随(sui)着人们(men)环(huan)保(bao)意(yi)识的(de)增强(qiang)，材料的(de)表(biao)面镀膜技术由(you)传(chuan)统(tong)的电(dian)镀及(ji)化(hua)学(xue)镀(du)技术(shu)逐(zhu)渐过(guo)渡(du)到(dao)真空溅射(she)镀(du)膜(mo)技(ji)术(shu)。真(zhen)空磁控溅(jian)射(she)镀(du)膜(mo)技术已经在(zai)五(wu)金装(zhuang)饰(shi)镀层、表面保护(hu)镀层、电(dian)子产品(pin)镀(du)层、电(dian)磁(ci)屏(ping)蔽(bi)镀(du)膜以及(ji)汽(qi)车和建筑玻璃(li)镀(du)膜领(ling)域得到(dao)了广(guang)泛的应(ying)用。因此(ci)，该领域(yu)对相关(guan)镀(du)膜靶材的需(xu)求(qiu)也显得极为迫(po)切。
钛(tai)铝(lv)合金(jin)是(shi)一(yi)种真空(kong)镀膜用(yong)合(he)金溅射(she)靶(ba)材(cai)，在该(gai)合(he)金中(zhong)通过调(diao)配钛与铝(lv)的(de)含量可以(yi)获(huo)得不同(tong)特性(xing)的钛(tai)铝合金(jin)靶(ba)材。钛铝金属间(jian)化合(he)物(wu)属于(yu)硬脆材(cai)料(liao)，具(ju)有(you)很(hen)好的耐(nai)磨(mo)性，在(zai)普(pu)通刀具表(biao)面(mian)覆着一层(ceng)钛铝(lv)金属间(jian)化(hua)合(he)物(wu)，可以有(you)效(xiao)延长(zhang)刀(dao)具的使(shi)用(yong)时(shi)间(jian)。如(ru)配合氮气(qi)放(fang)电起弧(hu)实(shi)施溅(jian)射，可(ke)以获(huo)得高硬(ying)度低摩擦(ca)系(xi)数表(biao)面膜，特别(bie)适合各种刀(dao)具、模具和其它易(yi)损件(jian)的表(biao)面涂(tu)层(ceng)，因此在机械加工(gong)行(xing)业(ye)具有(you)较(jiao)好的应用(yong)前景(jing)。
钛(tai)铝合金(jin)靶(ba)材的制备(bei)较(jiao)困(kun)难(nan)。根据钛(tai)铝(lv)合金相(xiang)图(tu)，钛(tai)和铝之问(wen)可(ke)以(yi)形(xing)成多种金(jin)属问(wen)化(hua)合物，导致(zhi)钛(tai)铝合金(jin)存在加工(gong)脆性，特(te)别(bie)是(shi)当(dang)合(he)金(jin)中铝含量(liang)超(chao)过(guo)50％(原子比)时，合(he)金(jin)的(de)抗(kang)氧化性骤(zhou)然(ran)降低(di)，氧化严重(zhong)。同(tong)时，合金化(hua)过程(cheng)中的放(fang)热(re)膨胀，极易产生气(qi)泡、缩孔(kong)和(he)缩松(song)，导(dao)致合金(jin)的孔隙(xi)率高(gao)，无(wu)法(fa)满(man)足(zu)靶材致密(mi)度(du)的要求(qiu)。
1、溅(jian)射(she)镀膜工(gong)艺(yi)
1.1 溅(jian)射靶(ba)材(cai)
溅(jian)射靶材是(shi)指(zhi)通(tong)过磁(ci)控溅射、多(duo)弧离子镀或(huo)其他(ta)类型的镀(du)膜设备在适(shi)当(dang)工(gong)艺(yi)条(tiao)件(jian)下(xia)溅射(she)沉积在(zai)基(ji)板(ban)上形(xing)成各种功(gong)能(neng)薄膜的溅射(she)源(yuan)。溅(jian)射靶材(cai)广(guang)泛应用于(yu)装饰、工模(mo)具(ju)、玻(bo)璃(li)、电(dian)子器(qi)件、半导(dao)体(ti)、磁(ci)记录(lu)、平(ping)面(mian)显示、太阳(yang)能电池(chi)等(deng)众(zhong)多(duo)领(ling)域，不(bu)同领(ling)域需要(yao)的靶(ba)材(cai)各(ge)不相(xiang)同(tong)。按照生(sheng)产方法(fa)溅射靶材(cai)可(ke)分为粉(fen)末靶、熔炼(lian)靶(ba)和(he)喷涂(tu)靶(ba)；按照(zhao)形状可分(fen)为平(ping)面(mian)靶材和管(guan)状靶材(cai)，平(ping)面靶(ba)材(cai)又可(ke)分(fen)为矩(ju)形靶(ba)和圆(yuan)弧(hu)靶(ba)；根据(ju)成分(fen)可(ke)分为纯(chun)金(jin)属靶(ba)材(cai)、合金靶材(cai)、氧化(hua)物(wu)靶(ba)材、硅化物(wu)靶(ba)材等多个品种。
