靶(ba)材(cai)是几乎(hu)所(suo)有(you)电子(zi)器件中(zhong)不(bu)可或(huo)缺(que)的材料(liao)之(zhi)一(yi)，因为靶材能(neng)够提供(gong)独(du)特(te)的(de)物(wu)理和化(hua)学性质(zhi)，这些(xie)性(xing)质可(ke)以用于(yu)制(zhi)造微(wei)型电(dian)路(lu)板、半(ban)导(dao)体(ti)芯(xin)片、纳(na)米(mi)材料(liao)、薄(bao)膜(mo)涂层等(deng)各种(zhong)电(dian)子(zi)部件(jian)。不(bu)同种类(lei)的(de)靶材具(ju)有(you)不同(tong)的化学成分(fen)和物理特(te)性(xing)，因(yin)此在(zai)不同的应(ying)用(yong)场合下，其(qi)优缺点(dian)也不同(tong)。
1、常(chang)见的靶(ba)材类(lei)型
金属靶材：金属(shu)靶(ba)材由(you)铝(lv)、铜(tong)、钛(tai)、锌(xin)等元素(su)制(zhi)成，是(shi)最(zui)简(jian)单(dan)、最(zui)经济的(de)一(yi)种(zhong)靶材类(lei)型之(zhi)一(yi)。它们(men)广泛用(yong)于电(dian)子(zi)、半(ban)导(dao)体、光(guang)学等领(ling)域的薄(bao)膜(mo)涂层，以(yi)及镀膜、PVD制(zhi)备(bei)、表面(mian)涂(tu)层等多个应(ying)用(yong)场(chang)景(jing)。然而，这(zhe)些(xie)金(jin)属靶(ba)材制(zhi)备的薄(bao)膜质量不(bu)如其他(ta)靶(ba)材(cai)，并(bing)且薄膜(mo)制(zhi)作过(guo)程(cheng)需(xu)要(yao)高真(zhen)空条件(jian)。
氧(yang)化(hua)物(wu)靶(ba)材：氧(yang)化(hua)物(wu)靶(ba)材由金属和(he)氧(yang)化(hua)物分子组成，如(ru)氧(yang)化(hua)铝(lv)、氧化(hua)锌(xin)、氧化镁等(deng)。它(ta)们(men)具(ju)有(you)良(liang)好的化(hua)学稳定性(xing)和(he)光学(xue)性能(neng)，在(zai)透(tou)明(ming)导(dao)电(dian)薄膜(mo)、磁(ci)性(xing)材料(liao)等(deng)领(ling)域应(ying)用广泛(fan)。与(yu)金属靶(ba)材相比(bi)，氧(yang)化(hua)物靶材(cai)的薄(bao)膜(mo)具有(you)较(jiao)高(gao)的(de)光学透(tou)射率和(he)电学(xue)导电性能(neng)，同(tong)时制(zhi)备(bei)的(de)过(guo)程(cheng)需要更(geng)高的(de)温度和(he)真空度。
碳化(hua)物靶材(cai)：碳化物靶材(cai)主(zhu)要(yao)包(bao)括(kuo)碳化(hua)硅(gui)、碳(tan)化钨等，该(gai)类(lei)靶材(cai)具有(you)良好的(de)高(gao)温、耐磨性(xing)能(neng)和(he)防(fang)腐(fu)蚀(shi)性能，广(guang)泛应用于太阳能电池器(qi)件、紫(zi)外线(xian)传(chuan)感(gan)器(qi)等(deng)领域。碳化物(wu)靶材(cai)的制备(bei)工艺复杂(za)，成(cheng)本较高，但(dan)其薄膜质量(liang)优异，可(ke)制(zhi)备(bei)出高品(pin)质(zhi)的(de)多(duo)层(ceng)薄(bao)膜。
磁性(xing)材(cai)料靶(ba)材(cai)：磁性材(cai)料(liao)靶材(cai)主(zhu)要包括铁(tie)、镍、钴等(deng)，该类靶材(cai)具(ju)有良好的(de)磁(ci)性能(neng)，并广泛(fan)应用(yong)于磁记录材(cai)料、磁(ci)性传感器(qi)及电(dian)子存(cun)储(chu)器件等领域(yu)。磁(ci)性(xing)材(cai)料(liao)靶材(cai)的制(zhi)备工(gong)艺复杂(za)，要(yao)求真空度高(gao)、精度高，成本(ben)也较高。
2、应用
金(jin)属(shu)靶(ba)材(cai)广泛(fan)应(ying)用于(yu)电(dian)子、半(ban)导(dao)体(ti)、光(guang)电等(deng)领域的(de)薄膜(mo)涂层(ceng)，以(yi)及(ji)镀膜(mo)、PVD制(zhi)备、表(biao)面(mian)涂层等多(duo)个(ge)应用场(chang)景。
氧(yang)化(hua)物靶(ba)材(cai)在透(tou)明导电(dian)薄膜(mo)、磁性(xing)材料(liao)等(deng)领域应(ying)用广泛(fan)，例(li)如涂层(ceng)制(zhi)备(bei)、表(biao)面加工(gong)等(deng)。同时(shi)，它(ta)们(men)也(ye)是太(tai)阳(yang)能(neng)电(dian)池器件(jian)的重要(yao)组成(cheng)部(bu)分(fen)。
