钛(tai)靶(ba)材(cai)是指(zhi)用(yong)金(jin)属(shu)钛制成的一(yi)种靶(ba)材(cai)，也包括(kuo)钛与其他(ta)金(jin)属或非金(jin)属(shu)制成的(de)合金(jin)靶(ba)材(cai)。钛靶(ba)材具(ju)有(you)优(you)良(liang)的腐(fu)蚀(shi)抗(kang)性(xing)、高强度和低(di)密(mi)度(du)，以及(ji)良(liang)好(hao)的生(sheng)物(wu)相(xiang)容性(xing)、耐高温等(deng)特性(xing)。有(you)关钛(tai)靶材(cai)的性(xing)能、执(zhi)行标准、常(chang)用牌号、应用等，凯(kai)泽金(jin)属一(yi)站式分(fen)享(xiang)如下(xia)：
一(yi)、钛靶(ba)材(cai)的(de)性(xing)能
高纯度(du)：
纯度通(tong)常在(zai)99.95%~99.999%（3N5~5N），确(que)保溅(jian)射(she)薄(bao)膜的均(jun)匀(yun)性(xing)和(he)功(gong)能(neng)性(xing)，适(shi)用于(yu)半导体(ti)和(he)光学(xue)镀(du)膜。
优异(yi)耐(nai)腐蚀性：
在氧(yang)化性(xing)环境（如(ru)海(hai)水、酸性(xing)介(jie)质(zhi)）中(zhong)抗腐蚀能(neng)力极强，适(shi)合(he)化工(gong)和(he)海洋工(gong)程(cheng)。
高(gao)比(bi)强度(du)：
强度接(jie)近钢(gang)，但(dan)密度仅为钢(gang)的(de)60%，是(shi)航空(kong)航(hang)天轻(qing)量(liang)化材(cai)料的关键。
生(sheng)物(wu)相(xiang)容(rong)性(xing)：
无毒(du)且(qie)与(yu)人(ren)体组(zu)织(zhi)兼容，广(guang)泛用(yong)于(yu)骨(gu)科植入物和(he)牙科器械。
导电性(xing)与(yu)热稳定性：
导(dao)电(dian)性(xing)良好，高(gao)温(wen)下（300~600℃）仍保(bao)持稳(wen)定，适用(yong)于高(gao)温溅(jian)射(she)工(gong)艺(yi)。
溅射(she)效率高：
靶(ba)材致(zhi)密(mi)度高（≥98%），晶(jing)粒均匀(yun)，成(cheng)膜(mo)速(su)率快且附(fu)着性好(hao)。
二(er)、常规牌(pai)号(hao)
钛靶(ba)材(cai)的牌(pai)号根据成(cheng)分(fen)和用(yong)途分类(lei)，主要包(bao)括(kuo)纯钛(tai)和钛(tai)合(he)金：
1、纯钛(tai)系列：
Gr1（ASTM）：工业(ye)纯(chun)钛（低氧(yang)），延(yan)展(zhan)性(xing)最(zui)佳(jia)，用(yong)于耐(nai)腐蚀镀(du)层(ceng)。
Gr2（ASTM）：通用纯(chun)钛（中等强(qiang)度(du)），应用最(zui)广泛(fan)，如装(zhuang)饰镀(du)膜和电(dian)子元件。
TA1/TA2（中(zhong)国(guo)GB/T 3620.1）：对(dui)应Gr1和Gr2，成(cheng)分(fen)接近。
2、钛(tai)合(he)金系列(lie)：
Gr5（Ti-6Al-4V）：含6% Al、4% V，高强(qiang)度(du)，用于航空部件(jian)和(he)医(yi)疗(liao)植(zhi)入(ru)物(wu)（ASTM F136）。
Gr23（Ti-6Al-4V ELI）：超(chao)低间隙(xi)元(yuan)素(su)（ELI）版(ban)本，生物相容性更优(you)，适用于(yu)高端(duan)骨科植(zhi)入。
