1、定义与材质(zhi)
定(ding)义(yi)：
高(gao)纯镍靶材(cai)是(shi)以纯度≥99.9%（通常为(wei)99.95%~99.999%）的(de)金(jin)属(shu)镍为(wei)原料(liao)，通(tong)过(guo)熔炼(lian)、锻造(zao)、轧(ya)制(zhi)等工艺(yi)制(zhi)成的(de)片(pian)状或块(kuai)状(zhuang)材(cai)料(liao)，主(zhu)要(yao)用于(yu)物(wu)理气相(xiang)沉(chen)积（PVD）、磁控(kong)溅射(she)等(deng)镀膜(mo)工(gong)艺。
材(cai)质特性(xing)：
成(cheng)分：镍（Ni）含(han)量(liang)≥99.9%，杂(za)质元(yuan)素（如Fe、C、S、O等）严(yan)格控制(zhi)在(zai)ppm级(ji)。
形态：常见为(wei)圆形(xing)、矩形或异形(xing)靶(ba)材，表面(mian)需高精(jing)度抛(pao)光(guang)（粗(cu)糙度(du)Ra≤0.8μm）。
2、性(xing)能与(yu)特点(dian)
核(he)心性能(neng)：
高(gao)导电性(xing)：镍(nie)的电阻率(lv)低(di)（6.9×10⁻⁸ Ω·m），适合(he)高频电(dian)子器件(jian)镀膜。
耐腐(fu)蚀(shi)性(xing)：在(zai)常(chang)温(wen)下(xia)对(dui)酸(suan)、碱、盐(yan)溶(rong)液及(ji)大(da)气腐蚀有良(liang)好抗性。
高熔点（1455℃）：适(shi)用(yong)于高(gao)温(wen)溅射环(huan)境。
强结(jie)合力：镀膜与(yu)基(ji)材附着力(li)优异。
独特(te)优(you)势(shi)：
溅(jian)射(she)速(su)率(lv)快，膜(mo)层均(jun)匀(yun)致(zhi)密(mi)；
可加(jia)工成(cheng)复杂形状(zhuang)，兼(jian)容(rong)多(duo)种(zhong)镀膜(mo)设(she)备；
高纯(chun)度(du)确(que)保(bao)镀(du)膜低(di)缺陷，适(shi)用(yong)于(yu)精密(mi)电(dian)子(zi)领域(yu)。
3、应用(yong)领域(yu)
半导体制造：用(yong)于(yu)集成(cheng)电(dian)路（IC）中(zhong)的(de)金(jin)属互连(lian)层(ceng)、阻挡(dang)层。
显示(shi)面板(ban)：TFT-LCD、OLED的(de)电(dian)极(ji)镀膜(mo)。
太(tai)阳能(neng)电池(chi)：薄(bao)膜(mo)太(tai)阳(yang)能(neng)电(dian)池的(de)背电(dian)极(ji)材料(liao)。
光(guang)学镀(du)膜(mo)：镜(jing)面(mian)反(fan)射(she)涂层、防(fang)反射(she)膜(mo)。
磁性材料：磁(ci)记(ji)录(lu)介质（如硬(ying)盘）的磁性层(ceng)。
装(zhuang)饰镀(du)层：手机外壳(ke)、珠宝的(de)耐(nai)磨(mo)装饰(shi)镀(du)膜。
4、执(zhi)行标准(zhun)
国(guo)际(ji)标(biao)准：
ASTM B160（镍(nie)及(ji)镍(nie)合金(jin)棒(bang)材(cai)标准）；
ISO 6283（金属靶(ba)材(cai)表面(mian)质量规范(fan)）。
国(guo)内标准(zhun)：
GB/T 5235（高(gao)纯镍靶(ba)材(cai)技术要(yao)求）；
SJ/T 11485（电(dian)子(zi)行业溅(jian)射(she)靶(ba)材标准(zhun)）。
5、与其他(ta)靶材(cai)的(de)区别(bie)
| 靶材类型 | 核(he)心(xin)特性 | 主(zhu)要应(ying)用(yong)领域 | 对比高纯镍靶材(cai) |
| 钛靶(ba)材 | 轻质、耐高温(wen)氧化(hua) | 航(hang)空(kong)航(hang)天、生物(wu)医(yi)疗(liao) | 钛更(geng)轻，但(dan)导电(dian)性(xing)差，需(xu)掺杂(za)使用(yong)。 |
| 锆(gao)靶材(cai) | 耐腐(fu)蚀(shi)、中子吸收 | 核工业、化(hua)工防腐(fu) | 锆(gao)耐蚀(shi)性(xing)更(geng)强(qiang)，但成(cheng)本(ben)高，加工(gong)难度大(da)。 |
| 钽靶材(cai) | 高(gao)熔点、耐(nai)酸(suan)碱(jian) | 半(ban)导(dao)体阻(zu)挡(dang)层(ceng)、电(dian)容(rong)器(qi) | 钽更(geng)耐蚀，但价格(ge)昂贵(gui)，溅射速(su)率(lv)低(di)。 |
