真(zhen)空(kong)溅射(she)镀铬靶材在(zai)汽(qi)车(che)后(hou)视(shi)镜的(de)应(ying)用

随着市(shi)场需(xu)求的变化，中高(gao)等(deng)靶(ba)材(cai)成为镀膜(mo)行(xing)业(ye)必不可缺的(de)部(bu)分，近(jin)年国内(nei)的(de)靶(ba)材行业(ye)发展迅速，靶材供(gong)应商(shang)纷纷(fen)加(jia)大研发和投入，广东(dong)的(de)靶材(cai)供(gong)应(ying)商(shang)发展势(shi)头(tou)强劲(jin)，中(zhong)高等(deng)的(de)靶(ba)材制造(zao)商在广(guang)州(zhou)实(shi)现(xian)量(liang)产。靶(ba)材产品(pin)的(de)种(zhong)类(lei)也(ye)越(yue)来越(yue)丰富 ：银（Ag）靶(ba)、Cr靶(ba)、Ti靶、镍铬（NiCr）靶、锌锡（ZnSn）靶、硅铝（SiAl）靶、氧(yang)化钛(tai)（TixOy）靶(ba)，镍(nie)铬(ge)靶(ba)等(deng)。

靶材在玻(bo)璃上的(de)另一(yi)个(ge)重要(yao)应用是制(zhi)备(bei)汽(qi)车后视(shi)镜，主要是(shi)铬(ge)靶、铝(lv)靶(ba)、氧(yang)化钛靶等。由于汽(qi)车(che)后(hou)视镜(jing)档(dang)次要求(qiu)的不(bu)断提高，这(zhe)些(xie)企(qi)业纷(fen)纷(fen)从(cong)原(yuan)来的(de)镀铝(lv)工(gong)艺转(zhuan)成(cheng)真(zhen)空溅射(she)镀铬工艺(yi)。

伴(ban)随(sui)着电子产(chan)业(ye)的(de)发(fa)展(zhan)，高技(ji)术材(cai)料逐渐向(xiang)薄(bao)膜(mo)转移，镀(du)膜(mo)期间(jian)随(sui)之(zhi)发(fa)展迅速(su)，靶(ba)材是一种(zhong)具(ju)有高(gao)附加值的(de)特(te)种电(dian)子(zi)材料(liao)，是(shi)溅(jian)射薄(bao)膜(mo)材(cai)料(liao)的(de)源较。陶瓷靶材作为(wei)非(fei)金(jin)属薄(bao)膜产(chan)业发(fa)展的(de)基(ji)础(chu)材(cai)料(liao)，已(yi)得(de)到从(cong)未(wei)有过(guo)的发(fa)展(zhan)，靶(ba)材(cai)市(shi)场规(gui)模(mo)日(ri)益(yi)膨(peng)胀。国内(nei)的(de)陶(tao)瓷平(ping)面靶材(cai)主(zhu)要(yao)采用烧结及绑定工(gong)艺，可(ke)生产(chan)非(fei)常大长(zhang)度600mm，非(fei)常大宽度(du)400mmm，非常大(da)厚度30mm，圆角(jiao)、斜(xie)边、台(tai)阶等异形根据(ju)客(ke)户(hu)要(yao)求(qiu)加工。

陶(tao)瓷靶材(cai)的(de)特(te)性要(yao)求(qiu)：

（1）纯(chun)度(du)：陶(tao)瓷靶材的纯度(du)对(dui)溅(jian)射薄(bao)膜的性能(neng)影(ying)响很(hen)大(da)，纯(chun)度越高，溅射(she)薄膜的(de)均(jun)匀性(xing)和批量产品的质量(liang)的(de)一(yi)致(zhi)性(xing)越(yue)好。几(ji)年(nian)来，随着微电子产业(ye)的发(fa)展(zhan)，对(dui)成膜(mo)面积的薄膜(mo)均(jun)匀性(xing)要求十分严格(ge)，其纯(chun)度必须(xu)大(da)于(yu)4N。平(ping)面显(xian)示用的(de)ITO靶材(cai)In2O3和(he)Sn2O3的(de)纯度(du)都大(da)于(yu)4N。

（2）密度(du)：为(wei)了(le)减少陶(tao)瓷(ci)靶材的气(qi)孔，提(ti)高(gao)薄(bao)膜性(xing)能(neng)，要(yao)求(qiu)溅射陶(tao)瓷靶材(cai)具(ju)有(you)高(gao)密度。靶材越密实，溅(jian)射(she)颗(ke)粒(li)的密度月底(di)，放电(dian)现(xian)场(chang)就越(yue)弱(ruo)，薄膜(mo)的(de)性能(neng)也越(yue)好(hao)。

（3）成(cheng)分与结构均匀(yun)性(xing)：为保(bao)证(zheng)溅射薄(bao)膜均匀，尤特(te)在(zai)复杂的(de)大面积(ji)镀(du)膜应用中，必(bi)须做到靶材成分(fen)与(yu)结构均(jun)匀性好(hao)。

相信(xin)在不久(jiu)的将来，国内会有(you)更多(duo)的靶材供(gong)应商(shang)，向国(guo)外中(zhong)高等靶材(cai)市(shi)场发起一波(bo)强而(er)有(you)力(li)的冲(chong)击(ji)。

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