凯泽金属(shu)谈金属(shu)靶(ba)材的分类与(yu)应(ying)用

宝(bao)鸡市凯泽(ze)金属材(cai)料(liao)有(you)限公(gong)司，多(duo)年(nian)来(lai)专(zhuan)注(zhu)于(yu)溅射靶(ba)材(cai)、真空镀膜钛、镍(nie)、锆、铬靶材的生产及(ji)深(shen)加(jia)工(gong)，靶材广(guang)泛(fan)应用于(yu)主营平板显(xian)示器用靶(ba)材(cai)，镀膜(mo)玻(bo)璃(li)工(gong)业用靶(ba)材，电阻靶(ba)材(cai)，汽(qi)车车(che)灯(deng)镀(du)膜用(yong)靶材(cai)等(deng)领域。有(you)关钛(tai)靶材(cai)的(de)制(zhi)备(bei)工艺(yi)方法(fa)，凯(kai)泽(ze)金属结合10多年的生(sheng)产经(jing)验，结(jie)合(he)有关(guan)资料，整理如下(xia)：

目(mu)前(qian)钛靶(ba)材的制(zhi)备主(zhu)要有(you)铸(zhu)造法和粉末冶金(jin)法(fa)。

铸造(zao)法(fa)：将一(yi)定成分配比(bi)的(de)合金原料熔(rong)炼，再将(jiang)合(he)金(jin)溶(rong)液(ye)浇(jiao)注(zhu)于模(mo)具中，形(xing)成(cheng)铸锭(ding)，最后(hou)经机械(xie)加工(gong)制成靶材(cai)，铸造法在(zai)真空中熔炼(lian)、铸造(zao)。常(chang)用(yong)的熔(rong)炼方法有真(zhen)空(kong)感应熔(rong)炼、真(zhen)空(kong)电(dian)弧(hu)熔(rong)炼(lian)和真空(kong)电(dian)子轰击(ji)熔炼等，其(qi)优点(dian)是靶(ba)材杂(za)质(zhi)含(han)量（特别(bie)是(shi)气(qi)体杂质(zhi)含(han)量(liang)）低(di)，密度(du)高，可大(da)型化；缺点是对(dui)熔(rong)点(dian)和(he)密度相差(cha)较大的(de)两(liang)种或两种以(yi)上(shang)金(jin)属(shu)，普通熔(rong)炼(lian)法难(nan)以(yi)获(huo)得成(cheng)分(fen)均(jun)匀(yun)的合金(jin)靶材(cai)。

粉(fen)末(mo)冶金(jin)法(fa)：将一定(ding)成(cheng)分(fen)配比的(de)合(he)金原(yuan)料(liao)熔炼(lian)，浇注(zhu)成铸(zhu)锭后(hou)再粉(fen)碎，将(jiang)粉(fen)碎(sui)形(xing)成的粉末(mo)经(jing)等(deng)静(jing)压成形(xing)，再(zai)高温烧结，最(zui)终形(xing)成靶材(cai)，其优(you)点(dian)是靶材(cai)成分(fen)均(jun)匀(yun)；缺点(dian)是(shi)密度低，杂(za)质含量(liang)高等(deng)，常(chang)用(yong)的粉(fen)末冶金工艺(yi)包括冷压、真(zhen)空热(re)压和(he)热等(deng)静压(ya)等。

一(yi)、按(an)材(cai)质：

靶材(cai)分为金(jin)属(shu)靶材(cai)，陶(tao)瓷(ci)（氧(yang)化物、氮(dan)化物(wu)等）靶材(cai)，合金靶(ba)材。

二(er)、按(an)应(ying)用(yong)方向(xiang)：

1、半导(dao)体关(guan)联靶(ba)材(cai)：

电极(ji)、布(bu)线(xian)薄膜(mo)：铝(lv)靶(ba)材(cai)，铜(tong)靶(ba)材(cai)，金靶(ba)材，银(yin)靶(ba)材(cai)，钯(ba)靶(ba)材，铂(bo)靶材，铝(lv)硅(gui)合金(jin)靶(ba)材，铝(lv)硅(gui)铜合(he)金靶材(cai)等。

储(chu)存器(qi)电(dian)极(ji)薄膜：钼(mu)靶(ba)材，钨靶(ba)材(cai)，钛靶(ba)材等(deng)。

粘附(fu)薄膜：钨靶材，钛(tai)靶(ba)材等。

电容器绝缘膜(mo)薄膜：锆钛(tai)酸(suan)铅(qian)靶材(cai)等(deng)。

2、磁记录(lu)靶材：

垂(chui)直(zhi)磁(ci)记录薄膜：钴铬合(he)金靶(ba)材(cai)等。

硬(ying)盘用薄(bao)膜(mo)：钴铬钽(tan)合金靶(ba)材(cai)，钴铬(ge)铂(bo)合金靶(ba)材(cai)，钴(gu)铬(ge)钽(tan)铂(bo)合金靶(ba)材(cai)等(deng)。

薄(bao)膜磁(ci)头(tou)：钴(gu)钽铬(ge)合(he)金靶(ba)材，钴(gu)铬(ge)锆(gao)合金(jin)靶(ba)材等(deng)。

人工晶体薄(bao)膜(mo)：钴(gu)铂(bo)合金(jin)靶(ba)材，钴钯合(he)金(jin)靶材等(deng)。

相(xiang)关链(lian)接(jie)