溅(jian)射靶(ba)材是通过离(li)子(zi)轰(hong)击(ji)靶(ba)材表(biao)面，靶(ba)材(cai)的(de)原子(zi)被(bei)击出(chu)，此(ci)现(xian)象(xiang)称为溅射(she)。溅(jian)射(she)靶材(cai)在溅射过(guo)程(cheng)中(zhong)产生的原(yuan)子沉(chen)积(ji)在基体(ti)表面(mian)成膜被(bei)称(cheng)为(wei)溅射(she)镀膜(mo)，然而在(zai)溅射镀(du)膜(mo)时(shi)膜层经(jing)常(chang)会(hui)有不少(shao)问题(ti)的出现(xian)，下(xia)面就(jiu)跟(gen)着凯泽(ze)金(jin)属一(yi)起来(lai)看看溅(jian)射(she)镀膜(mo)膜层(ceng)常(chang)见(jian)问(wen)题及解(jie)决(jue)方(fang)法(fa)吧。
一、膜(mo)层常(chang)见问(wen)题(ti)
1、膜层(ceng)灰(hui)暗(an)
膜层灰暗或发灰问题(ti)的产生(sheng)原(yuan)因有以(yi)下(xia)几方(fang)面：
（1）真(zhen)空度低于(yu)0.67Pa。
（2）氩气纯(chun)度(du)低于99.9%。
（3）充(chong)气系(xi)统(tong)漏气(qi)。
（4）底漆(qi)未充(chong)分(fen)固(gu)化(hua)。
（5）镀件(jian)放气量(liang)太大(da)。
2、膜层(ceng)光泽暗淡(dan)
膜层表(biao)面(mian)光(guang)泽暗淡(dan)的(de)产(chan)生(sheng)原(yuan)因(yin)有以下(xia)几(ji)方面(mian)：
（1）底漆(qi)固(gu)化不(bu)良或(huo)变质。
（2）溅(jian)射时间太长(zhang)。
（3）溅射(she)成膜(mo)速(su)度太(tai)快(kuai)。
3、膜层色泽不(bu)均(jun)
膜层色泽不(bu)均(jun)的(de)产(chan)生(sheng)原(yuan)因(yin)有以下(xia)几方(fang)面(mian)：
（1）底漆(qi)喷涂得(de)不均(jun)匀。
（2）膜(mo)层太薄(bao)。
（3）夹具设(she)计不(bu)合(he)理(li)。
（4）镀(du)件的(de)几(ji)何(he)形(xing)状太(tai)复(fu)杂(za)。
4、膜层(ceng)发(fa)皱龟(gui)裂
膜层发(fa)皱龟(gui)裂(lie)的(de)产(chan)生原(yuan)因(yin)有以(yi)下几(ji)方(fang)面：
（1）底(di)漆(qi)喷涂得(de)太厚(hou)。
（2）涂(tu)料(liao)的(de)粘度太(tai)高。
（3）蒸发(fa)速度太快。
（4）膜层(ceng)太(tai)厚(hou)。
（5）镀(du)件温度(du)太(tai)高。
5、膜(mo)层表(biao)面(mian)有水迹
膜(mo)层表面(mian)有(you)水迹、指(zhi)纹及灰粒(li)的产(chan)生原(yuan)因(yin)有(you)以下几方面(mian)：
（1）镀(du)件(jian)清(qing)洗(xi)后未(wei)充(chong)分(fen)干燥(zao)。
（2）镀(du)件表(biao)面(mian)溅(jian)上(shang)水(shui)珠(zhu)或唾(tuo)液(ye)。
（3）涂底(di)漆后手(shou)接(jie)触(chu)过镀件(jian)，表(biao)面(mian)留(liu)下(xia)指(zhi)纹(wen)。
（4）涂料(liao)中有颗粒(li)物(wu)。
（5）静电除尘失效或喷涂(tu)和(he)固(gu)化环境(jing)中有颗(ke)粒(li)灰尘(chen)。
6、膜层(ceng)附(fu)着(zhe)力(li)不(bu)良
膜层(ceng)附(fu)着(zhe)力不良容(rong)易(yi)导(dao)致膜层脱落(luo)，此情(qing)况的(de)产生原因有以下几方(fang)面：
（1）底(di)漆未充(chong)分固化(hua)。
（2）镀件(jian)除(chu)油脱脂不(bu)彻(che)底(di)。
（3）真(zhen)空室内(nei)不清洁(jie)。
（4）夹具(ju)不(bu)清(qing)洁(jie)。
（5）底涂(tu)料(liao)选用不(bu)当(dang)。
（6）溅射(she)工(gong)艺条(tiao)件控(kong)制(zhi)不当。
（7）膜材太厚(hou)也容(rong)易(yi)脱(tuo)落。
二、膜(mo)层问题解决方(fang)法
1、膜(mo)层(ceng)灰暗(an)
（1）将(jiang)真(zhen)空度提(ti)高(gao)到(dao)0.13-0.4Pa。
（2）换(huan)用纯度(du)为(wei)99.99%的(de)氩(ya)气。
