一(yi)、产(chan)品名(ming)称:铬(ge)靶(ba)材(cai)、铬(ge)靶块
凯泽(ze)金(jin)属铬(ge)靶材规(gui)格:
圆(yuan)靶(直(zhi)径(jing)φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)
板(ban)靶(ba)(长(zhang)<500mm,宽<500mm,高(gao)<25mm)
管靶(外直径φ3.0mm-φ300mm,内(nei)直径φ2.0mm-280mm)
材(cai)料纯度:>99.995%
金(jin)属杂质含(han)量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整(zheng)度(du)(STIR):<10μm
翘(qiao)曲度(Warp):<50μm

二、产品名称:钛(tai)靶材(cai),钛圆(yuan)柱(zhu)靶、钛(tai)靶管
牌(pai)号:TA1,GR1
执行(xing)标(biao)准(zhun):GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用(yong)途:钛(tai)靶(ba)材(cai)用于(yu)半(ban)导体分(fen)离器件、平面显示器、储(chu)存(cun)器电极薄膜、溅(jian)射(she)镀膜、工件(jian)表(biao)面涂层,玻(bo)璃(li)镀(du)膜(mo)工(gong)业等(deng)领(ling)域(yu)。

三、产(chan)品名称(cheng):镍(nie)靶(ba)材
牌(pai)号(hao):N6, N4
用途:镍靶(ba)材用(yong)于(yu)半导(dao)体(ti)分离(li)器件、平(ping)面(mian)显示(shi)器(qi)、储存器电(dian)极(ji)薄(bao)膜(mo)、溅(jian)射(she)镀(du)膜、工件(jian)表(biao)面涂(tu)层,玻(bo)璃(li)镀膜工(gong)业等(deng)。

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