| 铌靶材 | 超(chao)导性(xing)能、低温韧性 | 超(chao)导材(cai)料(liao)、航空航(hang)天 | 铌超(chao)导性突(tu)出，但纯度(du)要(yao)求更高。 |
| 铝(lv)靶材 | 轻(qing)质、低成(cheng)本(ben) | 反(fan)射镜、包装材(cai)料 | 铝(lv)成(cheng)本低，但(dan)硬度低，耐(nai)磨(mo)性差。 |
| 铜(tong)靶材(cai) | 超(chao)高导电(dian)性(xing)、导热性(xing) | 芯片(pian)互(hu)连、散热(re)涂层 | 铜导(dao)电(dian)性优(you)于镍，但易氧化，需(xu)加阻挡层。 |
6、前(qian)景展望(wang)与深(shen)度应用需(xu)求(qiu)
1）技术(shu)趋势(shi)：
半导(dao)体(ti)小(xiao)型化(hua)：3nm以(yi)下(xia)制(zhi)程对高纯镍靶(ba)材(cai)的纯(chun)度(du)（≥99.999%）和晶(jing)粒(li)均(jun)匀性(xing)提(ti)出更高要求。
新(xin)能源扩(kuo)展(zhan)：固态电池电极(ji)镀膜、氢能催(cui)化(hua)层(ceng)需求(qiu)增长(zhang)。
先进显示(shi)技(ji)术：Micro LED巨(ju)量(liang)转(zhuan)移中(zhong)的(de)金(jin)属键(jian)合层依赖(lai)高精度(du)镍镀(du)膜。
2）挑(tiao)战与机遇：
国产(chan)替(ti)代：突(tu)破(po)高(gao)纯(chun)镍提纯(chun)技术(shu)（如区(qu)域熔炼(lian)法(fa)），降低进口依赖(lai)；
复(fu)合(he)靶(ba)材开(kai)发(fa)：镍基(ji)合金(jin)靶(ba)材（如(ru)Ni-Cr、Ni-Ti）满(man)足(zu)多功(gong)能镀膜(mo)需(xu)求。
7、选(xuan)购方法与(yu)注(zhu)意(yi)事(shi)项(xiang)
1）选(xuan)购要(yao)点：
纯度验证：要求供(gong)应(ying)商(shang)提供ICP-MS检(jian)测(ce)报告（杂(za)质含(han)量(liang)≤100ppm）；
晶(jing)粒(li)尺(chi)寸(cun)：均匀(yun)的(de)纳米(mi)级晶粒（≤50nm）可提升镀膜(mo)质量(liang)；
密度控制：靶材密度(du)≥8.9g/cm³（接(jie)近理(li)论值8.908g/cm³）；
供(gong)应商资质：优先选择(ze)通(tong)过(guo)ISO 9001和(he)IATF 16949认(ren)证(zheng)的厂(chang)商。
2）使用注(zhu)意(yi)事(shi)项：
存(cun)储(chu)：真(zhen)空包(bao)装(zhuang)，避免氧化和表面(mian)污染；
安(an)装：靶(ba)材与背(bei)板(ban)需紧(jin)密(mi)贴(tie)合，防(fang)止(zhi)溅射(she)过(guo)程中(zhong)局部过(guo)热(re)；
工(gong)艺(yi)匹(pi)配(pei)：根据设备功(gong)率调整溅(jian)射参(can)数（如(ru)气压(ya)、功率密度(du)），减(jian)少结(jie)瘤问题。
高纯镍(nie)靶(ba)材(cai)凭借(jie)其(qi)优异(yi)的(de)导电(dian)性、耐(nai)腐蚀性和镀膜性(xing)能(neng)，在(zai)半(ban)导(dao)体、新能(neng)源(yuan)等(deng)领(ling)域(yu)占(zhan)据重(zhong)要(yao)地(di)位。与钛、锆等(deng)靶材(cai)相(xiang)比，其(qi)在成本(ben)与(yu)性(xing)能(neng)间实现(xian)了(le)较好(hao)平(ping)衡(heng)。未来(lai)随(sui)着技(ji)术(shu)迭(die)代，高纯(chun)镍(nie)靶材(cai)的(de)纯(chun)度提(ti)升和(he)复合化(hua)将是(shi)主(zhu)要发(fa)展方(fang)向(xiang)。
建(jian)议用(yong)户：根据(ju)具(ju)体(ti)应(ying)用场(chang)景（如镀膜(mo)厚(hou)度、基(ji)材类型）选择靶材(cai)规(gui)格(ge)，优先(xian)与具备(bei)定制化能力的供应商(shang)合(he)作，并(bing)定期(qi)检(jian)测靶材使用后的表(biao)面(mian)状(zhuang)态以优(you)化(hua)工(gong)艺。