碳化(hua)物(wu)靶材(cai)在(zai)太阳(yang)能电(dian)池器件、紫外(wai)线(xian)传(chuan)感器(qi)等(deng)领(ling)域得(de)到广(guang)泛应(ying)用(yong)，尤其是(shi)其(qi)在微(wei)纳加工和(he)新型(xing)高(gao)硬(ying)度刀具(ju)等(deng)方面(mian)的应(ying)用有(you)极(ji)高的潜(qian)力(li)。
磁性(xing)材(cai)料靶(ba)材广(guang)泛用(yong)于磁(ci)记录(lu)材(cai)料(liao)、磁(ci)性(xing)传(chuan)感(gan)器(qi)、磁(ci)性(xing)存储器(qi)件(jian)等(deng)领(ling)域(yu)。这(zhe)些材料(liao)的(de)独特(te)性质(zhi)使(shi)其(qi)成(cheng)为电子技术领域(yu)的(de)关键(jian)材(cai)料之一(yi)。
3、优(you)缺(que)点比较
1）金(jin)属(shu)靶材
优点：金(jin)属靶材制备(bei)工(gong)艺简(jian)单，成(cheng)本低。对于(yu)一些需要快速(su)制备的(de)应(ying)用(yong)场(chang)景(jing)，如触(chu)控(kong)屏涂(tu)层和(he)防反(fan)光(guang)镜涂层等，金属靶(ba)材(cai)是更好的选择(ze)。
缺点(dian)：薄(bao)膜质(zhi)量(liang)不(bu)如(ru)其(qi)他靶材(cai)。由(you)于(yu)制(zhi)备(bei)过(guo)程(cheng)需(xu)要高(gao)真空(kong)条(tiao)件，因此(ci)生产(chan)过(guo)程(cheng)中(zhong)需要更(geng)多(duo)的(de)能(neng)源。
2）氧(yang)化物(wu)靶(ba)材(cai)
优(you)点：氧化(hua)物靶(ba)材(cai)具有(you)高化学(xue)稳(wen)定(ding)性、高(gao)透(tou)明度和高导(dao)电率(lv)等(deng)特性，通常在(zai)透明(ming)导(dao)电薄膜、光(guang)学(xue)薄(bao)膜(mo)、磁性(xing)材(cai)料(liao)等领(ling)域应(ying)用广(guang)泛(fan)。
缺(que)点(dian)：制(zhi)备(bei)过程(cheng)需要(yao)更(geng)高的温度(du)和(he)真空(kong)度，并且成(cheng)本相对(dui)较高。
3）碳(tan)化物(wu)靶材
优点：碳(tan)化(hua)物(wu)靶材(cai)具有(you)耐高(gao)温、耐(nai)磨和(he)防腐蚀的特(te)性(xing)，通常在(zai)太阳(yang)能电池器(qi)件、紫外线(xian)传(chuan)感(gan)器等(deng)领(ling)域应用(yong)广(guang)泛。此外，制(zhi)备出的(de)薄(bao)膜(mo)质量也很高，可(ke)以(yi)制备出高(gao)品质(zhi)的(de)多(duo)层(ceng)薄膜(mo)。
缺(que)点(dian)：制(zhi)备工(gong)艺(yi)复(fu)杂(za)，成(cheng)本较高。
4）磁(ci)性材(cai)料(liao)靶(ba)材(cai)
优点(dian)：磁性材(cai)料(liao)靶材(cai)具(ju)有(you)良(liang)好(hao)的磁(ci)性能(neng)，在(zai)磁(ci)记(ji)录材料(liao)、磁(ci)性传(chuan)感器、磁性(xing)存(cun)储器(qi)件等领域得(de)到广泛应用(yong)。此外(wai)，其在电(dian)子技术领域(yu)中也具有关(guan)键的(de)作(zuo)用。
缺(que)点(dian)：制(zhi)备工(gong)艺要求非(fei)常(chang)高，需(xu)要高度(du)纯(chun)净(jing)的(de)材(cai)料及高真空(kong)状态(tai)下(xia)的(de)制备(bei)。
金(jin)属(shu)靶(ba)材价廉(lian)物(wu)美(mei)，对于(yu)一些需(xu)要(yao)快(kuai)速(su)制备的应用场(chang)合(he)是(shi)更好的(de)选择;氧化(hua)物(wu)靶(ba)材(cai)在(zai)透(tou)明导(dao)电(dian)薄膜(mo)、光学薄(bao)膜、磁(ci)性材料等领(ling)域(yu)应(ying)用(yong)广泛(fan);碳化物(wu)靶(ba)材(cai)具有耐(nai)高温、耐(nai)磨(mo)和防(fang)腐蚀的(de)特(te)性，制备出的(de)薄膜质量也(ye)很(hen)高;磁(ci)性(xing)材(cai)料靶材在磁记录材料、磁(ci)性(xing)传(chuan)感(gan)器(qi)、磁性(xing)存(cun)储(chu)器件等(deng)领(ling)域(yu)得到(dao)广(guang)泛应用(yong)。随着技术(shu)的(de)不(bu)断(duan)提(ti)高(gao)和(he)研究(jiu)的深入，靶(ba)材(cai)行(xing)业将会(hui)迎(ying)来更(geng)大的发(fa)展和(he)创新(xin)。
相关(guan)链接