1.2 溅(jian)射镀膜(mo)原(yuan)理
用加(jia)速的离(li)子(zi)轰击(ji)固(gu)体表(biao)面(mian)，离(li)子和(he)固体(ti)表面(mian)原子交换动(dong)量，使固体表(biao)面(mian)的原子(zi)离开(kai)固体并(bing)沉积在(zai)基(ji)底(di)表(biao)面(mian)，该过(guo)程(cheng)即为(wei)溅(jian)射(she)镀(du)膜(mo)。图(tu)1为(wei)溅(jian)射镀膜(mo)过程(cheng)示(shi)意图(tu)H J。用靶(ba)材(cai)溅射(she)沉(chen)积(ji)的(de)薄(bao)膜(mo)致(zhi)密度高(gao)，与(yu)基体之间附着(zhe)性(xing)好(hao)。因(yin)此，溅(jian)射沉积已(yi)成为一种广(guang)泛(fan)应(ying)用的(de)薄膜(mo)制备(bei)技术。
2、钛(tai)铝(lv)合金(jin)溅(jian)射(she)靶制(zhi)备(bei)技(ji)术(shu)
溅(jian)射(she)合金靶(ba)材需(xu)要满足纯度、致(zhi)密度、晶粒度、表面光(guang)洁度等要(yao)求。其(qi)中纯(chun)度(du)、致(zhi)密(mi)度及(ji)晶粒度与(yu)靶材制备(bei)工艺(yi)直(zhi)接(jie)相(xiang)关。
金属(shu)合(he)金制(zhi)备通常(chang)采(cai)用(yong)的(de)普(pu)通(tong)熔(rong)炼(lian)法(fa)。但钛(tai)铝(lv)合金(jin)的(de)制备(bei)不适于采(cai)用该方法，主(zhu)要(yao)原(yuan)因如下：(1)钛铝(lv)合金(jin)熔炼(lian)过(guo)程易(yi)形成(cheng)多(duo)种金(jin)属(shu)间化合(he)物(wu)，如Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等(deng)，这(zhe)些金属(shu)间化合物(wu)的(de)存在导致钛(tai)铝(lv)合金(jin)的(de)加(jia)工(gong)脆(cui)性(xing)，特(te)别是(shi)当合金中铝(lv)含量(liang)超过(guo)50％(原(yuan)子(zi)比(bi))，该(gai)问题(ti)尤(you)为(wei)明(ming)显；(2)熔炼(lian)工(gong)艺(yi)制(zhi)备(bei)钛(tai)铝(lv)合(he)金(jin)靶(ba)材(cai)，浇注过(guo)程中易产(chan)生(sheng)气泡(pao)、疏松
和(he)偏(pian)析(xi)，造成合(he)金(jin)中成(cheng)分(fen)与组织(zhi)不(bu)均匀，导(dao)致靶(ba)材品质(zhi)不(bu)稳定(ding)。
根据(ju)国内(nei)外(wai)有关(guan)钛(tai)铝合金(jin)靶材(cai)的(de)生(sheng)产(chan)工艺(yi)研究(jiu)报道(dao)，目(mu)前(qian)钛铝合金(jin)溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)的主(zhu)要(yao)制(zhi)备(bei)技(ji)术有(you)：强(qiang)电(dian)流(liu)加热(re)法、热(re)等(deng)静压烧(shao)结(jie)法、热(re)压(ya)烧(shao)结法(fa)。
2.1 强电流(liu)加热(re)法(fa)
