益扩(kuo)大，已(yi)逐(zhu)渐(jian)成为(wei)世(shi)界(jie)薄(bao)膜(mo)靶(ba)材的最(zui)大需求地区之(zhi)一(yi)，这为(wei)中国(guo)靶(ba)材制(zhi)造(zao)业的发展(zhan)提(ti)供(gong)了机(ji)遇和(he)挑(tiao)战。近(jin)几年(nian)，在集成电(dian)路(lu)产业基金(jin)、国家科技(ji)重(zhong)大专项（01、02、03）及(ji)地方基(ji)金(jin)等(deng)国(guo)家(jia)队的带动下(xia)，集成(cheng)电(dian)路(lu)产业投(tou)资(zi)可谓(wei)大热(re)，据(ju)统计(ji)，仅(jin)2015-2016两(liang)年间，国内(nei)已经(jing)宣(xuan)布(bu)在(zai)建(jian)或(huo)计划(hua)开(kai)工的晶(jing)圆(yuan)生(sheng)产(chan)线就(jiu)多达(da)44条(tiao)，其中300mm 18条，200mm 20条，150mm ６条(tiao)。在(zai)此巨大(da)市场(chang)需(xu)求(qiu)的(de)拉(la)动下，靶(ba)材产(chan)业(ye)必(bi)将引起(qi)了我国有(you)关(guan)科研(yan)院(yuan)所和企业的重视(shi)和(he)关注(zhu)，纷(fen)纷(fen)投(tou)入人力(li)、物力、财力(li)从事磁(ci)控溅靶材的研(yan)发和(he)生(sheng)产(chan)。钛(tai)靶材作为(wei)靶材(cai)领域(yu)的(de)独特一个分支(zhi)无(wu)论在半导体(ti)A1工艺或(huo)Cu工(gong)艺(yi)下(xia)都有应(ying)用(yong)，同(tong)时在液(ye)晶显(xian)示(shi)器行(xing)业(ye)和装饰(shi)镀膜行业有(you)着(zhe)广泛(fan)的应(ying)用(yong)。目(mu)前钛(tai)靶材(cai)研发生(sheng)产(chan)的(de)基地(di)主要集中(zhong)在北(bei)京、广(guang)东地(di)区(qu)、江浙(zhe)、甘肃(su)等地。由于(yu)靶材(cai)原(yuan)料(liao)纯(chun)度(du)、生(sheng)产(chan)装(zhuang)备(bei)和(he)工艺研(yan)发(fa)技术的限(xian)制(zhi)，我国(guo)钛靶材制(zhi)造业还(hai)处(chu)于初(chu)创(chuang)期(qi)，国(guo)内(nei)钛靶材(cai)生产(chan)企(qi)业基本(ben)属(shu)于(yu)质(zhi)量(liang)和(he)技术(shu)门(men)槛较低(di)、采用(yong)传统加工(gong)方法、依靠价(jia)格(ge)取胜的(de)低档(dang)次溅射靶材生(sheng)产(chan)者(zhe)，或(huo)获利有(you)限(xian)的代工型加工厂(chang)。生(sheng)产(chan)规模(mo)小，品(pin)种单(dan)一，技术(shu)还(hai)不稳(wen)定，迄今为止，中国(guo)（包(bao)括中(zhong)国台湾）仅有几(ji)家生产(chan)靶(ba)材的(de)专(zhuan)业(ye)公司，如有(you)研亿金、江峰电子(zi)等(deng)企业(ye)，生(sheng)产(chan)的钛(tai)靶材(cai)远远不(bu)能满足(zu)市(shi)场发(fa)展(zhan)的(de)需(xu)要，大(da)量(liang)钛靶材(cai)还(hai)需(xu)从(cong)国(guo)外(wai)进(jin)口，高纯度(du)金属(shu)钛靶(ba)材(cai)的(de)原(yuan)材(cai)料(liao)已(yi)经获得突(tu)破，但是大(da)部分还(hai)不(bu)得(de)不依赖(lai)进口(kou)。
钛(tai)靶材作为一种具有(you)特殊(shu)用途的材料，具有很强的(de)应用(yong)目的(de)和(he)明(ming)确的(de)应用背景。脱离(li)金(jin)属钛的冶金提纯(chun)技术、EB真空熔炼(lian)技术(shu)、钛(tai)锭无(wu)损探伤(shang)技(ji)术、高(gao)纯钛的(de)杂(za)质(zhi)分(fen)析技术、钛(tai)靶(ba)材的制(zhi)备技(ji)术(shu)、溅(jian)射机(ji)台制(zhi)备(bei)技(ji)术(shu)、溅(jian)射工艺(yi)和(he)薄(bao)膜性(xing)能测(ce)试(shi)技(ji)术单纯(chun)地(di)研究钛靶材本(ben)身(shen)没(mei)有任(ren)何(he)意义(yi)。钛靶(ba)材(cai)的研发生产及(ji)后(hou)续的(de)应用改进涉(she)及(ji)一(yi)个从(cong)上游原(yuan)材(cai)料(liao)到产(chan)业(ye)中游设备(bei)制(zhi)造商(shang)和靶(ba)材(cai)制(zhi)造(zao)商共(gong)同研发(fa)、下游钛(tai)靶(ba)材(cai)镀(du)膜芯(xin)片应用(yong)的整个(ge)产业(ye)链。钛靶材性(xing)能(neng)与(yu)溅射薄膜性能(neng)之间的关(guan)系，既(ji)有利(li)于获得(de)满足应用(yong)需要的(de)薄膜(mo)性能，又有利于(yu)更(geng)好的(de)使用靶材，充(chong)分发挥(hui)其(qi)作(zuo)用(yong)，促(cu)进(jin)靶材产业发(fa)展(zhan)。目前正(zheng)处在集(ji)成电路产业在(zai)中国大(da)陆蓬(peng)勃(bo)发展(zhan)的(de)阶段，机遇(yu)和(he)挑战并存(cun)，如(ru)果不能抓住机(ji)遇把靶(ba)材制造、薄膜(mo)制(zhi)造和检(jian)测(ce)设(she)备(bei)国(guo)产化(hua)，我国与(yu)国(guo)际(ji)水(shui)平(ping)的(de)差(cha)距(ju)必(bi)将(jiang)越(yue)来越大，不(bu)仅(jin)不(bu)能(neng)夺回由外(wai)商(shang)占(zhan)领(ling)的(de)国内市(shi)场(chang)，更无(wu)法参与国际(ji)市场的竞争(zheng)。
相(xiang)关(guan)链接(jie)
