什么(me)是靶材绑(bang)定(ding)？在靶(ba)材镀(du)膜时(shi)，有(you)时候(hou)会把靶(ba)材(cai)绑(bang)定(ding)在一(yi)个(ge)背(bei)靶上(shang)，用焊料将靶(ba)材(cai)与(yu)背(bei)靶(ba)焊(han)接(jie)起(qi)来(lai)，这叫“靶(ba)材(cai)绑(bang)定”。一般(ban)的(de)靶(ba)材(cai)会将(jiang)其(qi)绑(bang)定(ding)在铜背靶(ba)上(shang)，旋(xuan)转(zhuan)靶(ba)材(cai)会(hui)绑(bang)定(ding)在(zai)不(bu)锈(xiu)钢衬(chen)管上(shang)，下面凯泽金属就(jiu)来(lai)具体(ti)介(jie)绍下(xia)靶材(cai)绑(bang)定的(de)方式、作用(yong)及(ji)流程的(de)内(nei)容。
一(yi)、靶(ba)材(cai)绑(bang)定的(de)方式
靶材(cai)绑(bang)定(ding)的(de)方式主要有三种，压(ya)接(jie)、钎(qian)焊(han)和导电胶(jiao)。
1、压(ya)接：采用压条, 一般(ban)为(wei)了(le)提(ti)高接(jie)触的(de)良(liang)好(hao)性(xing)，会增加石(shi)墨(mo)纸、Pb或(huo)In皮。
2、钎焊：一(yi)般使(shi)用软(ruan)钎料的(de)情(qing)况下，钎料(liao)常(chang)用In、Sn、In-Sn，要(yao)求(qiu)溅射(she)功率小(xiao)于(yu)20W/cm2。
3、导(dao)电(dian)胶(jiao)：采用(yong)的(de)导(dao)电胶要耐高温，厚度在(zai)0.02-0 05微米。
二、靶材(cai)绑(bang)定的作(zuo)用(yong)
1、防止(zhi)靶材(cai)受(shou)热(re)不匀(yun)碎裂。例(li)如ITO、SiO2、陶(tao)瓷(ci)等脆(cui)性(xing)靶(ba)材及(ji)烧结靶材受热(re)容(rong)易碎(sui)裂(lie)；
2、节(jie)省(sheng)成本(ben)，防(fang)止(zhi)变(bian)形(xing)。如(ru)靶材(cai)太贵，可将(jiang)靶材(cai)做薄些(xie)，绑定背靶以(yi)防止变(bian)形。
三、靶(ba)材绑定(ding)的(de)流(liu)程
1、绑定前(qian)将靶材(cai)和背(bei)靶(ba)表面(mian)预(yu)处理；
2、将背靶固定放(fang)置在加(jia)热台上，将(jiang)靶(ba)材放(fang)于(yu)背板(ban)上，升温(wen)到绑(bang)定(ding)温度；
3、将靶材(cai)和背(bei)靶金属(shu)化(hua)，通过钎焊将(jiang)靶(ba)材(cai)贴合(he)在(zai)铜背板上；
4、粘(zhan)接(jie)靶(ba)材和背(bei)靶，靶(ba)材(cai)的(de)远离(li)铜背(bei)板的(de)表面上(shang)放(fang)置配重块，待(dai)靶材冷却后(hou)取下配(pei)重块步(bu)骤(zhou)；
5、降(jiang)温和后(hou)处理(li)。
四、靶(ba)材绑(bang)定的范围(wei)
技术(shu)上来(lai)说(shuo)表面(mian)平整可进(jin)行(xing)金属化(hua)处(chu)理的靶(ba)材(cai)都可(ke)以用钎(qian)焊(han)绑定(ding)技术绑(bang)定(ding)铜背靶(ba)，来提高溅射过程的散(san)热(re)性、提(ti)高靶(ba)材利(li)用(yong)率(lv)。建议绑(bang)定的靶材(cai)： ITO、SiO2、陶(tao)瓷(ci)脆(cui)性(xing)靶材及(ji)烧(shao)结(jie)靶材(cai)； 锡(xi)、铟等软(ruan)金(jin)属(shu)靶；靶材太薄、靶(ba)材(cai)太(tai)贵(gui)的情况(kuang)等(deng)。但下列(lie)情况(kuang)绑(bang)定(ding)有(you)弊端(duan)：
1、熔点(dian)低(di)的靶材(cai)，像(xiang)铟(yin)、硒等，金属化的时候(hou)可能会变(bian)软变(bian)形；
2、贵金属(shu)靶(ba)材(cai)，一(yi)是(shi)实(shi)际重量易(yi)出现(xian)分歧(qi)，二(er)是金属(shu)化(hua)以及解绑的(de)时(shi)候(hou)都会(hui)有(you)浪(lang)费(fei)料(liao)，建(jian)议(yi)垫一(yi)片(pian)铜片。
