钛靶材(cai)高(gao)纯(chun)钛靶制备(bei)工艺流程(cheng)

众(zhong)所周知，钛(tai)靶材的(de)技术发展趋(qu)势(shi)与靶(ba)材的(de)制(zhi)备(bei)发展趋势息息(xi)相(xiang)关(guan)，随着(zhe)应(ying)用产业在薄(bao)膜产(chan)品或(huo)元(yuan)件(jian)上的(de)技术(shu)改(gai)进，靶材(cai)技术也应随(sui)之(zhi)变化(hua)。下(xia)面(mian)就(jiu)跟着凯泽(ze)金(jin)属起(qi)来了(le)解(jie)下(xia)靶(ba)材的(de)制(zhi)备方(fang)法吧(ba)！

1、先用化(hua)学方法制(zhi)成铟锡氧(yang)化(hua)物化(hua)学(xue)复(fu)合(he)粉末(mo)，或(huo)者将单(dan)体氧化(hua)铟粉末(mo)和(he)单体(ti)氧(yang)化(hua)锡粉(fen)末按(an)9： 1质(zhi)量(liang)比(bi)混(hun)合，制成(cheng)机(ji)械复(fu)合粉末。粉末(mo)呈(cheng)球(qiu)形(xing)或(huo)准球形(xing)，平均(jun)粒(li)径(jing)为(wei)30 ~ 200nm，纯度(du)为(wei)99%，无硬(ying)团(tuan)聚。

2、将(jiang)复合粉(fen)末在(zai)1 350℃氧气氛中(zhong)进(jin)行(xing)脱氧(yang)处(chu)理(li)。

3、把(ba)复合(he)粉末装入(ru)包套(tao)内进(jin)行冷(leng)等静(jing)压。冷(leng)等(deng)静(jing)压介(jie)质(zhi)为油(you)，压(ya)力(li)为200~280MPa，保压时(shi)间为10min。获得的粗(cu)坯(pi)密度为理论密(mi)度的45%~55%。

4、粗坯装(zhuang)入(ru)相(xiang)应尺寸的(de)容(rong)器(qi)内。容器与(yu)粗坯间(jian)隔以(yi)金(jin)属(shu)钽膜(mo)或镍膜或(huo)铌(ni)膜(mo)或(huo)铂膜，以阻止它们(men)在(zai)高(gao)温高(gao)压(ya)下发(fa)生(sheng)反(fan)应(ying)。

5、抽(chou)真空(kong)，封装有粗(cu)坯(pi)的(de)容(rong)器。

6、将上(shang)述容器放入(ru)热(re)等(deng)静(jing)压(ya)炉(lu)中进(jin)行热(re)等(deng)静压(ya)处理(li)。热(re)等(deng)静(jing)压(ya)温度为(wei)1 100~1 300℃，保温(wen)时间(jian)为0.5~6h，氩气(qi)氛压力为100~120MPa。

7、热等(deng)静(jing)压后(hou)用(yong)稀硝(xiao)酸(suan)酸(suan)洗(xi)去(qu)除碳钢(gang)容器，剥离(li)金(jin)属(shu)箔隔层，获得(de)靶材。

8、用线切割(ge)方法切(qie)割(ge)靶材(cai)，获(huo)得(de)所需尺(chi)寸的产品。

冷等静压包(bao)套(用(yong)橡(xiang)胶(jiao)制成(cheng))和热等(deng)静压容(rong)器(由(you)碳钢(gang)制成，为(wei)方(fang)拄形(xing)或(huo)圆(yuan)柱形)是由中(zhong)南(nan)工业(ye)大学根据(ju)靶(ba)材点(dian)而(er)门(men)设计。

凯(kai)泽金属(shu)专注(zhu)生产各(ge)种溅(jian)射(she)靶材，铬靶(ba)、镍(nie)靶、锆(gao)靶(ba)、铝靶材等的(de)深加工(gong)，产(chan)品(pin)纯度高，还可进(jin)行(xing)有关使(shi)用(yong)方(fang)面(mian)的技术指(zhi)导，如(ru)果(guo)您(nin)有需要，欢迎(ying)联(lian)系(xi)凯泽金(jin)属(shu)详询(xun)。

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