凯(kai)泽金(jin)属(shu)生(sheng)产(chan)的铬靶材(cai)采用(yong)先(xian)进(jin)的热(re)等(deng)静(jing)压(HIP)工(gong)艺生产,产(chan)品包(bao)括(kuo)矩(ju)形靶(ba)、圆弧靶、环形靶和(he)大(da)长(zhang)径比整(zheng)体(ti)成形(xing)管(guan)靶等类(lei)型,具(ju)有(you)纯(chun)度(du)和(he)密度(du)可(ke)控、晶粒细(xi)小均匀、使用(yong)寿(shou)命(ming)长(zhang)等优(you)点。

铬(ge)靶 | 性(xing)能 |
纯度/%
| 99.5 | 99.95 |
密(mi)度(du)/g/cm3
| ≥7.12 | ≥7.12 |
晶粒(li)度/μm
| ≤100 | ≤100 |
金属(shu)杂(za)质(zhi)总和/ppm
| ≤5000 | ≤500 |
热(re)导率/W/m.K
| 60 | 100 |
热(re)膨(peng)胀系数(shu)/1/K
| 8×10-6 | 8×10-6 |
规(gui)格(ge)尺寸(cun)/mm
| 平(ping)面(mian)靶
| ≤1500×500 | ≤1500×500 |
| 旋(xuan)转(zhuan)靶
| 热等静压整体(ti)成形(xing) 长度(du)Length≤2000 厚度Thickness≤15 | 热(re)等(deng)静(jing)压(ya)整体成形 长度(du)Length≤2000 厚度Thickness≤15 |
2N5微(wei)量元素(su)PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(gui)(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(yang)(O) | 氮(dan)(N) |
| 标(biao)准 | ≤1500 | ≤1200 | ≤1500 | ≤200 | ≤50 | ≤1400 | ≤300 |
| 测(ce)试值(zhi) | 980 | 300 | 600 | 62 | 50 | 1200 | 200 |
2N8微量(liang)元(yuan)素(su)PPM≥7.12g/cm3
| 成(cheng)分(fen) | 铁(tie)(Fe) | 铝(Al) | 硅(gui)(Si) | 碳(C) | 硫(liu)(S) | 氧(yang)(O) | 氮(N) |
| 标(biao)准 | ≤800 | ≤300 | ≤400 | ≤200 | ≤50 | ≤1000 | ≤100 |
| 测试值 | 740 | 78 | 92 | 84 | 50 | 340 | 30 |
3N微量(liang)元(yuan)素PPM≥7.12g/cm3
| 成(cheng)分(fen) | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(gui)(Si) | 碳(tan)(C) | 硫(liu)(S) | 氧(yang)(O) | 氮(dan)(N) |
| 标(biao)准(zhun) | ≤500 | ≤100 | ≤150 | ≤150 | ≤30 | ≤500 | ≤100 |
| 测(ce)试(shi)值 | 290 | 47 | 80 | 90 | 28 | 450 | 50 |
3N5微(wei)量元素(su)PPM≥7.12g/cm3
| 成分 | 铁(tie)(Fe) | 铝(lv)(Al) | 硅(gui)(Si) | 铜(tong)(Cu) | 镍(Ni) | 碳(tan)(C) | 硫(liu)(S) | 氧(O) | 氮(dan)(N) |
| 标准 | ≤100 | ≤50 | ≤50 | ≤10 | ≤50 | ≤50 | ≤30 | ≤150 | ≤80 |
| 测试(shi)值 | 50 | 45 | 40 | 7 | 10 | 24 | 27 | 137 | 30 |
相(xiang)关(guan)链(lian)接(jie)