一、产品(pin)名称:铬(ge)靶材、铬(ge)靶(ba)块(kuai)
凯泽(ze)金属(shu)铬靶(ba)材(cai)规格:
圆靶(直(zhi)径(jing)φ1"-φ14",厚(hou)度(du)0.5-15mm)
板(ban)靶(长(zhang)<500mm,宽<500mm,高<25mm)
管(guan)靶(外(wai)直(zhi)径φ3.0mm-φ300mm,内(nei)直(zhi)径(jing)φ2.0mm-280mm)
材(cai)料纯(chun)度:>99.995%
金属(shu)杂(za)质(zhi)含量(liang):(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整(zheng)度(du)(TIR):<20μm
局(ju)部(bu)平整度(du)(STIR):<10μm
翘(qiao)曲度(Warp):<50μm

二、产品名(ming)称:钛靶材,钛圆柱靶(ba)、钛靶管(guan)
牌(pai)号(hao):TA1,GR1
执行(xing)标准:GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用(yong)途(tu):钛靶(ba)材(cai)用(yong)于(yu)半(ban)导(dao)体(ti)分离(li)器(qi)件(jian)、平(ping)面显示(shi)器(qi)、储存(cun)器(qi)电极薄膜、溅(jian)射镀膜、工件(jian)表(biao)面(mian)涂(tu)层(ceng),玻璃(li)镀膜(mo)工(gong)业(ye)等领(ling)域。

三、产(chan)品名(ming)称:镍靶材
牌号:N6, N4
用途(tu):镍(nie)靶材(cai)用(yong)于(yu)半(ban)导体(ti)分(fen)离器(qi)件(jian)、平面(mian)显(xian)示器(qi)、储存器(qi)电极(ji)薄膜、溅(jian)射镀膜、工(gong)件表面(mian)涂层,玻(bo)璃镀(du)膜工业(ye)等(deng)。

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