| 产品名称 | 钛(tai)合(he)金靶块(kuai)，钛(tai)饼 |
| 牌(pai)号/材(cai)质(zhi) | TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V) |
| 标(biao)准 | 钛(tai)圆(yuan)靶 ：技术条(tiao)件(jian)：符(fu)合(he)GB/T2695-1996，ASTMB348-97 钛(tai)板(ban)靶 ：技术条(tiao)件(jian)：符合(he)GB/T3621-94，ASTM B265-93
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| 规(gui)格 | 圆(yuan)靶(ba)：常用规格：60/65/95/100*30/32/40/45mm 板靶(ba)：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
管靶： 70mm * 7mm/10mm |
| 表面(mian) | 车光(guang)，可(ke)加(jia)螺(luo)纹(wen) |
| 特(te)性(xing) | 重量(liang)轻，优异(yi)的抗腐蚀性，防(fang)腐性(xing)，强度高(gao)，耐(nai)热性(xing)好，延展性好，无毒(du)性，无(wu)磁性，优(you)良(liang)的(de)机械强度(du)等(deng)。 |
| 状态 | 退(tui)火(huo)态（M） 热(re)加(jia)工状态（R） 冷(leng)加工(gong)状态(tai)（Y）(退(tui)火(huo)，超生波(bo)探伤(shang)) |
| 应用 | 钛(tai)靶材(cai)用于半(ban)导(dao)体(ti)分(fen)离器件、平(ping)面显(xian)示(shi)器、储存(cun)器(qi)电(dian)极薄(bao)膜、溅(jian)射(she)镀膜(mo)、工件(jian)表(biao)面涂(tu)层，玻(bo)璃(li)镀(du)膜(mo)工业(ye) |
| 品(pin)名(ming) | 纯度 | 密(mi)度 | 镀膜优势色 | 形(xing)状(zhuang) | 常(chang)规尺寸(cun) | 应(ying)用(yong)行业(ye) |
| 钛(tai)铝(lv)（TiAl）合(he)金靶(ba) | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫(mei)瑰金/咖啡金(jin) | 圆(yuan)柱形 | 直(zhi)径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰/工(gong)具(ju) |
| 纯(chun)铬（Cr）靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白(bai)色/黑色(se) | 圆柱形 | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰/工(gong)具(ju) |
| 纯(chun)钛(tai)（Ti）靶 | 2N8-4N | 4.51 | 金黄(huang)色/枪黑色/
蓝(lan)色(se)/玫瑰(gui)红 | 圆(yuan)柱(zhu)形(xing) | 直(zhi)径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰(shi)/工(gong)具 |
| 纯(chun)锆（Zr）靶(ba) | 2N5-4N | 6.5 | 金(jin)色(se) | 圆(yuan)柱形(xing) | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰(shi)/工(gong)具 |
| 纯(chun)铝(lv)（Al）靶 | 4N-5N | 2.7 | 银色 | 圆柱形 | 直(zhi)径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰(shi)/工(gong)具 |
| 纯镍(nie)（Ni）靶(ba) | 3N-4N | 8.9 | 金(jin)属(shu)本(ben)色(se) | 圆柱(zhu)形 | 直(zhi)径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具(ju) |
| 镍(nie)钒（Nir）靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿色 | 圆(yuan)柱形(xing) | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工(gong)具(ju) |
| 纯(chun)铌(Nb）靶 | 3N | 8.57 | 白(bai)色(se) | 圆柱形(xing) | 直径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰/工具(ju) |
| 纯(chun)钽（Ta）靶(ba) | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色(se) | 圆(yuan)柱(zhu)形(xing) | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰/工具 |
钛(tai)靶概(gai)述及材质(zhi)要求
1、纯(chun)度
纯(chun)度是(shi)靶(ba)材的主要(yao)性能指标之(zhi)一，因(yin)为(wei)靶(ba)材(cai)的(de)纯(chun)度(du)对薄(bao)膜的(de)性(xing)能(neng)影响(xiang)很大(da)。不过在实(shi)际应(ying)用(yong)中，对靶(ba)材的纯度(du)要求也(ye)不(bu)尽相同。例(li)如(ru)，随(sui)着微(wei)电(dian)子(zi)行业的迅速(su)发展，硅片尺(chi)寸(cun)由6”, 8“发(fa)展(zhan)到(dao)12”, 而(er)布线宽度由(you)0.5um减小(xiao)到0.25um,0.18um甚至(zhi)0.13um，以(yi)前(qian)99.995%的靶材(cai)纯度(du)可以满(man)足(zu)0.35umIC的(de)工(gong)艺(yi)要(yao)求(qiu)，而制备(bei)0.18um线条对(dui)靶材纯(chun)度则(ze)要(yao)求99.999%甚至(zhi)99.9999%。
2、杂质含(han)量(liang)
靶材(cai)固(gu)体(ti)中(zhong)的(de)杂(za)质和气(qi)孔中(zhong)的氧气和(he)水气(qi)是沉(chen)积薄膜的主(zhu)要污(wu)染(ran)源。不(bu)同(tong)用途(tu)的(de)靶材(cai)对(dui)不同(tong)杂(za)质(zhi)含(han)量的(de)要求也不(bu)同(tong)。例如(ru)，半(ban)导体(ti)工业用的纯铝(lv)及(ji)铝(lv)合(he)金靶(ba)材，对碱金(jin)属(shu)含(han)量(liang)和放射性(xing)元素含量都(dou)有(you)特(te)殊(shu)要求。
3、密度(du)
为了(le)减少(shao)靶材固体中(zhong)的(de)气孔，提高(gao)溅(jian)射(she)薄膜的(de)性(xing)能(neng)，通常(chang)要求靶材具有较(jiao)高的(de)密度。靶材的(de)密度不(bu)仅(jin)影(ying)响(xiang)溅(jian)射(she)速(su)率，还(hai)影响着(zhe)薄膜的(de)电(dian)学(xue)和(he)光(guang)学(xue)性能(neng)。靶材(cai)密度(du)越(yue)高(gao)，薄(bao)膜的(de)性能(neng)越好。此外，提(ti)高(gao)靶材(cai)的(de)密度(du)和(he)强(qiang)度使(shi)靶材(cai)能更好地(di)承(cheng)受溅射(she)过程(cheng)中(zhong)的(de)热(re)应(ying)力。密度也是(shi)靶(ba)材的关键(jian)性能(neng)指(zhi)标(biao)之一(yi)。
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