一(yi)、产品(pin)名称(cheng)：钛(tai)靶(ba)材(cai)
| 产品名(ming)称(cheng) | 钛靶块(kuai) 、钛(tai)靶材(cai) |
| 牌号/材(cai)质 | TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V) |
| 标(biao)准(zhun) | 钛(tai)圆靶(ba) ：技术(shu)条件：符合(he)GB/T2695-1996，ASTMB348-97
钛(tai)板(ban)靶(ba) ：技术条(tiao)件：符(fu)合(he)GB/T3621-94，ASTM B265-93 |
| 规(gui)格(ge) | 圆靶：常(chang)用规(gui)格(ge)：60/65/95/100*30/32/40/45mm板(ban)靶：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm管靶(ba)： 70mm * 7mm/10mm |
| 表(biao)面 | 车(che)光(guang)，可(ke)加(jia)螺(luo)纹(wen) |
| 特性(xing) | 重量轻(qing)，优异的抗(kang)腐(fu)蚀(shi)性(xing)，防腐性(xing)，强度(du)高(gao)，耐(nai)热性(xing)好，延展(zhan)性好，无毒性，无磁(ci)性(xing)，优(you)良(liang)的机(ji)械(xie)强度(du)等(deng)。 |
| 状态(tai) | 退火态(tai)（M） 热加(jia)工状态(tai)（R） 冷(leng)加(jia)工(gong)状(zhuang)态（Y）(退(tui)火，超(chao)生波(bo)探(tan)伤) |
| 应(ying)用(yong) | 钛靶材(cai)广(guang)泛应(ying)用(yong)于半(ban)导体(ti)分离器件、平(ping)面显示器(qi)、储存器(qi)电极(ji)薄膜(mo)、溅射(she)镀膜(mo)、工(gong)件(jian)表面涂层(ceng)，玻璃镀膜工(gong)业等领域(yu)。 |
| 品名(ming) | 纯(chun)度 | 密度 | 镀膜(mo)优势色 | 形(xing)状(zhuang) | 常(chang)规尺(chi)寸 | 应(ying)用行(xing)业 |
| 钛铝(lv)（TiAl）合(he)金(jin)靶(ba) | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰(gui)金(jin)/咖(ka)啡(fei)金(jin) | 圆柱形(xing) | 直径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具 |
| 纯(chun)铬(ge)（Cr）靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白(bai)色/黑色 | 圆(yuan)柱(zhu)形 | 直(zhi)径(jing)60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装(zhuang)饰(shi)/工具(ju) |
| 纯钛（Ti）靶(ba) | 2N8-4N | 4.51 | 金黄(huang)色/枪黑(hei)色/
蓝(lan)色/玫(mei)瑰(gui)红 | 圆(yuan)柱(zhu)形 | 直(zhi)径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰(shi)/工具 |
| 纯(chun)锆（Zr）靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圆(yuan)柱形(xing) | 直径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具(ju) |
| 纯铝(lv)（Al）靶 | 4N-5N | 2.7 | 银(yin)色 | 圆(yuan)柱形 | 直径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具 |
| 纯镍（Ni）靶(ba) | 3N-4N | 8.9 | 金(jin)属本(ben)色 | 圆(yuan)柱形 | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰(shi)/工具 |
| 镍(nie)钒（Nir）靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿(lv)色 | 圆柱形(xing) | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具 |
| 纯(chun)铌(ni)(Nb）靶 | 3N | 8.57 | 白(bai)色 | 圆(yuan)柱(zhu)形 | 直径(jing)
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰(shi)/工(gong)具 |
| 纯(chun)钽（Ta）靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫(zi)色 | 圆柱形 | 直径
60/65/95/100*30/32/40/45mm | 装饰/工具 |
钛(tai)靶概述(shu)及材(cai)质(zhi)要求
1、纯(chun)度
纯(chun)度(du)是靶(ba)材(cai)的(de)主(zhu)要性(xing)能指(zhi)标(biao)之一，因(yin)为(wei)靶(ba)材(cai)的(de)纯(chun)度对(dui)薄(bao)膜(mo)的性能影(ying)响很(hen)大。不过(guo)在实际应用中，对(dui)靶(ba)材的(de)纯(chun)度(du)要(yao)求(qiu)也不尽(jin)相(xiang)同(tong)。例(li)如(ru)，随着微(wei)电(dian)子(zi)行业的(de)迅(xun)速发(fa)展，硅片尺寸由6”, 8“发(fa)展(zhan)到(dao)12”, 而(er)布(bu)线宽(kuan)度由(you)0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的(de)靶材纯度(du)可以满足0.35umIC的(de)工(gong)艺要(yao)求(qiu)，而(er)制备0.18um线(xian)条(tiao)对(dui)靶材(cai)纯(chun)度则(ze)要求99.999%甚至(zhi)99.9999%。
2、杂(za)质含量
靶(ba)材(cai)固(gu)体中的(de)杂质(zhi)和(he)气(qi)孔中(zhong)的氧(yang)气和水(shui)气是(shi)沉(chen)积薄(bao)膜的(de)主要(yao)污染(ran)源。不同用(yong)途(tu)的靶材对不同杂(za)质含量的(de)要(yao)求也(ye)不同。例(li)如，半(ban)导体工业(ye)用的纯铝及铝(lv)合金(jin)靶(ba)材，对(dui)碱(jian)金(jin)属(shu)含(han)量和放射(she)性元素含(han)量(liang)都有特殊(shu)要(yao)求(qiu)。
3、密度(du)
为了减(jian)少(shao)靶材固(gu)体(ti)中(zhong)的(de)气(qi)孔(kong)，提高(gao)溅(jian)射(she)薄(bao)膜(mo)的性能(neng)，通常要求靶材(cai)具有较高的密(mi)度(du)。靶材(cai)的密度不(bu)仅影响溅(jian)射速率(lv)，还影响着(zhe)薄膜的电学和光(guang)学性能。靶材密(mi)度越高(gao)，薄(bao)膜的(de)性能(neng)越(yue)好。此外，提(ti)高靶(ba)材的(de)密(mi)度和强度(du)使靶材能更(geng)好(hao)地承受溅射过程(cheng)中的(de)热应(ying)力(li)。密度也是(shi)靶(ba)材的(de)关键性能(neng)指标之(zhi)一(yi)。
二(er)、产(chan)品(pin)名(ming)称(cheng)：钛(tai)锻(duan)件、钛块
执行标(biao)准(zhun)：GB/T 16598、ASTM B381 、AMS4928、 GB/T 25137
材质(zhi)牌(pai)号(hao): TA1、TA2、TA9、TA10、TC4、GR1、GR2、GR5、Gr7、GR9
生(sheng)产工(gong)艺(yi)：锻(duan)造
尺寸(cun)规格(ge): 50-1500* 50-2000* L
应用(yong)：钛块主要用(yong)于航空(kong)航天、海洋、军工(gong)、民用(yong)化工设(she)备(bei)等领域(yu)。
相(xiang)关(guan)链(lian)接
