钛(tai)溅(jian)射靶材在随着(zhe)使用率(lv)的(de)增加(jia)，表(biao)面可能会(hui)附(fu)着有残(can)留物(wu)，如(ru)粉尘、油(you)污(wu)、氧(yang)化物(wu)等(deng)，继(ji)而靶材表(biao)面有(you)不同程度(du)的(de)结(jie)瘤，产品质量也会(hui)有所(suo)下降(jiang)，导致(zhi)生(sheng)产(chan)成(cheng)本增(zeng)加(jia)。因(yin)此(ci)，需要溅(jian)射(she)靶材进(jin)行(xing)充分的清(qing)洁(jie)，保(bao)证(zheng)靶材(cai)的(de)清(qing)洁(jie)度(du)。今天(tian)凯(kai)泽金属(shu)就(jiu)和(he)大家(jia)介绍下钛溅(jian)射(she)靶材的(de)清洁(jie)方法及(ji)养护(hu)。
一(yi)、钛溅(jian)射靶(ba)材(cai)的(de)清洁方(fang)法(fa)
清(qing)洁溅(jian)射靶(ba)材的(de)目的(de)是去(qu)除靶材(cai)表面(mian)可能存(cun)在(zai)的(de)杂质灰尘(chen)或(huo)污垢。可(ke)以(yi)通过(guo)以(yi)下(xia)方(fang)法达(da)到(dao)清(qing)洁(jie)目(mu)的(de)。注意(yi)清(qing)洁(jie)靶材时请(qing)配(pei)带干净(jing)而(er)且不会(hui)起(qi)绒的保(bao)护手套(tao)，避免用(yong)手直接(jie)接(jie)触靶(ba)材(cai)。
1、吸(xi)尘(chen)器(qi)清洁
（1）清除大(da)颗粒物，采用吸(xi)尘(chen)器(qi)将溅射成膜过(guo)程中(zhong)沉落(luo)到靶(ba)材(cai)溅(jian)射(she)面的(de)大颗(ke)粒(li)物(wu)吸除干净
（2）砂(sha)纸(zhi)打(da)磨(mo)，采用(yong)相(xiang)应(ying)目数(shu)的砂纸对靶材的(de)溅(jian)射(she)面(mian)进(jin)行(xing)打磨(mo)，打(da)磨方(fang)向顺(shun)应靶材(cai)溅(jian)射(she)面(mian)形成有(you)的跑(pao)道(dao)的方向(xiang)，同(tong)时(shi)将(jiang)位于(yu)跑(pao)道(dao)中间表(biao)面泛黄的氧(yang)化层打磨干净(jing)，去(qu)除(chu)溅射面的(de)氧(yang)化(hua)物(wu)和(he)杂(za)质。
（3）清(qing)洁(jie)除(chu)尘，采用吸尘(chen)器(qi)将(jiang)靶材的溅(jian)射(she)面上(shang)由(you)于砂纸打(da)磨(mo)而产生(sheng)的颗粒物(wu)和(he)灰尘吸除(chu)干净。
（4）擦(ca)拭清洁：采(cai)用(yong)无尘(chen)布(bu)蘸取少(shao)量(liang)酒(jiu)精对(dui)靶(ba)材的溅射面进行擦(ca)拭清(qing)洁(jie)，除去没(mei)有完(wan)全(quan)吸除的(de)灰尘，直(zhi)至无(wu)尘布(bu)表(biao)面(mian)只有(you)轻(qing)微变(bian)色。
2、其他清洁法
（1）用(yong)在(zai)丙酮中浸泡(pao)过(guo)的无绒(rong)软(ruan)布(bu)清(qing)洁(jie)；
（2）用(yong)酒(jiu)精(jing)清(qing)洁(jie)；
（3）用(yong)去离(li)子(zi)水(shui)清洗(xi)。在用(yong)去离子水(shui)清(qing)洗(xi)过(guo)后再(zai)将靶材放(fang)置(zhi)在(zai)烘箱中以100摄氏度(du)烘干30分(fen)钟(zhong)。氧(yang)化(hua)物及陶瓷(ci)靶材的(de)清洗(xi)建议用“无绒(rong)布”进行(xing)清(qing)洁(jie)；
（4）用高(gao)压(ya)低水(shui)气的(de)氩(ya)气(qi)冲洗靶(ba)材，以(yi)除(chu)去(qu)所(suo)有可(ke)能(neng)在(zai)溅(jian)射(she)系(xi)统中会造成起(qi)弧的杂(za)质(zhi)微粒(li)。以(yi)上是溅射靶材(cai)清(qing)洁(jie)方(fang)法的(de)介绍(shao)，接下(xia)来(lai)我(wo)们再来(lai)讲(jiang)解下(xia)溅(jian)射靶(ba)材(cai)的(de)养(yang)护(hu)。
二(er)、钛溅(jian)射(she)靶材(cai)的(de)养护
1、密封性检(jian)查
靶(ba)材(cai)完(wan)成安装后需要对整个(ge)阴(yin)极(ji)进行(xing)短(duan)路检(jian)查及(ji)密(mi)封(feng)性检查(cha)，建(jian)议通过(guo)使用(yong)电(dian)阻(zu)仪摇表(biao)的(de)方(fang)式(shi)对阴(yin)极(ji)是(shi)否存(cun)在短路进行判(pan)断。在确定阴(yin)极(ji)不存(cun)在(zai)短(duan)路后，可以进行检漏(lou)检(jian)查，将水通入阴(yin)极(ji)确定(ding)是否(fou)存(cun)在漏(lou)水现(xian)象.
