1、定(ding)义(yi)
TA1钛靶(ba)管是以中国国(guo)家(jia)标准 GB/T 3620.1 中的(de) TA1（工业纯钛(tai)） 为原材(cai)料，通(tong)过(guo)塑(su)性(xing)加工(gong)成型(xing)的(de)空心圆(yuan)柱(zhu)形(xing)溅射(she)靶(ba)材。TA1钛(tai)的(de)纯度为(wei) 99.5% 左(zuo)右（Fe≤0.20%、O≤0.25%、C≤0.10%），适用于(yu)中低功(gong)率磁(ci)控溅(jian)射(she)工(gong)艺，主(zhu)要用(yong)于(yu)工(gong)业(ye)防(fang)腐、装饰镀(du)层(ceng)及中(zhong)端(duan)功(gong)能性(xing)薄(bao)膜的(de)制备。
2、性(xing)能特(te)点
基础(chu)性能：
纯度：TA1钛(tai)纯度(du) 99.5%，杂(za)质以(yi)Fe、O为(wei)主(zhu)，适合(he)对(dui)薄(bao)膜(mo)性能要(yao)求(qiu)不苛(ke)刻(ke)的场(chang)景(jing)。
机(ji)械性(xing)能：抗拉强(qiang)度≥345 MPa，延伸(shen)率(lv)≥20%，硬度(du)HV 120-180。
结构(gou)优势(shi)：
管(guan)状(zhuang)设(she)计(ji)：旋转(zhuan)溅(jian)射利(li)用率(lv)达 60-70%，降低材(cai)料损耗。
耐腐蚀性(xing)：在3.5% NaCl溶(rong)液中(zhong)年腐(fu)蚀(shi)速率(lv)≤0.01 mm，适(shi)合一(yi)般(ban)工(gong)业(ye)环境。
成本(ben)优势：
原材料成本(ben)低(di)（￥400-600/kg），适合(he)规模化生(sheng)产需(xu)求。
3、材(cai)质与制(zhi)造(zao)工(gong)艺
材质：
基材：TA1工(gong)业(ye)纯钛（GB/T 3620.1），未经过(guo)二次(ci)提纯(chun)，保(bao)留(liu)原始杂质水(shui)平。
复合结构：部(bu)分靶管内壁复(fu)合铝(lv)或铜(tong)背板(ban)（提(ti)升(sheng)散热(re)效(xiao)率(lv)）。
制造工艺：
管材(cai)成型(xing)：
热(re)挤(ji)压(ya)（900-1000°C）→冷(leng)轧(ya)→退火(huo)（消(xiao)除(chu)加工应(ying)力(li)）。
焊(han)接与(yu)加工(gong)：
管端采(cai)用(yong)氩(ya)弧焊（TIG）密封，表(biao)面粗抛(pao)光（Ra≤1.2 μm）。
清(qing)洗与(yu)封(feng)装：
碱洗+酸洗(xi)去(qu)除(chu)表面(mian)氧(yang)化(hua)物→干燥(zao)后(hou)真(zhen)空封(feng)装。
4、执行(xing)标(biao)准(zhun)
| 标准类型(xing) | 具(ju)体(ti)标准(zhun) |
| 国内标准(zhun) | GB/T 3620.1（TA1工业纯钛(tai)）、GB/T 3625（钛(tai)及钛合(he)金管材） |
| 行(xing)业(ye)规(gui)范 | JB/T 8554（工(gong)业(ye)涂(tu)层技术条(tiao)件）、SJ/T 11609-2016（溅射(she)靶(ba)材(cai)通(tong)用规范(fan)） |
| 国际参(can)考(kao) | ASTM B338（钛及钛合金(jin)无(wu)缝(feng)管(guan)）、ISO 5832-2（医用(yong)钛材(cai)性能(neng)参考） |
5、应用(yong)领(ling)域
工业防(fang)腐(fu)涂(tu)层：
化(hua)工(gong)设备管(guan)道(dao)的 纯钛(tai)镀(du)层（耐酸碱腐蚀，替代不锈钢(gang)）。
海洋平(ping)台(tai)螺(luo)栓(shuan)的 CrTiN复(fu)合(he)涂(tu)层(ceng)（耐盐(yan)雾≥500小(xiao)时(shi)）。
装(zhuang)饰镀(du)膜：
卫(wei)浴五金(jin)件的(de) 氮(dan)化(hua)钛(tai)（TiN）仿金镀层（成(cheng)本低于(yu)电(dian)镀(du)工(gong)艺）。
家具配件的 TiC黑(hei)色涂层（防(fang)指(zhi)纹、耐(nai)磨(mo)）。
中(zhong)端功能性薄膜：
包装(zhuang)材(cai)料的 阻(zu)隔层（氧(yang)气(qi)透(tou)过(guo)率≤5 cm³/m²·day）。
汽(qi)车灯具的(de) 反射膜(mo)（反射(she)率(lv)≥85%）。
6、与(yu)其(qi)他钛(tai)靶管的(de)异(yi)同对(dui)比(bi)
| 特(te)性(xing) | TA1钛(tai)靶管(guan) | TA1高(gao)纯(chun)钛(tai)靶管（3N级） | TA2钛(tai)靶(ba)管(guan) | 钛合(he)金(jin)靶管（Ti6Al4V） |