五(wu)、绑定(ding)靶材(cai)的使(shi)用(yong)注意(yi)事项(xiang)
1、溅(jian)射(she)温(wen)度(du)不(bu)宜太(tai)高；
2、电(dian)流(liu)要缓慢加大；
3、循(xun)环冷(leng)却(que)水应低(di)于35摄(she)氏(shi)度；
4、适宜的(de)靶材(cai)致(zhi)密(mi)度(du)。
六、背(bei)靶(ba)的选择(ze)
1、对(dui)材(cai)质的(de)要(yao)求(qiu)：一(yi)般选(xuan)用无氧铜(tong)和钼靶。
2、导(dao)电(dian)性(xing)好，常用(yong)无氧铜，无(wu)氧(yang)铜的(de)导热性(xing)比(bi)紫铜好(hao)；
3、厚度(du)适中(zhong)，般建(jian)议背靶(ba)厚度3mm左右(you)。太(tai)厚(hou)，消(xiao)耗(hao)部(bu)分磁强(qiang)；太薄(bao)，容易(yi)变形。
4、结构要求空心或(huo)者实心结(jie)构(gou)。
5、强(qiang)度足够，太(tai)薄(bao)，易变形(xing)，不易真(zhen)空(kong)密(mi)封。
七(qi)、背(bei)靶脱(tuo)落(luo)的(de)原因
1、溅射温度(du)高，背靶(ba)易(yi)被氧化和(he)发(fa)生翘曲(qu)，靶材在高温(wen)溅(jian)射(she)时(shi)会(hui)开裂，造成(cheng)背靶脱落；
2、电(dian)流太(tai)大，导(dao)热(re)太快造成温(wen)度(du)过(guo)高(gao)，焊(han)料(liao)熔(rong)化，造成(cheng)焊(han)料不均(jun)匀，造(zao)成(cheng)背靶脱(tuo)落(luo)；
3、循环冷却(que)水出水口(kou)的温(wen)度(du)应低(di)于(yu)35摄氏度，循(xun)环(huan)水温度(du)高，造(zao)成散(san)热不(bu)好(hao)而(er)脱落；
4、靶(ba)材本(ben)身的致(zhi)密度，靶(ba)材(cai)的致(zhi)密(mi)度(du)很(hen)高(gao)时，不(bu)易(yi)吸(xi)附，无(wu)空(kong)隙(xi)，背靶易(yi)脱(tuo)落。
以(yi)上(shang)是(shi)关于(yu)什(shen)么(me)是靶材(cai)绑(bang)定(ding)的回(hui)答，简(jian)单(dan)说(shuo)，靶(ba)材(cai)绑定是指用(yong)焊(han)料将靶材(cai)与背(bei)靶(ba)焊(han)接(jie)起来(lai)。方(fang)式(shi)主(zhu)要(yao)有(you)压接(jie)、钎(qian)焊和(he)导(dao)电(dian)胶(jiao)三(san)种方(fang)式。靶(ba)材(cai)绑(bang)定(ding)的作(zuo)用(yong)是(shi)防(fang)止靶材(cai)受热不匀(yun)碎裂(lie)，防止变形(xing)。另外(wai)还补充(chong)了(le)绑(bang)定(ding)的流程、范(fan)围(wei)等内容，希(xi)望能(neng)让大(da)家更(geng)好(hao)的了(le)解靶材绑定(ding)。宝(bao)鸡市凯(kai)泽(ze)金属(shu)材(cai)料有限公司(si)是(shi)一(yi)家(jia)研(yan)发生(sheng)产(chan)钛(tai)靶(ba)、铬(ge)靶、锆(gao)靶(ba)、镍(nie)靶、钛(tai)铝(lv)靶、钛(tai)丝(si)、钛加工(gong)件、钛锻件等金属材料(liao)为(wei)主(zhu)的高新技术企业(ye)，十(shi)余年专注(zhu)于溅(jian)射靶材(cai)、镀膜(mo)靶(ba)材、平面(mian)多(duo)弧靶(ba)材研发(fa)、生(sheng)产(chan)，靶(ba)材组织结构(gou)均匀、溅射成(cheng)膜(mo)性能(neng)优异(yi)，如(ru)果(guo)您对(dui)靶(ba)材有(you)疑问(wen)或(huo)需(xu)要，欢(huan)迎(ying)联(lian)系凯泽(ze)金(jin)属(shu)。
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