学(xue)者(zhe)余(yu)鹏发明了(le)一种(zhong)通(tong)过大强(qiang)度(du)电(dian)流生产钛铝合金靶(ba)材(cai)的方(fang)法。该(gai)法采(cai)用(yong)可获(huo)得大(da)电(dian)流(liu)的装置，利(li)用大(da)电(dian)流使钛(tai)粉和(he)铝粉发(fa)热，施以(yi)压(ya)力(li)，使(shi)铝和钛(tai)自身(shen)反(fan)应(ying)形成钛铝(lv)合金(jin)靶(ba)材(cai)。
该(gai)法制备得到的钛(tai)铝合(he)金(jin)靶(ba)材产品(pin)的致密度>99％，晶粒(li)尺寸≤100,ttm，纯度(du)>99％。钛(tai)铝合(he)金(jin)靶材成分范围为：钛含(han)量(liang)5％～75％(原子比(bi))，其(qi)余为(wei)铝含(han)量。该法(fa)成本低(di)、产(chan)品(pin)致(zhi)密度高，完全能满足大规(gui)模产业化(hua)生(sheng)产的(de)要(yao)求。
该(gai)制(zhi)备(bei)法中需(xu)要(yao)有可(ke)获得(de)大(da)电(dian)流(liu)的(de)装置(zhi)，装(zhuang)置(zhi)中的(de)正负(fu)电(dian)极需(xu)要有导(dao)电、传(chuan)压(ya)功效(xiao)，应(ying)具备良好(hao)的导电性、强(qiang)韧(ren)性及抗(kang)高(gao)温软化性等。因(yin)此，能否(fou)具备(bei)符合(he)工(gong)艺(yi)要(yao)求(qiu)、性(xing)能(neng)稳(wen)定(ding)的(de)大电流装置(zhi)是该制备(bei)方法的关(guan)键(jian)。
2.2 热等静(jing)压烧(shao)结(jie)法
学(xue)者(zhe)张(zhang)凤(feng)戈(ge)等发明了一种钛铝合(he)金(jin)靶(ba)材的(de)粉末(mo)冶金制备方(fang)法。该(gai)法(fa)将钛(tai)粉和铝粉(fen)进行(xing)混料，然后(hou)经过装(zhuang)粉(fen)和冷等(deng)静(jing)压(ya)预压(ya)制(zhi)、脱(tuo)气(qi)工艺(yi)后(hou)再进(jin)行(xing)热等静压压制成型，最后(hou)进(jin)行烧结(jie)和(he)加(jia)工得(de)到钛(tai)铝(lv)合(he)金(jin)靶材。
该法(fa)制备(bei)的(de)钛(tai)铝合金靶材(cai)具(ju)有(you)致(zhi)密度(du)高(gao)、无(wu)气(qi)孔(kong)、无疏(shu)松(song)和偏析(xi)、成(cheng)分(fen)均匀、晶粒(li)细小(xiao)等特(te)点。制(zhi)备得(de)到(dao)的钛(tai)铝(lv)合金靶(ba)材产(chan)品的致密(mi)度(du)≥99％，纯度>99％，晶粒(li)尺(chi)寸(cun)≤100μm，最大(da)规(gui)格尺寸可到1 000mm。钛(tai)铝合金靶(ba)材成(cheng)分范围为：钛含量(liang)20％～80％(原子(zi)比)，其(qi)余(yu)为铝含(han)量。
热(re)等(deng)静(jing)压(ya)制(zhi)备法(fa)是(shi)目(mu)前(qian)制备(bei)镀(du)膜产(chan)业所(suo)需(xu)钛铝合金(jin)溅射靶材的主要(yao)方(fang)法。该(gai)法制备的靶材产品(pin)致(zhi)密(mi)度(du)高(gao)、尺寸规(gui)格范围(wei)广。但(dan)该(gai)法需(xu)要用到(dao)关(guan)键的压制烧(shao)结设备——热(re)等静(jing)压烧结炉，该(gai)设(she)备(bei)价格昂贵(gui)，导(dao)致(zhi)制备(bei)得(de)到(dao)的靶材产品，成本(ben)较(jiao)高，难以进行(xing)工(gong)业化推(tui)广。
2.3 热压烧结法(fa)
