磁控(kong)溅(jian)射钛靶材的应(ying)用(yong)与未来(lai)展(zhan)望(wang)

磁控(kong)溅射(she)钛靶材(cai)主(zhu)要应用(yong)于电(dian)子及信息(xi)产(chan)业，如(ru)集(ji)成(cheng)电(dian)路(lu)、平(ping)面(mian)显(xian)示(shi)屏和(he)家(jia)装汽车(che)行业(ye)装(zhuang)饰(shi)镀(du)膜(mo)领(ling)域(yu)，如玻(bo)璃装饰(shi)镀(du)膜和轮毂(gu)装饰(shi)镀(du)膜(mo)等(deng)。

为了更(geng)能接近磁(ci)控溅(jian)射(she)靶材(cai)的(de)使(shi)用者，以(yi)便提(ti)供更完(wan)善的(de)售后(hou)服(fu)务(wu)，全球主要靶材制(zhi)造商通常会(hui)在(zai)客户所在地设立(li)分(fen)公司。目前，亚洲(zhou)的一(yi)些(xie)国(guo)家和(he)地区(qu)，如台湾(wan)、韩(han)国(guo)和新加坡(po)就(jiu)建立了越(yue)来越多(duo)制造薄膜(mo)元件(jian)等(deng)产品(pin)的(de)工厂(chang)，如(ru)IC、液晶(jing)显示器制造厂，对(dui)靶材厂(chang)商而(er)言(yan)，这(zhe)是相(xiang)当(dang)重(zhong)要(yao)的新兴(xing)市场(chang)。因此(ci)，全(quan)球(qiu)靶材(cai)制造基(ji)地正(zheng)在快(kuai)速向亚(ya)洲(zhou)地区聚(ju)集(ji)。随(sui)着(zhe)国(guo)内半(ban)导(dao)体(ti)集(ji)成(cheng)电(dian)路、平(ping)面显示及(ji)装(zhuang)饰(shi)镀(du)膜等高(gao)技(ji)术产(chan)业的(de)迅(xun)猛(meng)发展，中(zhong)国(guo)的靶材(cai)市(shi)场(chang)日益扩(kuo)大，已(yi)逐(zhu)渐成为世界(jie)薄膜(mo)靶材的最大(da)需求(qiu)地(di)区(qu)之(zhi)一，这(zhe)为中(zhong)国靶(ba)材制造(zao)业(ye)的发展(zhan)提供了机遇(yu)和(he)挑(tiao)战。近(jin)几年，在集成(cheng)电路(lu)产业(ye)基金(jin)、国家科(ke)技重大专(zhuan)项(xiang)（01、02、03）及(ji)地(di)方(fang)基(ji)金(jin)等(deng)国(guo)家(jia)队的带动(dong)下，集(ji)成电路(lu)产业投(tou)资可(ke)谓(wei)大热，据统计(ji)，仅2015-2016两年间(jian)，国内已经宣(xuan)布(bu)在(zai)建或(huo)计划(hua)开(kai)工的(de)晶圆(yuan)生(sheng)产线(xian)就多达(da)44条，其中300mm 18条(tiao)，200mm 20条，150mm ６条。在(zai)此(ci)巨(ju)大(da)市场(chang)需(xu)求的拉(la)动下，靶材产业(ye)必将(jiang)引(yin)起了(le)我国有关(guan)科(ke)研(yan)院(yuan)所(suo)和企业的(de)重视(shi)和关注，纷纷投入人(ren)力(li)、物力、财力(li)从事(shi)磁控(kong)溅靶材(cai)的研发(fa)和(he)生(sheng)产。钛靶(ba)材(cai)作(zuo)为靶材领域(yu)的独(du)特(te)一个(ge)分(fen)支(zhi)无论在半导(dao)体A1工艺(yi)或(huo)Cu工(gong)艺(yi)下(xia)都(dou)有应(ying)用(yong)，同(tong)时在(zai)液晶(jing)显(xian)示器行(xing)业(ye)和装(zhuang)饰镀膜行业有(you)着(zhe)广泛的(de)应用(yong)。目前(qian)钛(tai)靶(ba)材研(yan)发(fa)生(sheng)产(chan)的基(ji)地主要(yao)集(ji)中(zhong)在北京(jing)、广东地(di)区、江(jiang)浙(zhe)、甘肃(su)等(deng)地(di)。由于靶材(cai)原(yuan)料纯度、生产(chan)装(zhuang)备(bei)和(he)工(gong)艺(yi)研(yan)发(fa)技术(shu)的限制，我国(guo)钛(tai)靶材制造业(ye)还处于初创期(qi)，国内(nei)钛靶(ba)材(cai)生产企业基(ji)本属于质(zhi)量(liang)和技术门(men)槛较(jiao)低(di)、采(cai)用(yong)传(chuan)统(tong)加工(gong)方(fang)法、依(yi)靠价(jia)格取(qu)胜(sheng)的(de)低(di)档次(ci)溅射(she)靶(ba)材生产者，或(huo)获(huo)利(li)有(you)限的(de)代(dai)工型加工(gong)厂。生(sheng)产规(gui)模(mo)小(xiao)，品(pin)种单一(yi)，技(ji)术还(hai)不稳(wen)定(ding)，迄(qi)今(jin)为(wei)止，中(zhong)国(guo)（包(bao)括(kuo)中国台湾(wan)）仅有(you)几(ji)家(jia)生产(chan)靶材(cai)的专业公(gong)司(si)，如有(you)研(yan)亿金、江峰电子(zi)等(deng)企业，生产的(de)钛靶(ba)材远远(yuan)不能(neng)满(man)足(zu)市场(chang)发(fa)展的需要(yao)，大量(liang)钛(tai)靶(ba)材(cai)还(hai)需(xu)从(cong)国(guo)外(wai)进口(kou)，高(gao)纯(chun)度(du)金属钛(tai)靶(ba)材的原(yuan)材(cai)料(liao)已经获得(de)突破(po)，但是(shi)大(da)部(bu)分还(hai)不(bu)得(de)不(bu)依(yi)赖(lai)进(jin)口(kou)。

