一(yi)、产(chan)品名称(cheng):铬(ge)靶材、铬(ge)靶块
凯泽(ze)金(jin)属铬(ge)靶材(cai)规格(ge):
圆(yuan)靶(直(zhi)径φ1"-φ14",厚度(du)0.5-15mm)
板靶(长(zhang)<500mm,宽<500mm,高(gao)<25mm)
管靶(ba)(外直径(jing)φ3.0mm-φ300mm,内直(zhi)径(jing)φ2.0mm-280mm)
材料纯度:>99.995%
金(jin)属(shu)杂(za)质(zhi)含(han)量(liang):(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平(ping)整(zheng)度(TIR):<20μm
局(ju)部平整度(STIR):<10μm
翘曲(qu)度(du)(Warp):<50μm

二(er)、产(chan)品名(ming)称(cheng):钛(tai)靶材(cai),钛(tai)圆柱靶(ba)、钛(tai)靶管(guan)
牌(pai)号:TA1,GR1
执(zhi)行标准(zhun):GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用(yong)途(tu):钛靶材用(yong)于半(ban)导体分(fen)离器件(jian)、平面显示器、储存器(qi)电(dian)极(ji)薄(bao)膜、溅(jian)射(she)镀(du)膜、工(gong)件表面(mian)涂层,玻璃(li)镀膜工业等(deng)领域(yu)。

三(san)、产(chan)品(pin)名(ming)称(cheng):镍靶材(cai)
牌号(hao):N6, N4
用途:镍靶材用(yong)于(yu)半导体分(fen)离(li)器(qi)件(jian)、平面显(xian)示器(qi)、储(chu)存(cun)器电(dian)极薄(bao)膜(mo)、溅射镀膜(mo)、工(gong)件表(biao)面涂层,玻璃镀膜(mo)工业等。

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