喷涂制(zhi)备金属(shu)靶(ba)是利用电(dian)弧(hu)将靶材材(cai)料(liao)加热到(dao)熔(rong)融(rong)或(huo)半熔融状(zhuang)态,借(jie)助高速气(qi)体(ti)将(jiang)其(qi)雾化,形(xing)成小(xiao)的熔(rong)滴,并(bing)加速喷射到(dao)衬(chen)管或衬板表面,快(kuai)速冷却凝(ning)固成金(jin)属涂(tu)层靶材的过(guo)程(cheng)。非(fei)金(jin)属和(he)陶(tao)瓷靶通(tong)常(chang)是利用(yong)等(deng)离子加(jia)热(re)粉末材料(liao)的(de)方法(fa)喷涂(tu)制成。靶(ba)材熔铸(zhu)技(ji)术可(ke)分(fen)为(wei)三(san)种不同的浇(jiao)铸(zhu)形(xing)式:无衬(chen)管或(huo)衬(chen)板的整(zheng)体(ti)式(shi)甩带浇(jiao)铸、有衬管或衬(chen)板(ban)的(de)直接浇铸(zhu)、分段甩带浇(jiao)铸再粘(zhan)结成(cheng)靶(ba)材(cai)(Ag等)。

热喷(pen)涂和(he)熔(rong)铸(zhu)靶材不(bu)同的生(sheng)产(chan)过程(cheng)决(jue)定(ding)了(le)不(bu)同的成本(ben)构(gou)成。热喷(pen)涂靶材(cai)的(de)生(sheng)产成(cheng)本随靶材(cai)厚(hou)度(du)的增加(jia)而加(jia)大,喷涂(tu)靶材(cai)可(ke)以(yi)通(tong)过(guo)调整(zheng)喷(pen)涂工(gong)艺获(huo)得(de)不(bu)同(tong)的靶材尺(chi)寸(cun),喷(pen)涂的时(shi)间(jian)、消(xiao)耗的(de)气体和(he)能(neng)量是影响其(qi)成本(ben)的主要(yao)因素(su)。而熔(rong)铸(zhu)旋(xuan)转(zhuan)靶材的(de)成本(ben)随(sui)厚(hou)度变化(hua)较小,靶材(cai)先熔(rong)铸(zhu)成(cheng)型,而(er)后机械加工达到(dao)尺(chi)寸(cun)要求。对于不同(tong)尺(chi)寸的旋(xuan)转靶(ba)材,其(qi)原材料和(he)加(jia)工(gong)成本基(ji)本(ben)是(shi)固定的。
国(guo)外(wai)企业大(da)多(duo)使(shi)用(yong)的是(shi)喷涂(tu)工艺(yi)的(de)旋转(zhuan)阴较(jiao)靶(ba)材,靶(ba)材(cai)的(de)利用(yong)率(lv)高(gao),可以到达(da)80%,因而(er)大(da)量(liang)节约(yue)镀膜成(cheng)本,喷涂旋转(zhuan)靶(ba)材(cai)在(zai)镀膜行(xing)业得到(dao)了(le)广(guang)泛(fan)应(ying)用。
相(xiang)关链(lian)接