各种(zhong)镀(du)膜(mo)技(ji)术(shu)的比较(jiao)
发(fa)布(bu)时(shi)间(jian):2021-04-10 22:43:12
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| 镀(du)膜方(fang)法(fa) | 真空(kong)蒸(zheng)镀 | 溅射(she)镀(du) | 离子镀 | 化学(xue)反(fan)应镀(du) |
| 可镀物(wu)质 | 金(jin)属(shu) | 金属某些(xie)化合物 | 金属(shu)、合(he)金、化合物、陶(tao)瓷、高分(fen)子物质(zhi) | 金(jin)属(shu)、合(he)金、陶(tao)瓷(ci)、化合(he)物 |
| 膜材(cai)蒸(zheng)发(fa)方式 | 真空(kong)蒸(zheng)镀 | 真空(kong)溅射 | 蒸(zheng)镀(du)、溅(jian)射(she) | 化(hua)学(xue)反(fan)应(ying) |
| 基体加(jia)温(wen)范围(wei)℃ | 30~200 | 150~500 | 150~800 | 300~1100 |
| 沉积(ji)速率nm/min | 2500~75000 | 10~100 | 2500~50000 | 远(yuan)大于(yu)PVD |
| 界(jie)面(mian)附(fu)着(zhe)强度 | 一(yi)般 | 较(jiao)好(hao) | 好 | 好(hao) |
| 膜的(de)纯(chun)度(du) | 取决(jue)于(yu)膜(mo)材及膜材支(zhi)撑(cheng)舟(zhou)或坩(gan)埚(guo)的(de)纯度(du) | 取决(jue)于(yu)靶材(cai)的纯(chun)度和(he)溅射气(qi)体的(de)纯度 | 取决于膜(mo)材、坩埚(guo)及反(fan)应气(qi)体的(de)纯度 | 取(qu)决于反(fan)应气(qi)体 |
| 膜的(de)性质(zhi) | 膜层(ceng)不大(da)均匀 | 高密度,针孔少(shao),膜(mo)层(ceng)交均匀(yun) | 高(gao)密度,较(jiao)均(jun)匀,针(zhen)孔(kong)少(shao) | 纯度(du)高(gao),致密性好(hao) |
| 对(dui)复(fu)杂表面的镀(du)敷能(neng)力(li) | 只(zhi)镀(du)基片(pian)的直(zhi)射表(biao)面(mian) | 只镀(du)基(ji)片的(de)直射表面(mian) | 绕射(she)性好(hao),能(neng)镀(du)所有表(biao)面(mian),膜(mo)均(jun)匀(yun) | 可(ke)镀(du)复杂形(xing)状(zhuang)的表(biao)面(mian),沉(chen)积(ji)表(biao)面(mian)平滑 |

| 镀(du)膜(mo)方法 | 蒸(zheng)发法 | 磁(ci)控(kong)溅射法 | 电(dian)镀法 |
| 方式 | 干(gan)式(shi) | 干式 | 湿式 |
| 优(you)缺(que)点(dian) | 可(ke)镀(du)基材广泛 | 可(ke)镀基材(cai)范(fan)围(wei)广(guang),在低(di)温(wen)能镀(du)多(duo)种(zhong)合金(jin)膜 | 物(wu)理性(xing)能好,但基(ji)材(cai)和(he)镀膜金属(shu)有(you)局(ju)限性(xing) |
| 用途 | 装(zhuang)饰膜(mo),光学膜,电(dian)学膜(mo),磁(ci)性(xing)膜等(deng) | 装饰(shi)膜,光学膜(mo),电学膜,磁性膜(mo)等(deng) | 金属(shu)和部分(fen)塑(su)料的(de)表(biao)面(mian)保(bao)护层(ceng)和(he)装饰(shi)层(ceng) |
| 镀膜 | 原理 | 蒸(zheng)发(fa) | 离子轰(hong)击靶材(cai) | 电解 |
| 状态(tai) | 中(zhong)性(xing) | 中(zhong)性 | 离子(zi) |
| 粒子(zi)能(neng)量 | 0.2eV(1200℃) | 0.1eV-10eV | 0.2eV |
| 表(biao)面(mian) | 镀膜前处理(li) | 涂(tu)底(di)涂(tu)层(ceng),在(zai)真(zhen)空(kong)中(zhong)脱气(qi) | 涂(tu)底(di)涂(tu)层(ceng),在(zai)真空(kong)中(zhong)脱(tuo)气(qi) | 化学腐(fu)蚀(shi) |
| 粒子(zi)穿(chuan)透(tou)深(shen)度(du) | 0,只在表(biao)面附(fu)着(zhe) | 有(you)一点(dian)程度的穿(chuan)透 | 化学(xue)腐(fu)蚀(shi) |
| 处(chu)理(li)过程 | 离子 | —— | <0.1% | 100% |
| 中性(xing)励(li)起电子 | —— | <10% | —— |
| 热(re)中性(xing)粒(li)子(zi) | 100% | <90% | —— |
| 镀(du)膜材料(liao) | 可选用(yong) | 金(jin)属 | 金属(shu),非金属 | 金属(shu) |
| 难(nan)与选(xuan)用(yong)或(huo)不(bu)能选用 | 蒸(zheng)汽压(ya)非(fei)常低的材(cai)料,化(hua)合物(wu),合金 | 易(yi)分(fen)解(jie)的化合物,蒸汽(qi)压(ya)非常高(gao)的材料 | 易(yi)氧化的(de)材料,高(gao)熔(rong)点(dian)材(cai)料(liao),非(fei)金(jin)属(shu)易氧(yang)化(hua)的(de)材料(liao),高(gao)熔(rong)点(dian)材(cai)料(liao),非金(jin)属(shu) |
| 可(ke)镀基(ji)材(cai) | 金属(shu)塑(su)料玻(bo)璃等(deng) | 金(jin)属塑(su)料玻(bo)璃(li)等(deng) | 金属,部(bu)分材料(liao) |
| 附(fu)着(zhe)力(li) | 不(bu)好 | 不好-稍(shao)微好 | 良好(hao) |
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