2、溅射靶材保(bao)养
对使(shi)用(yong)完成(cheng)的(de)溅射(she)靶材进行保养，为避免在再次溅(jian)射(she)过(guo)程中因(yin)为(wei)不(bu)洁(jie)净的(de)腔(qiang)体导(dao)致短路和起弧，有必要阶段性的(de)除(chu)去溅(jian)射轨道中间(jian)及两侧堆积的(de)溅(jian)射物(wu)，这(zhe)也(ye)有(you)助于用户(hu)可(ke)以连续以(yi)大功(gong)率密(mi)度进(jin)行(xing)溅射。
3、溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)储(chu)存(cun)
溅(jian)射靶材不(bu)用时，无论是金属(shu)或陶(tao)瓷(ci)类(lei)的(de)靶(ba)材(cai)，建议(yi)用(yong)户(hu)将(jiang)靶材保存(cun)在(zai)真(zhen)空(kong)密(mi)封塑料袋中，并附有(you)防(fang)潮剂(ji)。尤其是(shi)贴合靶(ba)材更(geng)需要保存(cun)在(zai)真空条(tiao)件下，以避(bi)免贴(tie)合(he)层(ceng)氧化(hua)影响(xiang)贴(tie)合(he)质量(liang)。靶材(cai)外包装一般(ban)为木(mu)箱，四周有(you)防(fang)撞层，以(yi)保护(hu)靶材(cai)和背(bei)靶避(bi)免在运输(shu)和储存(cun)过(guo)程中发(fa)生(sheng)损坏(huai)。
溅(jian)射(she)靶(ba)材的(de)清洁方(fang)法及养护(hu)不可忽视，因(yin)为靶(ba)材(cai)的(de)清洁度(du)对于(yu)溅射镀(du)膜(mo)过(guo)程(cheng)中(zhong)形(xing)成的(de)镀膜质量，以及产(chan)品(pin)质(zhi)量合格与(yu)否有着(zhe)至关(guan)重要(yao)的作(zuo)用(yong)，清除(chu)哪(na)些在(zai)把才上的残(can)留(liu)物(wu)，可(ke)减少靶(ba)材(cai)表面(mian)结瘤，也能提高靶材(cai)利用率(lv)和生(sheng)产(chan)效率，而且(qie)靶材(cai)清(qing)洁也(ye)与后期的养(yang)护(hu)密(mi)不可(ke)分(fen)，宝(bao)鸡市凯(kai)泽(ze)金(jin)属(shu)材(cai)料有(you)限公司(si)专(zhuan)注(zhu)从事(shi)高纯溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)系(xi)列(lie)产品的(de)研(yan)发、生产和(he)销(xiao)售，引(yin)进先(xian)进靶材(cai)质量控制体(ti)系，靶材(cai)组织(zhi)结构(gou)均(jun)匀(yun)细小(xiao)、性能(neng)稳定一致、溅(jian)射(she)成(cheng)膜性(xing)能(neng)优异(yi)，并且提供(gong)定(ding)期(qi)维(wei)护意(yi)见和(he)建议(yi)，如果(guo)您对我们的(de)产(chan)品感兴趣，欢(huan)迎致(zhi)电凯泽(ze)金(jin)属。
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