（3）检(jian)查(cha)充(chong)气(qi)系(xi)统(tong)，排(pai)除漏气(qi)现(xian)象。
（4）适当(dang)延长底漆(qi)的(de)固化时间。
（5）进行干燥和(he)封孔(kong)处理。
2、膜层光(guang)泽暗淡(dan)
（1）适(shi)当延长(zhang)底(di)漆(qi)的固(gu)化时(shi)间或(huo)更换(huan)底漆(qi)。
（2）适(shi)当(dang)缩(suo)短(duan)溅射时(shi)间。
（3）适当降(jiang)低(di)溅(jian)射(she)电流或(huo)电压(ya)。
3、膜(mo)层色(se)泽不(bu)均(jun)
（1）改(gai)进(jin)底(di)漆的施涂方(fang)法(fa)。
（2）适当提高(gao)溅射(she)速(su)度或延长溅(jian)射时(shi)间。
（3）改(gai)进(jin)夹(jia)具设(she)计(ji)。
（4）适(shi)当提高镀件(jian)的(de)旋(xuan)转(zhuan)速度(du)。
4、膜层(ceng)发皱(zhou)龟裂
（1）控(kong)制在7- HIOtan厚(hou) 度(du)范(fan)围内。
（2）适当降(jiang)低涂(tu)料(liao)的(de)粘度(du)。
（3）适(shi)当(dang)减(jian)慢蒸发速度(du)。
（4）适当缩(suo)短(duan)溅射时间(jian)
（5）适(shi)当(dang)缩(suo)短对(dui)镀件的(de)加(jia)温(wen)时(shi)间。
5、膜层表面有(you)水迹(ji)
（1）加强镀前处(chu)理(li)。
（2）加(jia)强文(wen)明生(sheng)产，操作(zuo)者(zhe)应带口罩(zhao)。
（3）严(yan)禁(jin)用手接(jie)触(chu)镀(du)件表面。
（4）过滤涂料(liao)或更换涂料(liao)。
（5）更换除尘(chen)器，并(bing)保(bao)持(chi)工作环(huan)境的(de)清(qing)洁。
6、膜(mo)层(ceng)附着力(li)不良(liang)
（1）延长(zhang)底漆(qi)的固化时间。
（2）加强(qiang)镀前(qian)处(chu)理(li)
（3）洗(xi)真空室(shi)，值(zhi)得注意(yi)的(de)是(shi)，在装(zhuang)靶(ba)和(he)拆(chai)靶的过程中，严禁(jin)用手(shou)或不(bu)干(gan)净物(wu)体与磁控(kong)源接(jie)触，以(yi)保(bao)证(zheng)磁控(kong)源具有(you)较(jiao)高(gao)的(de)清(qing)洁(jie)度(du)。
（4）清洗夹(jia)具。
（5）更(geng)换(huan)涂料。
（6）改(gai)进(jin)溅射工(gong)艺条(tiao)件。
（7）如(ru)果(guo)是(shi)金(jin)属衬(chen)底，加热衬(chen)底(di)可以(yi)改善脱落情(qing)况(kuang)。
上(shang)述(shu)是(shi)关于(yu)溅射镀膜(mo)膜(mo)层(ceng)常见(jian)问(wen)题及(ji)解决方(fang)法(fa)的介(jie)绍(shao)，希望(wang)能对(dui)大(da)家有所帮助(zhu)。通(tong)过(guo)上面(mian)对(dui)问题(ti)的(de)分(fen)析(xi)，许多(duo)问(wen)题(ti)都(dou)是因为(wei)操作(zuo)工(gong)艺(yi)不(bu)合(he)理(li)或(huo)细节(jie)处(chu)理不到(dao)位(wei)，或(huo)是清(qing)洁(jie)不干净(jing)等(deng)造(zao)成(cheng)的(de)，所以(yi)在生产(chan)靶(ba)材时一定(ding)要注(zhu)意(yi)这(zhe)些(xie)问题，避免(mian)问题出现而(er)又导致返工(gong)。宝鸡(ji)市(shi)凯(kai)泽金(jin)属材料有限公司(si)是(shi)一家(jia)研发生产(chan)钛靶(ba)、铬靶(ba)、锆(gao)靶(ba)、镍靶(ba)、钛铝靶(ba)、钛丝、钛(tai)加工件、钛(tai)锻(duan)件(jian)等金属(shu)材(cai)料(liao)为主(zhu)的高新(xin)技术(shu)企(qi)业(ye)，十(shi)余年(nian)专(zhuan)注于(yu)溅(jian)射靶(ba)材、镀膜靶材(cai)、平面多(duo)弧靶(ba)材(cai)研(yan)发、生产，靶材组织结(jie)构均匀、溅射成(cheng)膜性能优(you)异(yi)，如(ru)果(guo)您对(dui)靶材(cai)有疑(yi)问(wen)或(huo)需(xu)要，欢迎(ying)联(lian)系(xi)凯(kai)泽金属(shu)。
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