1、高(gao)纯(chun)钛(tai)靶(ba)
装(zhuang)饰用(yong)高(gao)纯钛靶是(shi)一种(zhong)用于物(wu)理(li)气相沉(chen)积(ji)(PVD)工(gong)艺的高(gao)纯度钛(tai)材(cai)料,通(tong)常(chang)以块状或(huo)板状(zhuang)形(xing)式存在(zai)。在真(zhen)空环境下(xia)通(tong)过溅(jian)射(she)形成薄膜,赋(fu)予(yu)基材(cai)金(jin)属光泽、耐磨(mo)、耐腐蚀(shi)等(deng)装(zhuang)饰性功(gong)能,广(guang)泛应(ying)用于(yu)高(gao)端装(zhuang)饰(shi)领(ling)域。其纯(chun)度通(tong)常要求≥99.95%(3N5级(ji)及以(yi)上(shang))。
2、性(xing)能(neng)特(te)点(dian)
高(gao)纯度:杂质含量极(ji)低(di)(如Fe、O等),确(que)保溅射(she)膜(mo)层(ceng)色泽纯净(如(ru)银(yin)白(bai)色或氮(dan)化(hua)后(hou)的(de)金(jin)色/黑色)。
致密均(jun)匀(yun):通(tong)过(guo)粉末(mo)冶(ye)金或(huo)熔炼(lian)工(gong)艺实现(xian)高密度(du)(≥4.5 g/cm³),减少溅射时(shi)的(de)颗粒飞溅。
耐腐蚀性(xing):钛(tai)的天(tian)然(ran)钝(dun)化膜使(shi)其(qi)在(zai)酸碱性(xing)环境中(zhong)表(biao)现优(you)异(yi),延长(zhang)涂层寿(shou)命(ming)。
环(huan)保(bao)性:无(wu)毒(du)无(wu)害,符(fu)合(he)RoHS标准,适用(yong)于(yu)食品接(jie)触(chu)或(huo)医疗配(pei)件(jian)。
高温(wen)稳(wen)定性(xing):熔(rong)点(dian)高达1668°C,适(shi)合(he)高(gao)温溅射(she)工(gong)艺(yi)。
3、材(cai)质与制造
材(cai)质(zhi):纯钛(CP-Ti,Grade 1或2),纯(chun)度(du)≥99.95%,常(chang)见形态为锻(duan)造(zao)或(huo)轧(ya)制(zhi)靶(ba)材。
工(gong)艺:真(zhen)空(kong)电弧(hu)熔(rong)炼(lian)(VAR)→ 锻(duan)造/轧制 → 机(ji)械(xie)加(jia)工(gong)(车削、研(yan)磨)→ 清洗封(feng)装(zhuang)。
4、执(zhi)行标准(zhun)
国(guo)际(ji)标准(zhun):ASTM B348(钛材通用)、ASTM F67(纯(chun)钛外科(ke)植(zhi)入(ru)级(ji)参考(kao))。
行(xing)业(ye)规(gui)范(fan):SEMI F47(半(ban)导(dao)体靶材参(can)考,部(bu)分指标(biao)适(shi)用)。
国内标准:GB/T 3620.1(钛及(ji)钛(tai)合(he)金牌(pai)号)、GB/T 5193(杂质检(jian)测方(fang)法)。
5、应(ying)用领(ling)域
消费(fei)电子(zi):手机边框(kuang)、智能手表表壳(ke)(如(ru)钛金(jin)属(shu)拉丝效(xiao)果(guo))。
珠(zhu)宝(bao)与(yu)钟(zhong)表:钛(tai)镀(du)层首(shou)饰(shi)、表带(轻量化+抗(kang)过(guo)敏(min))。
汽车装(zhuang)饰(shi):内饰(shi)镀(du)铬(ge)替代(环保(bao)且(qie)耐刮)。
建(jian)筑(zhu)与家(jia)居:卫浴(yu)五(wu)金(jin)、灯(deng)具表(biao)面(防(fang)指(zhi)纹、抗变(bian)色)。
工业设计(ji):眼镜架、高(gao)尔夫球(qiu)杆(gan)装(zhuang)饰涂(tu)层。
6、与(yu)其(qi)他(ta)靶材的异(yi)同