| 纯度 | 99.5%（Fe≤0.20%） | 99.9%（Fe≤0.05%） | 99.5%（Fe≤0.30%） | 90% Ti + 6% Al + 4% V |
| 成本 | 低(di)（￥400-600/kg） | 中(zhong)（￥600-1000/kg） | 低(di)（￥400-800/kg） | 中(zhong)高(gao)（￥1000-1500/kg） |
| 耐温(wen)性 | ≤400°C（氧(yang)化(hua)前） | ≤600°C | ≤500°C | ≤350°C（Al易(yi)氧(yang)化(hua)） |
| 薄(bao)膜均匀(yun)性 | ±8%（中低功率(lv)溅射(she)） | ±5%（中(zhong)高功率溅射） | ±10%（低功率(lv)溅射(she)） | ±12%（合(he)金偏(pian)析影(ying)响(xiang)） |
| 适(shi)用(yong)场景(jing) | 防腐(fu)/装(zhuang)饰镀(du)层(ceng)、一(yi)般(ban)工(gong)业(ye)镀膜(mo) | 中(zhong)端(duan)工具涂层、光学镀膜 | 基础(chu)工(gong)业(ye)防(fang)护 | 轻(qing)型(xing)耐磨(mo)部件(jian) |
7、选(xuan)购(gou)方法(fa)与(yu)注意(yi)事(shi)项(xiang)
选购(gou)方(fang)法
杂质检(jian)测：
要求供应(ying)商提供(gong) 光谱分析报(bao)告（OES），确(que)认Fe≤0.20%、O≤0.25%。
若用于(yu)氮(dan)化(hua)钛(tai)镀(du)层(ceng)，需额外(wai)检测N含(han)量(liang)（≤0.05%）。
几(ji)何精度验(yan)证：
壁厚(hou)公(gong)差(cha) ±0.2 mm，同(tong)心(xin)度(du)≤0.1 mm（卡(ka)尺(chi)+激(ji)光扫描(miao)检(jian)测(ce)）。
供(gong)应商评(ping)估(gu)：
选择具备(bei)稳定轧(ya)制(zhi)与(yu)焊接(jie)能(neng)力(li)的(de)厂(chang)商(shang)，优(you)先(xian)考虑通过(guo) ISO 9001 认证(zheng)的企业(ye)。
注意事(shi)项(xiang)
储存(cun)与(yu)预(yu)处理(li)：
储(chu)存(cun)环(huan)境(jing)湿度<50% RH，避(bi)免表面氧化(hua)生(sheng)成(cheng)TiO₂（可(ke)用(yong)干(gan)燥剂(ji)密(mi)封(feng)）。
使(shi)用(yong)前用 丙酮+超声(sheng)波清洗(xi) 去(qu)除(chu)油污(wu)，禁(jin)止用(yong)手直(zhi)接(jie)接触(chu)靶(ba)面。
工艺优化：
TiN涂层(ceng)：氮气占比(bi) 30-50%，基(ji)片(pian)温(wen)度 100-250°C，功(gong)率(lv)≤8 W/cm²。
纯(chun)钛(tai)镀层：氩气(qi)纯(chun)度(du)≥99.99%，溅(jian)射气压(ya) 0.5-0.8 Pa（减少(shao)氧污染）。
维护与报(bao)废：
定(ding)期检(jian)查靶(ba)管(guan)壁厚(hou)（剩余(yu)厚(hou)度(du)<2 mm时需更(geng)换），避(bi)免(mian)溅(jian)射(she)穿孔。
报(bao)废靶(ba)管可回(hui)收熔(rong)炼为低端钛(tai)材，但(dan)不(bu)可(ke)重(zhong)复用于高纯度(du)镀(du)膜(mo)。
TA1钛靶管(guan)凭借其低(di)成(cheng)本(ben)、易加工和(he)良(liang)好(hao)的耐(nai)腐蚀性，成(cheng)为工业防(fang)腐(fu)与(yu)装(zhuang)饰镀(du)层的(de)经(jing)济型选(xuan)择。相较于(yu)高(gao)纯钛(tai)靶管，其薄膜均(jun)匀性(xing)和耐温(wen)性稍(shao)逊(xun)，但(dan)成本(ben)优(you)势(shi)显著；与TA2钛靶(ba)管相比(bi)，杂质控制(zhi)更优(you)，适(shi)合对(dui)镀(du)层质(zhi)量要求稍高的场景。选购(gou)时需(xu)重(zhong)点(dian)关(guan)注(zhu)Fe、O杂质(zhi)含量(liang)及几何精(jing)度，应用中(zhong)需(xu)控制溅射参数以避(bi)免膜层缺(que)陷。对(dui)于高(gao)端(duan)半导体或(huo)精密光学(xue)领(ling)域(yu)，建(jian)议选(xuan)用(yong)高(gao)纯钛靶(ba)管(guan)；而(er)在(zai)一(yi)般工(gong)业(ye)防护(hu)、装(zhuang)饰镀层及(ji)包(bao)装阻(zu)隔等场(chang)景，TA1钛(tai)靶管(guan)可实现(xian)性(xing)价比(bi)最优(you)。