学(xue)者余(yu)琨(kun)等发明了一种钛铝合金(jin)靶(ba)材快速(su)热压烧结成型(xing)工艺(yi)。该工(gong)艺(yi)使钛(tai)铝粉(fen)体(ti)在(zai)热(re)和(he)力的共同(tong)作(zuo)用下(xia)烧(shao)结成(cheng)型，利(li)用Ti-Al混(hun)合(he)物(wu)中铝的(de)熔点低，将(jiang)钛粉(fen)粘(zhan)结(jie)在一(yi)起(qi)，形(xing)成合金(jin)溅射靶(ba)材[91。热(re)压(ya)烧(shao)结示意(yi)图(tu)如图2所(suo)示。
该法制备(bei)得到(dao)的(de)合(he)金(jin)靶材致(zhi)密度(du)高(≥95％)，晶(jing)粒(li)尺(chi)寸细(xi)小(≤100μm)，成分均(jun)匀(yun)。用(yong)该(gai)工艺(yi)可制(zhi)备出(chu)不(bu)同(tong)成分(fen)的(de)钛铝(lv)合(he)金(jin)靶(ba)材。钛铝(lv)合金靶材成(cheng)分范(fan)围为：钛(tai)含量25％～75％(原子比(bi))，其(qi)余为铝含量(liang)。该(gai)工(gong)艺(yi)流程短、成(cheng)本(ben)低(di)、镀膜(mo)效果(guo)好，能(neng)满足大(da)规模产(chan)业(ye)化(hua)要求。
该工(gong)艺的(de)特点(dian)是在(zai)真(zhen)空或保护气(qi)氛中(zhong)通过(guo)刚性(xing)模(mo)具来(lai)传(chuan)递压力，使材料在(zai)热(re)和(he)力(li)的共同(tong)作(zuo)用下烧(shao)结成(cheng)型，将冷(leng)压成(cheng)型+烧(shao)结(jie)两(liang)步合并(bing)为(wei)一个(ge)步(bu)骤，可(ke)大(da)大提(ti)高(gao)工艺效(xiao)率(lv)。
该工艺(yi)对设(she)备(bei)的(de)要求较(jiao)高，关键(jian)设备(bei)是(shi)热压(ya)烧结(jie)炉(lu)。制(zhi)备的(de)靶(ba)材以圆(yuan)形合金(jin)靶材(cai)为(wei)主，直(zhi)径(jing)≤100mm。此外，该工(gong)艺在(zai)制(zhi)备(bei)铝(lv)含量(liang)高(gao)的(de)钛(tai)铝合(he)金靶(ba)材(cai)时(shi)，存(cun)在(zai)脱(tuo)模(mo)困(kun)难(nan)，模具(ju)使用寿(shou)命(ming)低的问题。每(mei)块(kuai)靶(ba)材(cai)制(zhi)备(bei)过(guo)程都(dou)要消耗(hao)一套(tao)模具(ju)，使靶材生产(chan)成(cheng)本增加(jia)。因(yin)而(er)需(xu)选择(ze)合适(shi)的(de)脱模(mo)剂(ji)，来(lai)提高成(cheng)品率(lv)及模(mo)具(ju)的(de)利用率(lv)。
目(mu)前，热(re)压烧(shao)结(jie)是(shi)钛(tai)铝(lv)合金溅射靶材最(zui)有(you)潜力的(de)制备(bei)技(ji)术。该(gai)技(ji)术(shu)工艺效(xiao)率高(gao)，适(shi)合(he)产业(ye)化生(sheng)产(chan)。
然(ran)而用(yong)热(re)压(ya)烧(shao)结方式(shi)制(zhi)备(bei)钛(tai)铝(lv)合金(jin)溅射(she)靶材(cai)，存(cun)在(zai)脱(tuo)模困(kun)难，模具(ju)使(shi)用寿(shou)命低(di)的问(wen)题(ti)。每(mei)块(kuai)靶材制(zhi)备(bei)过程(cheng)都(dou)要(yao)消耗一套(tao)模具，使靶材(cai)生(sheng)产成本(ben)增(zeng)加。钛(tai)铝(lv)合(he)金烧(shao)结过程中，钛属(shu)于高(gao)熔(rong)点的(de)硬(ying)质(zhi)相，铝(lv)属于粘接(jie)相(xiang)。高(gao)铝型钛(tai)铝合金粉(fen)末烧(shao)结过(guo)程(cheng)中(zhong)低熔点的铝(lv)逐步(bu)熔(rong)化，能(neng)将(jiang)钛(tai)原子(zi)粘接(jie)在(zai)一(yi)起(qi)，最后形(xing)成(cheng)合(he)金靶(ba)材。然(ran)而(er)铝液与石(shi)墨模(mo)具的(de)润(run)湿(shi)角是(shi)钝(dun)角，铝含