钛(tai)靶材作为一(yi)种(zhong)具有(you)特殊(shu)用途(tu)的(de)材(cai)料，具(ju)有(you)很(hen)强(qiang)的(de)应用(yong)目(mu)的和(he)明确(que)的(de)应用(yong)背景(jing)。脱离金(jin)属(shu)钛的冶金提纯(chun)技(ji)术、EB真空熔炼(lian)技(ji)术、钛锭(ding)无(wu)损探(tan)伤(shang)技(ji)术(shu)、高纯钛(tai)的(de)杂(za)质分(fen)析技(ji)术、钛(tai)靶(ba)材(cai)的(de)制备(bei)技术、溅(jian)射机(ji)台制(zhi)备(bei)技术、溅射(she)工艺和(he)薄(bao)膜(mo)性(xing)能测试(shi)技(ji)术(shu)单纯地研究(jiu)钛(tai)靶材(cai)本身没有任何(he)意(yi)义。钛(tai)靶(ba)材(cai)的(de)研(yan)发(fa)生产及后(hou)续(xu)的应(ying)用(yong)改(gai)进涉及(ji)一(yi)个从(cong)上(shang)游原材(cai)料到(dao)产业(ye)中(zhong)游设(she)备(bei)制(zhi)造(zao)商(shang)和靶(ba)材制造商(shang)共同研发(fa)、下游(you)钛靶(ba)材镀膜(mo)芯(xin)片应(ying)用的(de)整(zheng)个产业(ye)链(lian)。钛靶材性(xing)能(neng)与(yu)溅(jian)射薄膜性能之间(jian)的(de)关系(xi)，既(ji)有(you)利于(yu)获得满足应(ying)用(yong)需要(yao)的(de)薄(bao)膜(mo)性能(neng)，又(you)有利(li)于更(geng)好(hao)的(de)使用靶(ba)材，充(chong)分发挥(hui)其(qi)作(zuo)用(yong)，促(cu)进(jin)靶材(cai)产(chan)业(ye)发(fa)展(zhan)。目前正(zheng)处(chu)在(zai)集(ji)成(cheng)电路产(chan)业在(zai)中国(guo)大(da)陆蓬勃(bo)发(fa)展(zhan)的阶(jie)段(duan)，机遇(yu)和(he)挑战(zhan)并存，如果(guo)不(bu)能抓住(zhu)机(ji)遇把靶(ba)材制(zhi)造(zao)、薄(bao)膜制(zhi)造(zao)和检测(ce)设(she)备(bei)国(guo)产化，我(wo)国(guo)与(yu)国际(ji)水平(ping)的(de)差(cha)距(ju)必将越(yue)来越大(da)，不仅(jin)不(bu)能夺回由(you)外商(shang)占(zhan)领的(de)国(guo)内(nei)市场，更无(wu)法(fa)参(can)与国(guo)际市(shi)场的(de)竞争(zheng)。

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