溅(jian)射(she)钛靶材(cai)在使(shi)用过(guo)程中有较(jiao)高(gao)的(de)要(yao)求，不(bu)仅(jin)要求纯(chun)度(du)、尺(chi)寸，甚(shen)至还有晶(jing)粒(li)尺(chi)寸均匀(yun)性(xing)等，这(zhe)些(xie)高要求(qiu)使(shi)得(de)我(wo)们在使(shi)用溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)时更(geng)加(jia)要注意。下(xia)面(mian)就(jiu)让我(wo)们去了解(jie)下溅射(she)靶(ba)材在(zai)使(shi)用(yong)过程中(zhong)的几(ji)点(dian)注(zhu)意(yi)事(shi)项：
1、溅射(she)准备
保持真(zhen)空(kong)腔(qiang)体(ti)尤其是(shi)溅(jian)射系(xi)统(tong)洁(jie)净是非常(chang)重要的。任何由(you)润(run)滑(hua)油(you)和(he)灰(hui)尘(chen)以及(ji)前期镀(du)膜(mo)所形(xing)成的残留(liu)物(wu)会收(shou)集水气(qi)及其他污染物，直(zhi)接(jie)影(ying)响(xiang)真空度获(huo)得(de)和(he)增(zeng)加(jia)成膜(mo)失(shi)败的可能(neng)性(xing)。短(duan)路或(huo)靶材起(qi)弧(hu)，成(cheng)膜表面粗糙及(ji)化(hua)学杂质(zhi)含量超(chao)标(biao)经常是由(you)于不洁净(jing)的(de)溅射(she)室(shi)、溅射(she)枪(qiang)和靶材(cai)引(yin)起(qi)的。
为保(bao)持(chi)镀膜(mo)的成(cheng)分(fen)性(xing)，溅射气体(ti)(氩(ya)气或(huo)氧(yang)气)必须(xu)清洁并(bing)干(gan)燥(zao)，溅(jian)镀腔(qiang)内(nei)装(zhuang)入(ru)基(ji)材(cai)后便需(xu)将(jiang)空(kong)气(qi)抽(chou)出，达(da)到工(gong)艺(yi)所(suo)要求的(de)真(zhen)空(kong)度(du)。
二(er)、靶(ba)材(cai)清洁(jie)
靶材清(qing)洁(jie)的(de)目(mu)的(de)是(shi)去(qu)除靶(ba)材表面可能存(cun)在的(de)灰(hui)尘或污垢(gou)。
三(san)、靶材安(an)装
靶材(cai)安(an)装过(guo)程(cheng)中重(zhong)要(yao)的(de)注意(yi)事项是(shi)定要(yao)确(que)保(bao)在(zai)靶材和溅(jian)射(she)枪冷(leng)却壁(bi)之(zhi)间(jian)建(jian)立(li)很(hen)好的(de)导热(re)连(lian)接(jie)。如果(guo)用冷(leng)却壁(bi)的翘曲程度(du)严重或(huo)背板(ban)翘(qiao)曲严(yan)重会造(zao)成靶材(cai)安(an)装(zhuang)时(shi)发生(sheng)开(kai)裂或弯曲，背(bei)靶到(dao)靶材(cai)的(de)导热性(xing)能(neng)就(jiu)会(hui)受(shou)到(dao)很(hen)大(da)的影(ying)响，导(dao)致(zhi)在(zai)溅(jian)射(she)过程(cheng)中(zhong)热(re)量(liang)无(wu)法(fa)散(san)发终会造成靶(ba)材开(kai)裂或脱(tuo)靶。
四(si)、短(duan)路及(ji)密(mi)封性(xing)检查
靶材完(wan)成安装(zhuang)后(hou)需(xu)要对整(zheng)个(ge)阴(yin)进行短路检查(cha)及密(mi)封性检(jian)查(cha)，建议(yi)通过使用(yong)电(dian)阻仪摇表的(de)方(fang)式(shi)对阴是(shi)否(fou)存(cun)在(zai)短(duan)路进(jin)行判(pan)断。在确(que)定阴不(bu)存在(zai)短(duan)路后(hou)，可以进(jin)行(xing)检漏检查，将水通(tong)入阴确定(ding)是否(fou)存在漏水(shui)现(xian)象。
五、靶材预(yu)溅(jian)射(she)
靶材预溅射(she)建(jian)议(yi)采用纯(chun)氩(ya)气进行(xing)溅(jian)射(she)，可(ke)以(yi)起(qi)到清(qing)洁(jie)靶材表(biao)面(mian)的作用(yong)。靶材(cai)进行(xing)预(yu)溅(jian)射(she)时建议(yi)慢慢加(jia)大(da)溅(jian)射(she)功率，陶瓷(ci)类靶(ba)材的(de)功率加(jia)大(da)速率建议(yi)为1.5W小时/平方(fang)厘(li)米(mi)。金属(shu)类(lei)靶(ba)材的预溅(jian)射速度可以(yi)比陶瓷(ci)靶材块，个合理的(de)功(gong)率(lv)加大(da)速(su)率(lv)为1.5W小时(shi)/平(ping)方厘(li)米。
相(xiang)信大家(jia)知(zhi)道(dao)了溅(jian)射(she)钛靶材的这(zhe)几点使(shi)用(yong)事(shi)项(xiang)之(zhi)后，对溅射(she)靶(ba)材的使(shi)用也(ye)定(ding)有了新的(de)认知(zhi)，希(xi)望文章会(hui)对(dui)大(da)家有(you)所帮(bang)助(zhu)！
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