量越多的钛铝(lv)合(he)金(jin)，热压烧结(jie)冷却后(hou)脱模越(yue)困(kun)难。
因此，高(gao)铝(lv)型(xing)钛铝(lv)合金(jin)靶材(cai)的(de)热压烧(shao)结制(zhi)备工(gong)艺中需(xu)要(yao)选择合适的(de)脱模剂(ji)，来(lai)提高成品(pin)率及模(mo)具的(de)利(li)用率。
此外(wai)，热(re)压烧结(jie)过程(cheng)中(zhong)的(de)烧(shao)结(jie)温(wen)度(du)、升温速率、热压(ya)压力对(dui)产(chan)品(pin)最终(zhong)的组(zu)织(zhi)和性能都(dou)有很大的(de)影(ying)响|。其中(zhong)烧(shao)结温(wen)度(du)太高，将(jiang)导致(zhi)固(gu)相烧结到(dao)液(ye)相(xiang)烧结的过(guo)渡(du)，使(shi)得(de)高(gao)熔点(dian)硬质相(xiang)骨(gu)架坍(tan)塌，同(tong)时(shi)浪费动力(li)能源，不利(li)于(yu)降(jiang)低成(cheng)本；另外(wai)烧结温(wen)度过(guo)高，会导(dao)致(zhi)晶(jing)粒(li)长(zhang)大及(ji)第二(er)相(xiang)的(de)增(zeng)多及长(zhang)大，都(dou)将降(jiang)低(di)靶材的(de)溅(jian)射(she)镀(du)膜(mo)性(xing)能(neng)。如果靶(ba)材(cai)晶粒(li)过(guo)大，则(ze)在(zai)溅射(she)时(shi)消耗(hao)溅射表面，出(chu)现(xian)在(zai)溅(jian)射靶(ba)材上(shang)的(de)侵(qin)蚀(shi)部(bu)表(biao)面上的(de)凹凸(tu)增(zeng)大，导(dao)致形(xing)成的(de)合金(jin)膜的(de)膜(mo)厚均(jun)匀性的下降(jiang)、投入大(da)电(dian)力时(shi)成(cheng)为微(wei)小电(dian)弧异(yi)常放电的频(pin)率增(zeng)加、及(ji)随之(zhi)发生(sheng)飞(fei)溅(jian)等(deng)问题(ti)。同(tong)时(shi)，第(di)二相(xiang)与基(ji)体(ti)相比，由于(yu)溅(jian)射效率差，容(rong)易(yi)以突起残(can)留(liu)，也(ye)会(hui)影响溅(jian)射(she)成(cheng)膜的(de)均(jun)匀(yun)性(xing)。烧(shao)结(jie)温度(du)太(tai)低，会(hui)导(dao)致烧结不完(wan)全(quan)，靶(ba)材产品致(zhi)密度低(di)。热压(ya)过(guo)程中(zhong)如(ru)升(sheng)温(wen)速率快(kuai)，可提高(gao)工(gong)作效(xiao)率，但(dan)由(you)于(yu)部分区(qu)域先烧(shao)结，导(dao)致(zhi)粘接(jie)相(xiang)流(liu)动(dong)，造成(cheng)靶材最(zui)终组织成(cheng)分不均匀的问题(ti)。
压(ya)力较大也可(ke)提高(gao)效率(lv)，但(dan)同时(shi)使(shi)模(mo)具(ju)损耗(hao)严重，降低(di)模(mo)具(ju)使(shi)用(yong)寿(shou)命(ming)。
3、结(jie)语(yu)
综(zong)上(shang)所述(shu)，热(re)压(ya)烧结(jie)是钛(tai)铝(lv)合金溅射靶(ba)材最有潜(qian)力(li)的制(zhi)备(bei)技(ji)术(shu)。该技(ji)术工(gong)艺(yi)效率(lv)高(gao)，适合(he)产(chan)业化(hua)生产(chan)。而(er)用该技(ji)术制(zhi)备(bei)钛(tai)铝合金(jin)靶材需(xu)反复试验(yan)，选(xuan)择合(he)适(shi)的(de)脱(tuo)模剂(ji)，提(ti)高(gao)成(cheng)品(pin)率及模具(ju)的(de)利(li)用(yong)率(lv)，同时，需优化(hua)烧(shao)结热(re)压(ya)工艺(yi)条件(jian)(烧结温度、升(sheng)温(wen)速(su)率(lv)、热压(ya)压(ya)力(li))，提高(gao)生产(chan)效(xiao)率，从(cong)而降(jiang)低成(cheng)本(ben)。随(sui)着(zhe)溅(jian)射(she)镀(du)膜的快(kuai)速增长(zhang)，及在国内(nei)逐(zhu)步普(pu)及(ji)的(de)趋势(shi)，每年