| 特性(xing) | 纯钛(tai)靶(ba) | 钛(tai)合(he)金靶(ba)(如(ru)Ti6Al4V) | 镍靶 | 锆(gao)靶 |
| 成分 | ≥99.95% Ti | Ti+Al/V等合金(jin)元素 | ≥99.9% Ni | ≥99.5% Zr |
| 膜(mo)层颜色 | 银(yin)白(bai)/氮化(hua)后(hou)多(duo)彩(cai) | 偏(pian)灰暗(an),色泽单(dan)一(yi) | 银白(bai),易氧化(hua)变(bian)黄 | 深(shen)灰/黑(hei)色(需(xu)反(fan)应溅(jian)射(she)) |
| 耐(nai)腐(fu)蚀性(xing) | 极强(qiang)(钝(dun)化(hua)膜(mo)) | 中(zhong)等(合(he)金(jin)元(yuan)素影(ying)响(xiang)) | 一般(易被(bei)酸(suan)碱侵蚀(shi)) | 优异(yi)(耐高温(wen)氧化) |
| 应(ying)用场(chang)景 | 高(gao)端装(zhuang)饰(shi)、医(yi)疗(liao) | 耐(nai)磨工业部件(jian) | 电(dian)子(zi)导(dao)电层、磁性(xing)薄(bao)膜 | 深(shen)色涂(tu)层(ceng)、核(he)工(gong)业 |
| 成(cheng)本 | 较高(gao) | 中等 | 低(di) | 高(gao) |
7、选购方法(fa)与(yu)注(zhu)意事项
选(xuan)购方法(fa)
纯(chun)度验证:要求(qiu)供(gong)应(ying)商提(ti)供(gong)ICP-MS检(jian)测(ce)报告(gao),重(zhong)点查(cha)看(kan)O、Fe、C含量。
尺寸(cun)匹配:确认(ren)靶(ba)材(cai)厚(hou)度/直径与设备腔(qiang)体(ti)兼(jian)容(rong)(如Φ200mm×6mm)。
供(gong)应(ying)商(shang)资(zi)质(zhi):优先选择(ze)通(tong)过ISO 9001认证(zheng),且(qie)具(ju)PVD行业服(fu)务经验的(de)厂(chang)商。
性(xing)价(jia)比(bi):对比不同工艺(yi)(锻(duan)造(zao)vs.烧结)靶(ba)材的寿命(ming)(如3000小(xiao)时(shi)以(yi)上(shang)为(wei)优(you))。
注意事项
储(chu)存:真空包(bao)装存放于(yu)干(gan)燥箱(xiang)(湿度(du)<40%),避免(mian)表(biao)面氧化(hua)生成TiO₂。
运(yun)输:泡沫(mo)+木箱(xiang)防(fang)震(zhen),避(bi)免边缘(yuan)崩缺。
使(shi)用优(you)化(hua):
预(yu)溅(jian)射时(shi)间:10-15分(fen)钟去(qu)除(chu)表(biao)面污染(ran)物。
溅射(she)功(gong)率(lv):控制≤10W/cm²,防(fang)止局(ju)部(bu)过(guo)热导致(zhi)裂纹。
维(wei)护:定期(qi)用无(wu)水(shui)乙(yi)醇清(qing)洁靶面,使用(yong)后(hou)翻转靶(ba)材(cai)以均匀(yun)消(xiao)耗(hao)。
装饰(shi)用高(gao)纯钛靶凭借(jie)其优(you)异(yi)的(de)成(cheng)膜质(zhi)量和环保(bao)特性(xing),成(cheng)为高端(duan)表面处理的首选。选(xuan)购(gou)时(shi)需(xu)严(yan)格(ge)把控纯度(du)与供应(ying)商技术(shu)实力,并(bing)注(zhu)意(yi)工艺参数(shu)适(shi)配(pei)性(xing)。与(yu)镍(nie)、锆等靶(ba)材相(xiang)比(bi),钛靶在(zai)装(zhuang)饰领(ling)域(yu)的(de)色彩表现(xian)和耐久(jiu)性(xing)更具(ju)优势(shi),但(dan)成本(ben)较(jiao)高,需(xu)根(gen)据具体(ti)需(xu)求权衡(heng)选(xuan)择(ze)。









