2019年(nian)9月(yue)13日(ri)凌(ling)晨,相(xiang)信(xin)很(hen)多(duo)“果粉(fen)”都会在手(shou)机屏幕前(qian)守(shou)着(zhe)观(guan)看苹(ping)果(guo)发(fa)布(bu)会。这(zhe)次(ci)发布(bu)会(hui)苹(ping)果手机(ji)推(tui)出(chu)了三(san)款(kuan)新产(chan)品(pin),它(ta)在(zai)众多(duo)手(shou)机品中,凭借(jie)各(ge)种优(you)势(shi)脱颖而出,但你(ni)们知(zhi)道(dao)么,其(qi)实(shi)手(shou)机(ji)屏(ping)幕是通(tong)过镀(du)膜(mo),利(li)用(yong)磁(ci)控溅(jian)射(she)技术,将靶材溅(jian)射到(dao)液(ye)晶(jing)玻璃上(shang),凯泽(ze)金(jin)属结合相(xiang)关新(xin)闻资讯(xun),就半(ban)导体芯片用靶材的需求、特点、性(xing)能等,分(fen)享(xiang)如(ru)下:
在所有(you)应(ying)用(yong)中(zhong),半(ban)导(dao)体(ti)对(dui)溅(jian)射钛(tai)靶材的技(ji)术(shu)要(yao)求(qiu)和纯度(du)比(bi)较高,价格也较(jiao)为(wei)昂贵(gui),这方面(mian)的要(yao)求明显高(gao)于平(ping)面显(xian)示(shi)器(qi)、太阳(yang)能(neng)电(dian)池(chi)等(deng)其(qi)他应(ying)用域(yu)。半导体(ti)芯片对(dui)溅(jian)射靶材的金属材料(liao)纯(chun)度(du)、内部(bu)微(wei)观(guan)结(jie)构(gou)等(deng)方(fang)面都设定(ding)了(le)其(qi)苛(ke)刻的标(biao)准(zhun),若(ruo)溅(jian)射靶材(cai)的(de)杂质含(han)量(liang)过高,形成(cheng)的薄(bao)膜(mo)就(jiu)无法(fa)达到使(shi)用(yong)所(suo)要(yao)求(qiu)的电(dian)性能,且在溅(jian)射过(guo)程(cheng)中(zhong)易在晶圆上形成(cheng)微(wei)粒,导(dao)致电路短(duan)路(lu)或损坏,将严重(zhong)影响薄(bao)膜(mo)的(de)性(xing)能(neng)。

芯(xin)片制(zhi)造对溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)金(jin)属(shu)纯(chun)度的(de)要求较(jiao)高(gao),通(tong)常(chang)要达到99.9995%以(yi)上(shang),而平板显(xian)示(shi)器(qi)、太阳能(neng)电池分别(bie)要(yao)求达(da)到(dao) 99.999%、99.995%以(yi)上即可。除(chu)了(le)纯(chun)度(du)之外,芯片对溅射(she)靶(ba)材(cai)内(nei)部微(wei)观结(jie)构(gou)等也设定了(le)其(qi)苛刻(ke)的标准,需要掌握(wo)生(sheng)产过程(cheng)中的关(guan)键技术,并(bing)经过长期(qi)实践才能制成符合工艺要(yao)求的(de)产品(pin)。
溅(jian)射靶材的产业链中主要(yao)包括提纯、制造、镀膜(mo)和(he)终(zhong)的(de)应用环(huan)节。其(qi)中制(zhi)造(zao)和镀膜是整(zheng)个溅(jian)射靶(ba)材产(chan)业链中(zhong)的(de)关键(jian)环(huan)节(jie)。
本篇(pian)文(wen)章主(zhu)要(yao)阐述(shu)了(le)靶材在(zai)半导(dao)体(ti)当(dang)中(zhong)的(de)应(ying)用情况。其实(shi)不(bu)论(lun)高(gao)的手(shou)机,还是相(xiang)对(dui)低(di)的(de)手机(ji),屏幕的(de)溅射都(dou)是别必(bi)不(bu)可少(shao)的,溅射(she)行(xing)业不(bu)仅应用在(zai)手机屏(ping)幕,还有很(hen)多(duo)域(yu)都(dou)有触及(ji)到(dao),想了解更(geng)多关(guan)于靶(ba)材(cai)的内(nei)容(rong)请(qing)关注(zhu)宝鸡市凯(kai)泽金(jin)属材料有限公(gong)司(si)。
相(xiang)关链接(jie)