溅(jian)射镀(du)膜(mo)用(yong)靶(ba)材的(de)市(shi)场(chang)需(xu)求量(liang)也在(zai)迅(xun)速(su)增大。因此，对钛(tai)铝合金靶(ba)材(cai)制备(bei)技术的研究，具有(you)现实意(yi)义(yi)和极(ji)大的(de)应用(yong)前景(jing)。
参考文(wen)献(xian)：
[1]金(jin)永中(zhong)，刘(liu)东(dong)亮(liang)，陈(chen)建(jian)．溅(jian)射(she)靶材(cai)的(de)制备(bei)及应用(yong)研(yan)究(jiu)[J]．四川理(li)工(gong)学(xue)院(yuan)学报，2005，18(3)：22—24．
[2]努(nu)力古．溅(jian)射(she)靶(ba)材(cai)的制备及发展趋势(shi)[J]．新疆有(you)色金属(shu)，2008，5：55—56．
[3]张喜燕(yan)，赵永(yong)庆(qing)，白(bai)晨(chen)光(guang)．钛(tai)合(he)金及(ji)其(qi)应用[M]．北(bei)京：化(hua)学(xue)工(gong)业(ye)出(chu)版社，2005．52—53．
[4]张(zhang)之圣，白天(tian)，王(wang)秀(xiu)字．薄膜(mo)电阻(zu)器用(yong)磁(ci)控(kong)溅射(she)高阻靶(ba)材[J]．压(ya)电(dian)与声(sheng)光(guang)，2009，3l(5)：661—663．
[5]J．Sarkar，P．McDonald，P．Gilman．Surface characteristics of tita．niumtargetsand their relevance tosputtering performance[J]．Thin Solid Films，2009，517：1970—1976．
[6]高麟，贺跃辉，江轰，等．TiAl金属(shu)间(jian)化合物(wu)微滤膜(mo)的(de)制备与(yu)性(xing)能[J]．粉末冶(ye)金材(cai)料(liao)科学与工程，2005，10(4)：216—219．
[7]余(yu)鹏．一(yi)种通过大强度(du)电流生产(chan)钛(tai)铝(lv)合金(jin)靶(ba)材的方(fang)法(fa)[P]．中国专利(li)：200910044672．1，2010—09—08．
[8]张(zhang)凤戈(ge)，姚伟(wei)，唐培新(xin)，等．一种钛(tai)铝合金靶材的粉末冶(ye)金(jin)制备(bei)方(fang)法(fa)[P]．中国专(zhuan)利(li)：200710303869．3，2008—07—09．
[9]余(yu)琨(kun)，蔡志勇．一(yi)种(zhong)钛(tai)铝(lv)合(he)金(jin)靶(ba)材(cai)快速(su)热(re)压烧结成(cheng)型(xing)工艺[P]．中(zhong)国(guo)专(zhuan)利：200910043144．4，2010—10—13．
[10]张青(qing)来，贺(he)继(ji)弘(hong)．粉(fen)末冶(ye)金高(gao)纯铬(ge)和(he)铬合金溅射靶(ba)材烧(shao)结工艺研究(jiu)[J]．金属成(cheng)形工(gong)艺，2003，21(6)：83—85．
[11]王(wang)赞(zan)海，王(wang)星(xing)明(ming)，储茂(mao)友(you)，等(deng)．惰性气体(ti)热压法(fa)制备(bei)w—Ti合金(jin)靶材研究[J]．稀有金属(shu)，2006，30(5)：688—691．
相(xiang)关链(lian)接(jie)
