一、产(chan)品名(ming)称:铬(ge)靶材(cai)、铬(ge)靶(ba)块(kuai)
凯泽(ze)金属(shu)铬(ge)靶(ba)材(cai)规格:
圆靶(直(zhi)径φ1"-φ14",厚(hou)度(du)0.5-15mm)
板(ban)靶(长<500mm,宽(kuan)<500mm,高(gao)<25mm)
管(guan)靶(ba)(外(wai)直径φ3.0mm-φ300mm,内直(zhi)径φ2.0mm-280mm)
材料(liao)纯度:>99.995%
金(jin)属杂质(zhi)含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平(ping)整(zheng)度(TIR):<20μm
局部平(ping)整(zheng)度(du)(STIR):<10μm
翘曲(qu)度(du)(Warp):<50μm

二、产(chan)品名(ming)称(cheng):钛靶材(cai),钛(tai)圆(yuan)柱(zhu)靶、钛(tai)靶(ba)管(guan)
牌号:TA1,GR1
执行标(biao)准:GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用途(tu):钛靶材(cai)用(yong)于(yu)半导体(ti)分(fen)离(li)器件、平面(mian)显示器、储(chu)存器电极(ji)薄(bao)膜(mo)、溅射镀膜、工件表(biao)面涂层(ceng),玻(bo)璃镀(du)膜(mo)工(gong)业等领域(yu)。

三、产(chan)品(pin)名称(cheng):镍(nie)靶(ba)材
牌号:N6, N4
用(yong)途:镍(nie)靶(ba)材(cai)用于(yu)半导体(ti)分离(li)器(qi)件(jian)、平面显(xian)示(shi)器(qi)、储存(cun)器(qi)电(dian)极(ji)薄(bao)膜、溅(jian)射(she)镀(du)膜、工(gong)件表面涂层,玻璃(li)镀(du)膜工业(ye)等(deng)。

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