Ti-Al合(he)金（如(ru)Ti3Al、TiAlN）：用(yong)于耐(nai)磨(mo)涂(tu)层和(he)工具(ju)表面(mian)强化(hua)。
三、执(zhi)行标(biao)准(zhun)
钛(tai)靶材(cai)的生产和应用需(xu)符合(he)以(yi)下(xia)国(guo)际及行业标(biao)准：
1、材料标准：
ASTM B265：钛(tai)板(ban)材(cai)、带(dai)材(cai)的(de)通用标准。
ASTM F67/F136：医用纯(chun)钛及Ti-6Al-4V合金(jin)的(de)植入物标准。
GB/T 3620.1：中(zhong)国(guo)纯钛及(ji)钛合金牌(pai)号标(biao)准。
ISO 5832-3：外科植(zhi)入用(yong)钛材料(liao)的国际(ji)标(biao)准。
2、靶材专(zhuan)用标(biao)准：
SEMI F42：半(ban)导体行(xing)业对(dui)高(gao)纯(chun)钛(tai)溅射(she)靶(ba)材的规(gui)范。
JIS H 4600：日本工(gong)业(ye)标(biao)准中(zhong)的钛(tai)及钛(tai)合(he)金(jin)加工(gong)材要求。
四、应(ying)用(yong)领域
1、半(ban)导体(ti)与电子(zi)：
用(yong)于(yu)制备(bei)集(ji)成电路中的导(dao)电层(ceng)（如(ru)TiN阻(zu)挡(dang)层）和(he)电(dian)极材料(liao)。
在OLED/LCD显(xian)示(shi)屏中作为透(tou)明导电膜（ITO）的(de)底层(ceng)材料(liao)。
2、航(hang)空(kong)航(hang)天(tian)：
制(zhi)造(zao)飞机发动(dong)机(ji)叶片、机(ji)身(shen)的(de)耐(nai)高(gao)温(wen)镀层(ceng)，提升(sheng)抗磨损(sun)和抗(kang)腐蚀(shi)性(xing)能(neng)。
3、医(yi)疗器械：
人(ren)工关(guan)节(jie)（髋(kuan)关节(jie)、膝关节）、牙(ya)科种植体(ti)、心(xin)脏(zang)支架等生(sheng)物(wu)植入(ru)物(wu)。
4、工(gong)业与装饰(shi)：
工(gong)具(ju)表(biao)面镀(du)TiN/TiAlN 涂(tu)层(ceng)（金色或黑色(se)），提高硬(ying)度和耐磨性(xing)。
建筑(zhu)玻璃(li)、手表(biao)外(wai)壳(ke)的耐候(hou)装饰(shi)镀层。
5、新(xin)能源(yuan)与光学：
太(tai)阳(yang)能(neng)电(dian)池的背(bei)电极(ji)材料，光(guang)学镜(jing)片(pian)的(de)增(zeng)透膜和反(fan)射膜。
钛(tai)靶(ba)材(cai)凭(ping)借其(qi)高纯度(du)、耐(nai)腐(fu)蚀(shi)、轻(qing)量化和(he)生物(wu)相容(rong)性(xing)，成为(wei)半(ban)导(dao)体、医疗、航(hang)空航(hang)天等(deng)领域的核(he)心(xin)材料(liao)。主流牌(pai)号(hao)如(ru)Gr1、Gr2、Gr5满(man)足(zu)不同(tong)场(chang)景需(xu)求(qiu)，执行(xing)标(biao)准涵(han)盖(gai)ASTM、GB、ISO等体系(xi)，确(que)保材(cai)料性能(neng)与行(xing)业(ye)规(gui)范高度匹(pi)配(pei)。未来(lai)在(zai)新能(neng)源和(he)精(jing)密(mi)电子(zi)领域(yu)的(de)需求(qiu)将(jiang)持续(xu)增(zeng)长。
相(xiang)关(guan)链接
