溅射钛(tai)靶(ba)材(cai)主(zhu)要(yao)应(ying)用(yong)于(yu)电子及信(xin)息产(chan)业(ye)，如集成(cheng)电(dian)路、信息(xi)存储、液(ye)晶(jing)显(xian)示屏、激光存储(chu)器、电(dian)子(zi)控(kong)制器件(jian)等；亦可(ke)应用于(yu)玻(bo)璃镀(du)膜领域；还(hai)可(ke)以(yi)应用于(yu)耐磨(mo)材(cai)料、高(gao)温耐蚀、高档装(zhuang)饰(shi)用品等(deng)行业(ye)。
1、信息(xi)存储(chu)产业
随(sui)着(zhe)IT产(chan)业(ye)的不断发(fa)展(zhan)，世(shi)界(jie)对记(ji)录介(jie)质的(de)需(xu)求(qiu)量(liang)越(yue)来(lai)越(yue)大，记(ji)录介质用(yong)靶材研究与(yu)生产成为(wei)一(yi)大热点(dian)。在(zai)信(xin)息(xi)存储产业(ye)中(zhong)，使用溅(jian)射(she)靶(ba)材制备(bei)的相关薄膜(mo)产(chan)品有硬(ying)盘(pan)、磁(ci)头、光盘(pan)等。制造(zao)这些(xie)数(shu)据(ju)存储(chu)产(chan)品，需(xu)要(yao)使用(yong)具(ju)有特(te)殊结晶(jing)性与特(te)殊成(cheng)分的(de)高(gao)品质靶(ba)材(cai)，常(chang)用(yong)的(de)有钴(gu)、铬、碳、镍(nie)、铁、贵金(jin)属(shu)、稀(xi)有金(jin)属(shu)、介质(zhi)材(cai)料等。
2、集成电路产(chan)业
集成(cheng)电(dian)路用钛靶材(cai)在(zai)全(quan)球(qiu)靶材市场占较大(da)份额，其(qi)溅射产(chan)品主要(yao)包括电(dian)极(ji)互连(lian)线(xian)膜、阻挡层(ceng)薄(bao)膜(mo)、接(jie)触薄(bao)膜、光(guang)盘掩(yan)膜(mo)、电容器电(dian)极膜(mo)、电阻薄膜(mo)等。其(qi)中薄(bao)膜(mo)电(dian)阻器(qi)是(shi)薄(bao)膜混合集(ji)成(cheng)电(dian)路中用(yong)量最(zui)多(duo)的(de)元(yuan)件(jian)，而电(dian)阻薄膜用(yong)靶(ba)材(cai)中Ni-Cr合金(jin)的(de)用(yong)量很大(da)。
3、平(ping)面显(xian)示器(qi)产业(ye)
平(ping)面(mian)显示(shi)器包括(kuo)：(1) 液晶显(xian)示(LCD) ； (2) 等(deng)离(li)子体显示(shi)器(PDP) ； (3) 场(chang)致发光显示器(qi)(E-L) ； (4)场(chang)发射(she)显(xian)示器(qi)(FED) 。目前， 在平面(mian)显(xian)示(shi)器市场中以(yi)液晶显(xian)示(shi)为(wei)主(zhu)，广(guang)泛应(ying)用于笔(bi)记(ji)本(ben)电(dian)脑显示器、台(tai)式(shi)电脑监(jian)视器到高(gao)清(qing)晰(xi)电(dian)视(shi)。目前，平(ping)面显(xian)示(shi)器(qi)的(de)薄膜多采(cai)用(yong)溅(jian)射(she)成(cheng)形(xing)。溅(jian)射(she)用靶(ba)材(cai)主(zhu)要有(you)In2O3、SnO2、MgO、W、Mo、Ni、Cu、Cr等。
4、溅(jian)射靶材在其他(ta)领(ling)域中的应用
1）大(da)面(mian)积(ji)玻璃镀(du)膜
磁控(kong)溅射是目(mu)前制备幕(mu)墙(qiang)玻璃(li)的(de)最好(hao)的(de)方法(fa)，但射频电(dian)源(yuan)，溅(jian)射(she)靶(ba)的材(cai)料(liao)和制(zhi)作价格都十分昂(ang)贵(gui)，磁(ci)控溅射(she)的(de)成本是比较(jiao)高(gao)的(de)。
玻(bo)璃镀膜采用(yong)的靶(ba)材：
A）纯(chun)金属(shu)。如(ru)金(jin)，银，钽(tan)，钛，铜(tong)，铬(ge)，镍，锡，硅(gui)。
B）金属合(he)金(jin)。如(ru)钢(gang)锡、钴(gu)铬，镍铬(ge)，不(bu)锈(xiu)钢，特(te)殊
C）电导和(he)绝(jue)缘氧(yang)化物(wu)。如ITO， SiO2。
镀膜过程(cheng)：将(jiang)惰性(xing)气(qi)体(ti)注(zhu)入真空室(shi)，在(zai)电(dian)场中(zhong)被(bei)电离后产生带(dai)正电(dian)荷(he)的离子(zi)和自(zi)由电子(zi)。正离子(zi)被吸收至装在(zai)负(fu)电(dian)位，阴(yin)极(ji)顶(ding)面的靶上。气体(ti)、离(li)子(zi)将靶(ba)材表面上的(de)原子(zi)碰(peng)出(chu)来，使这(zhe)些(xie)原(yuan)子(zi)凝聚(ju)在(zai)玻(bo)璃(li)基(ji)片(pian)上。采(cai)用磁场(chang)捕(bu)集自(zi)由(you)电子可得(de)到高(gao)的(de)溅(jian)射率，被(bei)捕(bu)集(ji)的(de)自(zi)由(you)电(dian)子(zi)周而复始地(di)产生(sheng)高(gao)离(li)子(zi)密度，从(cong)而(er)得到(dao)较高的(de)膜(mo)层(ceng)沉(chen)积(ji)速(su)率。磁控增(zeng)强(qiang)阴(yin)极的溅射(she)率较(jiao)常(chang)规二(er)极(ji)溅射高(gao)5至10倍，内(nei)装(zhuang)有(you)水冷却回路(lu)保证(zheng)均(jun)匀(yun)地降(jiang)低靶材(cai)的温(wen)度。纯金(jin)属(shu)和(he)合(he)金在(zai)惰性(xing)气体(ti)的气(qi)氛(fen)中溅射(she)；纯(chun)金属(shu)靶(ba)可在反(fan)应(ying)性气(qi)体的气(qi)氛(fen)中(zhong)溅射(she)。
2）汽车后视(shi)镜(jing)镀(du)膜(mo)
汽(qi)车后视(shi)镜(jing)主(zhu)要(yao)用靶材：Cr、A 1、SnO， (反(fan)应(ying)性(xing)) 、TiO2， 通常(chang)的后视镜是采(cai)用(yong)蒸发(fa)镀铝工艺(yi)， 由于(yu)铝膜(mo)反射率较(jiao)高(gao)，约(yue)87%，吸收(shou)很小，因此反射(she)光(guang)很耀眼。而(er)采用磁(ci)控(kong)溅射(she)法(fa)镀(du)制(zhi)特殊(shu)膜系，反射(she)率比铝(lv)膜(mo)稍低(di)且在可见(jian)光范(fan)围内对红(hong)色光(guang)有一定(ding)的吸(xi)收，给(gei)予镜子(zi)一种(zhong)诱人(ren)的“雾(wu)蓝(lan)色”，其反射(she)光显得(de)非(fei)常柔(rou)和清(qing)晰(xi)。
相(xiang)关(guan)链(lian)接
